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一种硅片放置装置制造方法及图纸
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下载一种硅片放置装置的技术资料
文档序号:5776060
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本实用新型公开了一种硅片放置装置由上板、中间板、底板、前挡杆、中间挡杆和后挡杆组成;上板和中间板边缘均设置有“凸”字形齿槽,齿槽内侧边缘的垂直方向均设置有前挡杆、中间挡杆和后挡杆,各挡杆一端连接上板,穿过中间板后另一端与底板连接;本实用新型...
该专利属于无锡市奥曼特科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市奥曼特科技有限公司授权不得商用。
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