【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶生产
,涉及一种直拉单晶隔热装料方法,本专利技术还涉及该直拉单晶隔热装料方法所使用的隔热装料装置。
技术介绍
直拉单晶生产工艺中,在拆炉后,通常需要进行取晶体、热场冷却、热场清扫、装料、合炉等几个工序环节来实现下一炉次的单晶拉制的准备,这一过程通常称为拆装炉工艺。 在单晶拉制过程中由于石英坩埚与熔硅不断反应会生成一氧化硅,大量的一氧化硅挥发物在排出的过程中会沉积在热场及单晶炉炉筒内部,因此在停炉后,通常需要将热场及炉筒重新清扫,以保证下炉单晶拉制过程中的高纯卫生。但由于拆炉时热场内部尚有500-60(TC的高温,高温挥发的热气流会给清扫热场及装料等后续操作带来极大的困难,特别是装料工序。直拉单晶装料工序是将不同形状的多晶料块按一定工艺要求码放入石英坩埚内部,在整个装料过程中,操作人员必须直面热场上口 。为防止操作人员的烫伤及其他安全事故的发生,必然需要先进行热场的冷却,而热场的冷却需要耗费大量的时间,严重阻碍了生产效率的提高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种直拉单晶隔热装料方法,解决了现有技术在整个装料过程中,需要进行热场的冷却,生产效率低,操作安全性不好的问题。 本专利技术的另一目的是提供上述用于直拉单晶工艺的隔热装料装置,去除了热场冷却环节,有效防止掉料事故发生,在不冷却热场情况下实现装料。 本专利技术所采用的技术方案是,一种直拉单晶隔热装料方法,该方法按照以下步骤具体实施 步骤1、单晶炉拆炉后,操作人员穿戴好防护用具,采用耐高温清扫工具,将主室炉筒、主保温筒和石墨加热器等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净; 步骤2 ...
【技术保护点】
一种直拉单晶隔热装料方法,其特征在于,该方法按照以下步骤具体实施: 步骤1、单晶炉拆炉后,操作人员穿戴好防护用具,采用耐高温清扫工具,将主室炉筒(9)、主保温筒(8)和石墨加热器(4)等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净; 步骤2、在主保温筒(8)上方安放隔热大盖(1),用于将热场中向上挥发的热气流阻隔,所述的隔热大盖(1)为一圆盘形状,与主室炉筒(9)的内壁接触放置,隔热大盖(1)的外径与主室炉筒(9)的内径相适应,隔热大盖(1)的中心挖有与石墨坩埚(7)外径相等的圆孔(10); 步骤3、将石墨坩埚(7)及石英坩埚(6)依次放置于石墨托杆(5)上,然后在石英坩埚(6)中装入单晶原料; 步骤4、装料完毕后,在石英坩埚(6)上盖好护料盖(2),所述的护料盖(2)沿圆周设置有护沿(11),护沿(11)的内径大于石英坩埚(6)的外径,护沿(11)的外径小于石墨坩埚(7)的外径; 步骤5、再将隔热大盖(1)取出,去掉护料盖(2),合炉,开始下一炉次的单晶拉制。
【技术特征摘要】
一种直拉单晶隔热装料方法,其特征在于,该方法按照以下步骤具体实施步骤1、单晶炉拆炉后,操作人员穿戴好防护用具,采用耐高温清扫工具,将主室炉筒(9)、主保温筒(8)和石墨加热器(4)等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净;步骤2、在主保温筒(8)上方安放隔热大盖(1),用于将热场中向上挥发的热气流阻隔,所述的隔热大盖(1)为一圆盘形状,与主室炉筒(9)的内壁接触放置,隔热大盖(1)的外径与主室炉筒(9)的内径相适应,隔热大盖(1)的中心挖有与石墨坩埚(7)外径相等的圆孔(10);步骤3、将石墨坩埚(7)及石英坩埚(6)依次放置于石墨托杆(5)上,然后在石英坩埚(6)中装入单晶原料;步骤4、装料完毕后,在石英坩埚(6)上盖好护料盖(2),所述的护料盖(2)沿圆周设置有护沿(11),护沿(11)的内径大于石英坩埚(6)的外径,护沿(11)的外径小于石墨坩埚(7)的外径;步骤5、再将隔热大盖(1)取出,去掉护料盖(2),合炉,开始下一炉次的单晶拉制。2. 根据权利要求l所述的方法,其特征在于,所述隔热大盖(1)选用固态石墨毡、硅酸铝陶瓷纤维制品、硅酸f丐制品或石墨制品。3. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:周锐,
申请(专利权)人:西安隆基硅材料股份有限公司,西安隆基硅技术有限公司,宁夏隆基硅材料有限公司,西安矽美单晶硅有限公司,
类型:发明
国别省市:87[中国|西安]
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