【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工设备领域，具体为一种改良的硅片甩干机传动结构。(二)
技术介绍
硅片切割并清洗以后， 一般都将硅片放置于硅片甩干机上，对硅片进行快 速甩干处理。硅片甩干机由电机驱动轴承带动安装有待甩干硅片的旋转座来快 速甩干硅片，以往主轴外端安装的是一对远距离布置的圆锥辊子轴承，其缺点 在于其轴承游隙调整困难，游隙过小轴承温升后发热易卡死，游隙过大影响旋 转座在高速旋转过程中的平稳性，严重时会损坏硅片。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种改良的硅片甩干机传动结构，其能 保证旋转座的平稳旋转，提高了硅片的安全性。其技术方案是这样的其包括电机、主轴，所述电机安装于电机座，所述 电机旋转轴与小带轮连接，所述主轴安装于套筒内，所述套筒安装于轴承座内， 所述主轴通过大带轮与所述小带轮连接，其特征在于所述主轴外部安装有角 接触球轴承。其进一步特征在于所述角接触球轴承设置有两个；所述两个角接触球轴 承背靠背顺序轴向安装；所述角接触球轴下部安装于所述轴承座和套筒的台阶 面上，上部卡接于所述主轴的轴肩处，上端压盖固定。使用本技术的硅片甩干机传动结构，其采用一对背靠背布置的角接触 球轴承代替以往远距离布置的圆锥辊子轴承，从而提高了轴向定位的精确性， 保证了在高速旋转过程中旋转座的平稳性，继而保证了硅片在甩干过程中不会 因为旋转座的不稳而损坏硅片。附图说明图1为本技术主视的结构示意图。具体实施方式见图l，本技术包括电机、主轴4，电机安装于电机座7，电机旋转轴 与小带轮6连接，主轴4安装于套筒15内，套筒15安装于轴承座1内，主轴4 通过大带轮5与小带轮6连接，主轴4外部...
【技术保护点】
一种改良的硅片甩干机传动结构，其包括电机、主轴，所述电机安装于电机座，所述电机旋转轴与小带轮连接，所述主轴安装于套筒内，所述套筒安装于轴承座内，所述主轴通过大带轮与所述小带轮连接，其特征在于：所述主轴外部安装有角接触球轴承。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈世强，胡文全，
申请(专利权)人：无锡市奥曼特科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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