【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及板式PECVD设备的硅片上下料工装
，具体为用于板式PECVD 设备自动上下料系统的进料升降台。
技术介绍
以往板式PECVD设备的硅片上料多是人工直接从硅片盒中将未经PECVD处理的硅片取出，其不仅取片上料效率慢，而且在上料过程中硅片的碎片率高，为了提高上料效率并降低碎片率，目前开始采用自动上下料系统来取代以往纯人工上下料，其中在硅片上料时由进盒输送线将装满未经PECVD处理的硅片运往上料工位，自动取片机构从上料工位的硅片盒中将硅片逐片取出，待硅片全部取出后由出盒输送线将空硅片盒运离，由于出盒输送线位于进盒输送线的正上方，且由于自动出片机构在垂直方向不能移动，因此必须通过调整硅片盒在竖向的位置来保证出片机构能够精确地取出每一片硅片并保证不破坏硅片。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供了板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其能带动硅片盒在垂直方向的自由升降，从而保证出片机构能够精确地抽取每一片硅片。其技术方案是这样的，其特征在于其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，所述水平输送机构安装于升降底板，所述升降底板通过连接板安装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈平，陈世强，
申请(专利权)人：无锡市奥曼特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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