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本实用新型属于太阳能电池生产领域,具体的说是一种在磁控溅射设备中对太阳能电池进行溅镀Al层时太阳能电池边沿的保护装置。该保护装置包括靶材、矩形保护环、太阳能电池、仓体,所述的保护环设置在仓体内靶材和太阳能电池之间,保护环为矩形环状的结构。由...该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于太阳能电池生产领域,具体的说是一种在磁控溅射设备中对太阳能电池进行溅镀Al层时太阳能电池边沿的保护装置。该保护装置包括靶材、矩形保护环、太阳能电池、仓体,所述的保护环设置在仓体内靶材和太阳能电池之间,保护环为矩形环状的结构。由...