一种硅片放置装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；上板和中间板边缘均设置有“凸”字形齿槽，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，各挡杆一端连接上板，穿过中间板后另一端与底板连接；本实用新型专利技术利用上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆所形成的中空框，将硅片盒能够放置于内，在高速转动过程中，硅片盒在离心力的作用下，能够牢牢地固定在中空框内，五面的夹持使硅片盒非常稳定，硅片不会因碰撞而碎裂，整体具有结构简单，拆卸、清洗方便，放置硅片多等优点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种工装，尤其涉及一种硅片放置装置。
技术介绍
硅片旋转冲洗甩干是专门用于太阳能电池片和半导体硅片的生 产制造过程中对湿法腐蚀清洗后的硅片进行千燥和洁净化处理的一 道工序，目前国内外的设备主要有单工位，双工位和四工位三种，一 次只能放一个，两个或四个硅片盒，产量低，结构单薄，高速旋转易 产生震动和变形，引起硅片碎裂。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提供了一种硅片放置装置。 本技术采用的技术方案是一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和 后挡杆组成；其中上板、中间板和底板为圆形，外径大小一致，三者 为垂直方向同轴平行放置；上板和中间板边缘均设置有"凸"字形齿 槽，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆， 各挡杆一端连接上板，穿过中间板后另一端与底板连接；上板、中间 板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆形成了一个中空框，框中的空间为放 置硅片盒所设置。所述的底板中心位置设有圆孔，四周环绕平均分布有多个椭圆形孔。本技术利用上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆所形成的中空框，将硅片盒能够放置于内，在高速转动过程中，硅片盒在 离心力的作用下，能够牢牢地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；其特征在于：所述的上板、中间板和底板为圆形，外径大小一致，三者为垂直方向同轴平行放置，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，上板、中间板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆形成了一个中空框。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陶凌，陈世强，
申请(专利权)人：无锡市奥曼特科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]