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本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的硅片进料升降台，其能带动硅片盒在垂直方向的自由升降，从而保证出片机构能够精确地抽取每一片硅片。其特征在于：其包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机构，水平输送机构安装于升降底板，升降底板通过连接板安...
该专利属于无锡市奥曼特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市奥曼特科技有限公司授权不得商用。

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