【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工生产设备
,具体一种改良的用于硅片甩 干机的硅片盒放置夹具。(二)
技术介绍
硅片甩干时,硅片放置于硅片盒中,硅片盒放置于专用夹具中,由于受到 硅片规格大小的影响,针对不同规格的硅片,需要配置相对应规格的硅片盒放 置夹具,其配置成本高,且在使用时需要频繁更换硅片盒放置夹具,生产效率 低。
技术实现思路
针对上述问题,本技术提供了一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放 置夹具,其能按照硅片规格的大小的要求适当调整,配置成本低,生产效率高。其技术方案是这样的其包括两块底板和两块侧板,所述两块底板和两块 侧板相互扣接,其特征在于其还包括侧挡杆和下挡杆,所述底板上开有卡孔, 所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。其进一步特征在于所述底板上与侧挡杆、下挡杆相对应的卡孔分别设置 有两组;所述侧挡杆和下挡杆分别有两根;所述下档杆设置有侧挡边;所述下 挡杆底部边缘设置有凸起;所述侧板正面开有主排水孔;所述主排水孔设置有 两个;所述侧板的底面开有小排水孔。在本技术结构中,侧挡杆和下挡杆可以根据硅片规格的大小来调节位 置,其不需要使用不同规格的硅片盒放置夹具来适合硅片规格的大小,减少了 配置成本,降低了生产成本,提高了生产效率。附图说明图l为本技术结构示意图; 图2为图1的俯视结构示意图; 图3为图1的右视结构示意图;图4为图1的后视结构示意图。 具体实施方式见图l、图2、图3和图4,本技术包括两块底板1和两块侧板3,两 块底板1和两块侧板3相互扣接,本技术还包括侧挡杆2和下挡杆4,侧挡 杆2和下挡杆4分别卡接入底板1的卡孔5、 10内。卡接孔 ...
【技术保护点】
一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其包括两块底板和两块侧板,所述两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于:其还包括侧挡杆和下挡杆,所述底板上开有卡孔,所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈世强,邹虎,
申请(专利权)人:无锡市奥曼特科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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