一种溅镀料架，包括主轴、多个固持件和多个弹性件。该主轴自其一端面沿其轴向设有收容槽和通道，得到平行于该端面的内表面。该通道贯穿该收容槽，止于该内表面，其将该主轴位于该端面和内表面的部分分割为相互隔开的至少两个定位体。各定位体具有平行于主轴轴向的定位面，其设有多个沿主轴轴向排列的卡位切口。该卡位切口的数量大于固持件的数量。各卡位切口贯通周面，与收容槽和通道相通，用于收容卡紧一个固持件。该多个固持件中每相邻两固持件通过一个弹性件相连。各固持件两端位于主轴外。各弹性件收容于该收容槽内，用于在发生弹性变形时使得该相邻两个固持件中的至少一个沿通道移动后卡紧于对应的卡位切口从而改变该相邻两个固持件间距。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜
，尤其涉及一种溅镀料架。
技术介绍
溅镀是利用高能粒子(如离子)轰击溅镀靶表面，使被轰击出的粒子(如原子、离 子等)沉积在镀件表面。溅镀因具有较佳沉积效率、精确控制成份以及较低制造成本等优 点，在工业上被广泛应用。在溅镀工艺中采用料架固定镀件。该料架包括主轴和多根沿主轴轴向方向间隔设 置于主轴的固持件。该主轴一端与驱动装置相连。每根固持件自主轴沿平行于主轴径向的 方向延伸，其中轴线垂直于主轴的中轴线。该固持件未与主轴相连的一端用于固持镀件。溅 镀时，该主轴在驱动装置的驱动下以溅镀靶为中心旋转，从而带动固持于固持件的镀件围 绕溅镀靶旋转，实现对多个镀件批量镀膜。针对不同尺寸的镀件，需改变相邻两固持件之间的距离，以避免相邻两镀件相互 遮挡，造成镀件被遮盖部分未被镀膜，即，需对应设置不同的溅镀装置，这无疑会增加生产 成本。若采用同一料架，则需在满足相邻两镀件不相互重叠的条件下选择性地使用固持件， 这样一来，必然有部分固持件空置，降低生产效率。因此，有必要提供一种可根据镀件尺寸灵活调整相邻两固持件间距的溅镀料架来 降低生产成本和提高生产效率。
技术实现思路
以下以实施例为例说明一种相邻两固持件间距可调的溅镀料架。—种溅镀料架，其包括主轴、多个固持件和多个弹性件。该主轴包括第一端面、与 第一端面相对的第二端面以及连接于第一端面与第二端面之间的周面。该主轴自第一端面 沿其轴向设有收容槽和通道，由此得到平行于第一端面的内表面。该通道止于该内表面，并 贯穿该收容槽，其将主轴位于第一端面与内表面之间的部分分割为至少两个相互隔开的定 位体。各定位体具有平行于主轴轴向的定位面，其自该定位面朝定位体内部设有多个沿主 轴轴向排列的卡位切口。该多个卡位切口的数量大于该多个固持件的数量，各卡位切口贯 通周面，并与该收容槽和通道相通，用于收容卡紧一个固持件。该多个固持件中每相邻两固 持件通过一个弹性件相连。每个固持件的两端位于该主轴外，用于固持镀件，各弹性件收容 于该收容槽内，用于在发生弹性变形时使得该相邻两个固持件中的至少一个在通道内移动 后卡紧于对应的卡位切口从而改变该相邻两个固持件间距。本技术方案提供的溅镀料架设置了通道、弹性件和卡位切口，可在固定相邻两固 持件中的一个的情况下通过弹性件的弹性形变来调节相邻两固持件之间的距离，并将调节 好间距的各固持件卡位于对应的卡位切口，实现相邻两固持件间距可调，由此避免相邻两 镀件相互遮挡。此外，每个定位体所开设的卡位切口的数量大于固持件的数量，使得可使用 全部固持件来固定镀件，避免了固持件闲置，提高了镀膜效率。附图说明图1是本技术方案实施例提供的溅镀料架非使用状态的示意图。图2是图1所示溅镀料架的俯视图。图3是图1所示溅镀料架的分解示意图。图4是采用本技术方案实施例提供的溅镀装置对镀件镀膜的示意图。 具体实施例方式以下结合附图及实施例对本技术方案提供的溅镀料架进行详细说明。请一并参见图1至图3，本技术方案一实施例提供的溅镀料架100包括主轴110、 多个固持件120和多个弹性件130。该多个固持件120和多个弹性件130可移动地收容于 主轴110。相邻两固持件120通过一个弹性件130相连。主轴110呈圆柱体状，其具有第一端面1101、第二端面1102和周面1107。第一 端面1101与第二端面1102相对，且相互平行。周面1107设于第一端面1101和第二端面 1102之间，并与第一端面1101和第二端面1102相连。主轴110自第一端面1101的中心区 域沿主轴110的轴向设有圆柱体状的收容槽1103，由此于该收容槽1103内形成平行于第 一端面1101和第二端面1102的内表面1106。主轴110还自第一端面1101沿其轴向开设 有第一通道1104和第二通道1105。第一通道1104和第二通道1105均止于内表面1106， 并贯穿收容槽1103。第一通道1104和第二通道1105于内表面1106的投影相交于收容槽 1103于内表面1106的投影的中心区域。第一通道1104与第二通道1105相互配合地将主 轴110位于第一端面1101和内表面1106之间的部分沿平行于主轴110的轴向的方向分割 成四个相互隔开的定位体，即第一定位体110a、第二定位体110b、第三定位体IlOc和第四 定位体IlOd0请参见图2，第一定位体IlOa设于第二定位体IlOb及第四定位体IlOd之间，其 具有与第二定位体IlOb相对的第一定位面IlOla及与第四定位体IlOd相对的第二定位面 IlOld0第二定位体IlOb设于第一定位体IlOa与第三定位体IlOc之间，其具有与第一定 位面IlOla相对的第三定位面1102a及与第三定位体IlOc相对的第四定位面1102d。第三 定位体IlOc设于第二定位体IlOb和第四定位体IlOd之间，其具有与第四定位面1102d相 对的第五定位面1103a及与第四定位体IlOd相对的第六定位面1103d。第四定位体IlOd 设于第一定位体IlOa及第三定位体IlOc之间，其具有与第六定位面1103d相对的第七定 位面1104a及与第二定位面IlOld相对的第八定位面1104d。第一定位面IlOla与第七定 位面1104a共面，第三定位面1102a与第六定位面1103d共面，第二定位面IlOld与第四定 位面1102d共面，第八定位面1104d与第五定位面1103a共面。前述各定位面平行于主轴 110的中轴线。请一并参见图1及图2，第一定位体IlOa自第二定位面IlOld朝第一定位体IlOa 内部设有多个第一卡位切口 1107a。该多个第一卡位切口 1107a沿主轴110轴向相互平行 设置。每个第一卡位切口 1107a—端贯穿周面1107，另一相对端与收容槽1103相通。每个 第一卡位切口 1107a还与第二通道1105相通。每相邻两第一卡位切口 1107a之间的距离 可按镀件尺寸呈递增、递减、等间距或无规设置。该第一卡位切口 1107a的个数大于固持件120的个数，以便后续根据镀件尺寸灵活选择一个第一卡位切口 1107a来卡紧固持件120。 第三定位体IlOc自第五定位面1103a朝其内部设有多个第二卡位切口 1107b。该多个第 二卡位切口 1107b亦沿主轴110轴向排列设置。每个第二卡位切口 1107b贯通周面1107， 并与收容槽1103和第二通道1105相通，其与每个第一卡位切口 1107a—一对应，用于与该 第一卡位切口 1107a配合收容并卡紧固持件120。同样地，第二定位体IlOb自第三定位面 1102a朝其内部开设有多个第三卡位切口 1107c，第四定位体IlOd自第七定位面1104a朝 其内部开设有多个与第三卡位切口一一对应的第四卡位切口 1107d。该多个第三卡位切口 和第四卡位切口 1107d均沿主轴110的轴向排列，且每个第三卡位切口 1107c、与该第三卡 位切口 1107c对应的第四卡位切口 1107d及一个第一卡位切口 1107a和一个第二卡位切口 1107b与内表面1106的距离相等，以使收容于第一通道1104和第二通道1105内的固持件 120围绕主轴110的中轴线做适当角度的旋转后，能收容并卡位本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种溅镀料架，其包括主轴和多个固持件，该主轴包括第一端面、与第一端面相对的第二端面以及连接于第一端面与第二端面之间的周面，其特征是，该溅镀料架进一步包括多个弹性件，该主轴自第一端面沿其轴向设有收容槽和通道，由此得到平行于第一端面的内表面，该通道止于该内表面，并贯穿该收容槽，其将主轴位于第一端面与内表面之间的部分分割为至少两个相互隔开的定位体；各定位体具有平行于主轴轴线的定位面，其自该定位面朝定位体内部设有多个沿主轴轴向排列的卡位切口，该多个卡位切口的数量大于该多个固持件的数量，各卡位切口贯通周面，并与该收容槽和通道相通，用于收容卡紧一个固持件；该多个固持件中每相邻两固持件通过一个弹性件相连，每个固持件的两端位于该主轴外，用于固持镀件，各弹性件收容于该收容槽内，用于在发生弹性变形时使得该相邻两个固持件中的至少一个在通道内移动后卡紧于对应的卡位切口从而改变该相邻两个固持件间距。
【技术特征摘要】
1.一种溅镀料架，其包括主轴和多个固持件，该主轴包括第一端面、与第一端面相对的 第二端面以及连接于第一端面与第二端面之间的周面，其特征是，该溅镀料架进一步包括 多个弹性件，该主轴自第一端面沿其轴向设有收容槽和通道，由此得到平行于第一端面的 内表面，该通道止于该内表面，并贯穿该收容槽，其将主轴位于第一端面与内表面之间的部 分分割为至少两个相互隔开的定位体；各定位体具有平行于主轴轴线的定位面，其自该定 位面朝定位体内部设有多个沿主轴轴向排列的卡位切口，该多个卡位切口的数量大于该多 个固持件的数量，各卡位切口贯通周面，并与该收容槽和通道相通，用于收容卡紧一个固持 件；该多个固持件中每相邻两固持件通过一个弹性件相连，每个固持件的两端位于该主轴 外，用于固持镀件，各弹性件收容于该收容槽内，用于在发生弹性变形时使得该相邻两个固 持件中的至少一个在通道内移动后卡紧于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王仲培，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。