【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能电池生产领域，具体的说是一种在磁控溅射设备中对太阳 能电池进行溅镀Al层时太阳能电池边沿的保护装置。
技术介绍
在现有太阳能电池生产中，磁控溅射溅镀A1作为背电极是一道很重要的工艺过 程，但是由于溅镀时溅镀范围调控的误差，Al会溅射到太阳能电池的边沿(工艺要求边沿 不能有Al，因为后段程序在外面装边框时，会形成短路)，更严重的是如果溅镀到仓室内壁 上，会对设备造成毁坏。所以需要在溅镀时对太阳能电池边沿和仓室内壁进行保护，这样就 需要设计一种保护装置。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种在磁控溅射设备中对太阳能电池边沿和仓室内 壁的保护防溅镀装置，该装置可以有效的防止Al被溅射到太阳能电池的边沿和仓室的内 壁上，不会导致短路和毁坏设备的现象发生。本技术的目的是这样实现的该保护装置包括靶材、矩形保护环、太阳能电 池、仓体，所述的保护环设置在仓体内靶材和太阳能电池之间，保护环为矩形环状的结构。 本技术由于采用上述结构，使得磁控溅射设备对太阳能电池进行溅镀A1层 时，不会将A1溅射到太阳能电池的边沿和仓室的内壁上从而避免导致短路和毁坏设备的 现象发生。附...
【技术保护点】
一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于：该保护装置包括靶材（１）、矩形保护环（２）、太阳能电池（３）、仓体（４），所述的保护环（２）设置在仓体（４）内靶材（１）和太阳能电池（３）之间，保护环（２）为矩形环状的结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨继泽，刘万学，张兵，王巍，王德宏，左腾，朱艳伟，钟福建，
申请(专利权)人：吉林庆达新能源电力股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
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