本实用新型提供了一种用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其能解决现有手工操作存在的硅片破碎率高的问题，能降低生产成本、提高劳动生产率、降低工人劳动强度。其包括安装于PECVD设备的进料端侧的主机架、控制系统、待处理硅片送料机构、...

本实用新型提供了一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口...

本实用新型提供了一种板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其能完成硅片输送碳板在设备出料口（或进料口）与底部水平输送线之间的垂直输送，保证硅片上下料的全自动操作。其包括机架，其特征在于：其还包括竖向平移机构和水平输送机构，竖向平...

本实用新型提供了一种用于硅片自动上下料系统的出片机构，其能解决以往依靠人工从硅片盒中抽取硅片存在的取片速度慢、工人劳动强度大的问题，并能有效降低取片时的硅片破碎率，降低生产成本。其特征在于：其包括伺服电机、直线模组、竖向气动滑台和出片板...

本实用新型提供了一种板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其能带动硅片盒在垂直方向的自由升降，从而保证出片机构能够精确地抽取每一片硅片。其特征在于：其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，水平输送机构安装于升降底板，升降底板...

本实用新型提供了一种板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其能将硅片从料架上搬运至出片碳板，同时能将出片碳板上已处理的硅片搬运至下料装置，其工作效率高，硅片搬运可靠、碎片率低。其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运...

本实用新型公布了一种全自动硅棒粘胶板脱胶设备，其特征在于：包括粘胶板提升装置、水平导轨、多个脱胶槽、进料小车和出料小车；所述粘胶板提升装置上设置有机械手用于抓取硅棒粘胶板放置容器，所述机械手可以在所述提升装置上上下移动；所述粘胶板提升装...

本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其能带动硅片盒在垂直方向的自由升降，从而保证出片机构能够精确地抽取每一片硅片。其特征在于：其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，水平输送机构安装于升降底板，升降底板通过连接...

本发明提供了板式PECVD设备自动上下料系统的硅片搬运机构，其能将硅片从料架上搬运至出片碳板，同时能将出片碳板上已处理的硅片搬运至下料装置，其工作效率高，硅片搬运可靠、碎片率低。其特征在于：其包括直线导轨、上料搬运机构和下料搬运机构，上...

本发明提供了用于硅片自动上下料系统的出片机构，其能解决以往依靠人工从硅片盒中抽取硅片存在的取片速度慢、工人劳动强度大的问题，并能有效降低取片时的硅片破碎率，降低生产成本。其特征在于：其包括伺服电机、直线模组、竖向气动滑台和出片板，出片板...

本发明提供了板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台，其能完成硅片输送碳板在设备出料口（或进料口）与底部水平输送线之间的垂直输送，保证硅片上下料的全自动操作。其包括机架，其特征在于：其还包括竖向平移机构和水平输送机构，竖向平移机构通...

本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳...

本发明公布了一种全自动硅棒粘胶板脱胶设备，其特征在于：包括粘胶板提升装置、水平导轨、多个脱胶槽、进料小车和出料小车；所述粘胶板提升装置上设置有机械手用于抓取硅棒粘胶板放置容器，所述机械手可以在所述提升装置上上下移动；所述粘胶板提升装置整...

本发明提供了用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其能解决现有手工操作存在的硅片破碎率高的问题，能降低生产成本、提高劳动生产率、降低工人劳动强度。其包括安装于PECVD设备的进料端侧的主机架、控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅...

本实用新型提供了一种新型的硅片甩干机内筒结构，其结构简单，安装方便。其包括底板和硅片盒放置夹具，其特征在于：所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向安装于所述底板上，相邻两个所述硅片盒放置夹具之间通过筋板连接。

本发明提供了新型的硅片甩干机内筒结构，其结构简单，安装方便。其包括底板和硅片盒放置夹具，其特征在于：所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向安装于所述底板上，相邻两个所述硅片盒放置夹具之间通过筋板连接。

本实用新型公开了一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成；上板和中间板边缘均设置有“凸”字形齿槽，齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆，各挡杆一端连接上板，穿过中间板后另一端与底板连接；本实用...

本实用新型涉及一种改良的硅片甩干机传动结构，其能保证旋转座的平稳旋转，提高了硅片的安全性。其包括电机、主轴，所述电机安装于电机座，所述电机旋转轴与小带轮连接，所述主轴安装于套筒内，所述套筒安装于轴承座内，所述主轴通过大带轮与所述小带轮连...

本实用新型涉及一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其能按照硅片规格的大小的要求适当调整，配置成本低，生产效率高。其包括两块底板和两块侧板，两块底板和两块侧板相互扣接，其特征在于：其还包括侧挡杆和下挡杆，底板上开有卡孔，侧挡杆和下挡...

本实用新型涉及硅片清洗工装领域内一种硅棒夹具结构，其能提高硅片加工效率，降低工人的搬运强度，提高硅片加工的自动化程度。其特征在于：其包括加强板，所述加强板横向两端分别安装有弯板，所述弯板对称安装；所述加强板纵向两端、在所述加强板的上方安...