晶圆盒底座制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶圆盒底座，其包含一本体、至少二开口、一闩锁机构、至少一标示部及至少一检视窗口。所述本体与一盒罩及一晶圆放置架组合，共同形成一用以承载晶圆的晶圆盒。所述至少二开口对称的设于所述本体的两侧面。所述闩锁机构设于所述本体内，其具有至少二卡掣部可伸出所述至少二开口，以固锁所述盒罩。所述至少一标示部设于所述闩锁机构的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一检视窗口，其实质对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面，透过所述至少一检视窗口是否显示所述至少一标示部的情形，以判断所述闩锁机构是否确实固锁所述盒罩。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是涉及一种晶圆盒底座，特别是涉及一种通过至少一标示部显 示底座与盒罩是否确实固定与密封，以免晶圆被污染或者损坏的晶圆盒底座。
技术介绍
为避免晶圆在运送过程中受到污染及碰撞， 一般会利用一可运送及可密封 的晶圆盒来放置及运送晶圆。请参考图l所示，其揭示一种现有的晶圆盒，其包含一盒罩A、 一晶 圆放置架B及一晶圆盒底座C。所述晶圆盒底座C具有一本体91，所述本体 91为一内部中空的盒体，其内部设有一闩锁机构92，其底部设有一底板93。 所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体91上形成容置空间。 所述晶圆放置架B设于所述本体91的顶面，用以承载复多个晶圆(未绘示)。如图1所示，所述闩锁机构92包含一转动开关921及二对称设置的闩锁 板922。所述转动开关921设有一枢接孔921a、二凸轮921b及二驱动销孔921c。 所述枢接孔921a设于所述转动开关921的中心，所述二凸轮921b是对称的设 在所述枢接孔921a的两侧，所述二驱动销孔921c分别是为一盲孔，设于所述 转动开关921的底部，且分别伸入所述二凸轮921b的内部。所述闩锁板922 设有一抵接边922a及二卡掣部922b。如图1所示，所述本体91内部中央设有一枢接座911，所述底板93中央 设有一轴孔931， 一枢接件a从底部向上依序穿过所述底板93的轴孔931、所 述转动开关921的枢接孔921a及所述本体91的枢接座911。所述底板93进一步设有二弧型孔932，以供一外部的驱动装置(未绘示)穿过所述二弧型孔932 而插设于所述转动开关921的所述二驱动销孔921c内，以便控制所述转动开 关921做一限定角度的转动，所述闩锁机构92具有一缩入位置(解锁状态)及一 伸出位置(扣锁状态)。请再参考图1所示，所述闩锁机构92的所述二闩锁板922是对称的设于 所述转动开关921的两侧，受到弹性件(未绘示)的作用，所述抵接边922a是保 持抵接于所述转动开关921的凸轮921b上。另外，相对于所述卡掣部922的 位置，所述本体91二相对的侧面共开设有四开口912。当所述闩锁机构92处 于解锁状态时，每一所述卡掣部922b会位于所述本体91的每一所述开口 912 的内部；当转动开关921受外部驱动做一限定角度的转动时，所述凸轮921b 抵接所述闩锁板922的抵接边922a，以推动所述二闩锁板922分别向外伸出一 段距离。因此，当所述闩锁机构92处于扣锁状态时，每一所述卡掣部922b会 伸出所述本体91的每一所述开口912的外部，并且扣住所述盒罩A对应设置 的卡槽A1内，从而使所述盒罩A与所述晶圆盒底座C形成密封的状态。综上所述，所述晶圆盒是借着所述闩锁机构92来确保所述盒罩A与所述 晶圆盒底座C的锁固来形成密闭。然而，所述闩锁机构92有可能因为外部驱 动机构的定位不正确，或者转动角度不足，而使所述闩锁机构92没有确实将 所述盒罩A与所述晶圆盒底座C锁固。由于缺乏检视此状态的机制，使得在 搬运所述未确实锁固的晶圆盒时，因为晶圆盒密封性不足，而使所述晶圆盒内 的晶圆受到微粒污染。或者，由于搬运时有可能是以所述盒罩A的把手(未绘 示)作为支撑，更可能因为所述盒罩A与所述晶圆盒底座C意外分开，造成所 述晶圆盒底座C连同所述晶圆放置架B及晶圆(未绘示)掉落，造成晶圆(未绘 示)的损坏另外，长期使用所述晶圆盒时，由于所述转动开关921的底部与所述底板 93不断接触与摩擦，有可能造成微粒(particle)而污染所述晶圆盒。现有的解决 方法为在所述底板93的顶面摩擦处贴设一铁氟龙材质的垫片933,以减少摩 擦造成微粒的情形，但在使用一段时间后，所述垫片933可能破裂毁损，仍需 更换所述垫片933。因此，有必要提供一种晶圆盒底座，以解决现有技术所存在的缺陷。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种晶圆盒底座，其是利用在本体的表面 开设检视窗口并在闩锁机构设置标示部，以便检视所述晶圆盒的盒罩与晶圆盒 底座锁固的状态是否良好，从而减少所述晶圆盒搬运时，所述盒罩与所述晶圆 盒底座意外分开，而造成晶圆被污染或损坏的情形。本技术的另一目的在于提供一种晶圆盒底座，其是利用一耐磨耗的支 撑环，以减少一转动开关底部与一底板间因摩擦而产生微粒的情形，从而减少 所述晶圆盒受到微粒污染的情形。为达上述的目的，本技术提供一种晶圆盒底座，其包含一本体、至少 二开口、 一闩锁机构、至少一标示部及至少一检视窗口。所述本体与一盒罩及 一晶圆放置架组合，共同形成一用以承载晶圆的晶圆盒。所述至少二开口对称 的设于所述本体的两侧面。所述闩锁机构设于所述本体内，其具有至少二卡掣 部可伸出所述至少二开口，以固锁所述盒罩。所述至少一标示部设于所述闩锁 机构的至少二卡掣部的至少其一。所述至少一检视窗口，其实质对应所述至少 一标示部而设于所述本体的表面，透过所述至少一检视窗口是否显示所述至少 一标示部的情形，以判断所述闩锁机构是否确实固锁所述盒罩。藉此，可确保 所述盒罩与所述晶圆盒底座固定与密封，以免搬运时盒罩与晶圆盒底座意外分 开，造成晶圆被污染或者损坏。相较于现有技术，本技术通过至少一标示部显示一底座与一盒罩是否 确实固定与密封，其确实可以避免晶圆被污染或者损坏，并减少一转动开关底 部与一底板间因摩擦而产生微粒，减少晶圆盒受到微粒的污染。附图说明图l:现有的晶圆盒的立体分解图。图2:本技术第一实施例的晶圆盒的立体分解图。图3:本技术第一实施例的晶圆盒底座的解锁状态的俯视图。图3A:图3的局部放大图。图4:本技术第一实施例的晶圆盒底座的扣锁状态的俯视图。 图4A:图4的局部放大图。图5:本技术第二实施例的晶圆盒底座的解锁状态的俯视图。 图5A:图5的局部放大图。图6:本技术第二实施例的晶圆盒底座的扣锁状态的俯视图。 图6A:图6的局部放大图。具体实施方式为让本技术上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本技术 较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下请参考图2所示，其揭示本技术第一实施例的晶圆盒的立体分解图。 本技术第一实施例的晶圆盒包含一盒罩A、 一晶圆放置架B及一晶圆盒底 座D。所述晶圆盒底座D具有一本体1，所述本体1为一内部中空的盒体，其 内部设有一闩锁机构2，其底部设有一底板3。所述盒罩A为一透明材质的盒罩A，其套设于所述本体1上形成容置空间。所述晶圆放置架B设于所述本体 l的顶面，用以承载复多个晶圆(未绘示)。如图2所示，所述闩锁机构2包含一转动开关21及二对称设置的闩锁板 22。所述转动开关21设有一枢接孔21a、 二凸轮21b及二驱动销孔21c。所述 枢接孔21a设于所述转动开关21的中心，所述二凸轮21b是对称的设在所述 枢接孔21a的两侧，所述二驱动销孔21c分别是为一盲孔，设于所述转动开关 21的底部，且分别伸入所述二凸轮21b的内部。所述闩锁板22设有一抵接边 22a及二卡掣部22b。如图2所示，所述底板3中央设有一环座33，所述环座33是一环型凹槽， 其是选择以卡掣、螺固、共射成型、超音波或黏胶的方式结合一支撑环34，所 述环座33的中央凸设有一岛状凸部(未标示)，其上开设有一轴孔31。所述本 体1内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆盒底座，其包含：　一本体，其两侧面形成至少二开口；及　一闩锁机构，其设于所述本体内，所述闩锁机构具有一伸出位置及一缩入位置，并设有至少二卡掣部对应于所述至少二开口，所述至少二卡掣部是在所述至少二开口外的一伸出位置及所述至 少二开口内的一缩入位置之间移动；其特征在于：所述晶圆盒底座还包含：　至少一标示部，其设于所述至少二卡掣部的至少其一；以及　至少一检视窗口，其对应所述至少一标示部而设于所述本体的表面；所述闩锁机构位于所述缩入位置，所述至少一标示部 是位于所述至少一检视窗口的下方；所述闩锁机构位于所述伸出位置，所述至少一标示部是伸出所述对应的开口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张耀中，
申请(专利权)人：耀连科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]