一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台技术方案

本实用新型专利技术提供了一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其能完成硅片输送碳板在设备出料口（或进料口）与底部水平输送线之间的垂直输送，保证硅片上下料的全自动操作。其包括机架，其特征在于：其还包括竖向平移机构和水平输送机构，竖向平移机构通过固定板安装于机架的纵向一侧机架壁，水平输送机构通过连接板安装于竖向平移机构。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能硅片PECVD加工设备领域，具体为一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台。
技术介绍
板式PECVD设备的进料口与出料口分别位于设备的两端，以往分别需要在进料口侧与出料口侧设置相应的硅片上料机构和硅片下料机构，其设备占用空间大、设备成本高，且硅片的上下料效率低，为此目前的自动上下料系统为了能达到缩小设备占用空间、降低设备成本、并提高硅片上下料效率将整个硅片上料机构与下料机构集成设置于PECVD设备的进料口侧，因此在PECVD设备的出料口与进料口之间、在PECVD设备与自动上下料系统的底部设置有水平输送线以便将出料口已经PECVD处理好的硅片输送至设备进料口侧的自动上下料系统上，但是，由于PECVD设备的进料口与出料口均离设备地面一定高度，因此还需要设置垂直升降装置来完成硅片在出料口(或进料口)与底部水平输送线之间的垂直输送。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其能完成硅片输送碳板在设备出料口(或进料口)与底部水平输送线之间的垂直输送，保证硅片上下料的全自动操作。其技术方案是这样的，其包括机架，其特征在于其还包括竖向平移机构和水平输送机构，所述竖向平移机构通过固定板安装于所述机架的纵向一侧机架壁，所述水平输送机构通过连接板安装于所述竖向平移机构。其进一步特征在于所述竖向平移机构包括伺服电机、直线模组，所述直线模组通过所述固定板固定于所述机架的纵向一侧壁的竖向支架上，所述直线模组通过联轴器与所述伺服电机连接，所述固定板的纵向两端安装有直线导轨；所述水平输送机构包括输送机与输送机机架，所述输送机安装于所述输送机机架，所述输送机机架固定于所述连接板，所述连接板安装于所述直线模组，且所述连接板背面的纵向两侧安装有滑块，所述滑块卡装于所述直线导轨；所述输送机构包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于输送机机架下部，所述传动轴的横向两端通过轴承座一固定于所述输送机机架的纵向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的横向两端均通过轴承座一安装有一个所述主动输送轮，所述两侧纵向支架上均分别通过轴承座二安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均匀、间隔分布安装于所述纵向支架，单侧所述纵向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接。使用本技术的碳板升降台装置，其有益效果在于其水平输送机构可以将平稳地接收从PECVD设备出料口输送带送出的载有硅片的碳板，而水平输送机构整体通过连、接板安装于竖向平移机构，竖向平移机构的伺服电机、直线模组工作带动连接板及安装于连接板的水平输送机构沿直线导轨作竖向的升降，将放置于水平输送机构表面的载有硅片的碳板垂直运送。附图说明图I为本技术碳板升降台装置的结构示意图。具体实施方式见图1，本技术包括机架8、竖向平移机构和水平输送机构，竖向平移机构通过固定板9安装于机架的8纵向一侧机架壁，水平输送机构通过连接板5安装于竖向平移机构。竖向平移机构包括伺服电机I、直线模组2，直线模组2通过固定板9固定于机架8 的纵向一侧壁的竖向支架上，直线模组2通过联轴器与伺服电机I连接，固定板9的纵向两端安装有直线导轨3 ;水平输送机构包括输送机与输送机机架6,输送机安装于输送机机架6，输送机机架6固定于连接板5，连接板5安装于直线模组2，且连接板5背面的纵向两侧安装有滑块4，滑块4卡装于直线导轨3 ;水平输送机构包括电机10、传动轴11、主动输送轮12和从动输送轮13,电机10通过电机支架14固定于输送机机架6下部,传动轴11的横向两端通过轴承座一 15固定于输送机机架的纵向支架18，电机10与传动轴11通过同步带轮16、20传动连接，传动轴11的横向两端均通过轴承座一 15安装有一个主动输送轮12，两侧纵向支架18上均分别通过轴承座二 19安装有两个主动输送轮12与两个从动输送轮13，主动输送轮12与从动输送轮13均匀、间隔分布安装于纵向支架18，单侧纵向支架18上、相邻两个主动输送轮12之间通过传送带17传动连接。图I中，7为输送机机架6的横向支架。下面具体描述一下本技术的工作过程当承载已处理完的硅片的出片碳板从PECVD设备出料口运出时，伺服电机I与直线模组2动作，驱动连接板5以及固定于连接板5上的水平输送机构整体沿直线导轨3向上移动，直至PECVD设备出料口输送线等高的位置后，伺服电机I与直线模组2停止工作，水平输送机构的电机10转动，通过同步带轮16带动传动轴11以及主动输送轮12转动，待出片碳板由PECVD设备出料输送线输送至水平输送机构上后，电机10停止转动，连接板5、以及承载出片碳板的水平输送机构受伺服电机I与直线模组的驱动沿直线导轨3下降至底部水平输送线高度，电机10继续工作将出片碳板输送入底部水平输送线。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其包括机架，其特征在于其还包括竖向平移机构和水平输送机构，所述竖向平移机构通过固定板安装于所述机架的纵向一侧机架壁，所述水平输送机构通过连接板安装于所述竖向平移机构。2.根据权利要求I所述的一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其特征在于所述竖向平移机构包括伺服电机、直线模组，所述直线模组通过所述固定板固定于所述机架的纵向一侧壁的竖向支架上，所述直线模组通过联轴器与所述伺服电机连接，所述固定板的纵向两端安装有直线导轨。3.根据权利要求I或2所述的一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其特征在于所述水平输送机构包括输送机与输送机机架，所述输送机安装于所述输送机机架，所述输送机机架...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓平，陈平，
申请(专利权)人：无锡市奥曼特科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：