【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池生产设备,尤其涉及拉晶炉的除尘设备。
技术介绍
随着太阳能电池的不断推广应用,硅棒的需求量越来越大。目前, 硅棒通常采用拉 晶炉拉制,俗称直拉法。直拉法是指在拉晶炉的真空腔室内设有石英坩埚,将经过处理的高 纯多晶硅料或次品硅(单晶硅和多晶硅头尾料)装入石英坩埚内,并向拉晶炉内充入保护 性气体,加热至1500°C使硅料熔化,然后将子晶夹头中的子晶降下与多晶熔硅充分接触,子 晶严格定向,并以一定的速度旋转提升,在晶核诱导下从熔体上被缓缓提拉出来。在拉晶过 程中,硅熔液会产生挥发性烟气,主要包括硅氧化物(SiO、少量的SiO2,呈黄色烟尘状)和 杂质挥发物。这些气尘粒子必须及时由真空泵抽吸到拉晶炉的初级储尘箱内,否则气体中 灰尘粒子就会飘浮在单晶生长界面周围,从而直接影响硅棒的品质。因此生产中必须向拉 晶炉中充入氩气,氩气由上至下穿过单晶生长区域,带走气尘杂质。当氩气的流量偏小时, 能明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾,俗称“冒烟”,此时,SiO粒子可能会被吸附到单晶生长 界面上,造成正在生长的单晶的原子晶向发生位错,使单晶生长失败,俗称“断苞”,降 ...
【技术保护点】
一种拉晶炉初级储尘箱的二次吸尘装置,其特征是:包括吸尘嘴(1)、吸尘支管(2)、支路阀门(3)、主管道(4)、二级储尘箱(5)、吸风管(6)、吸风机(7)和排风管(8),在主管道(4)上接有多条吸尘支管(2),每一条吸尘支管(2)对应于一台拉晶炉,每一条吸尘支管(2)都通过支路阀门(3)与主管道(4)相通连;所述二级储尘箱(5)包括二级储尘筒(51)、耐高温滤网筒(52)和端盖(53),主管道(4)与二级储尘筒(51)的筒体内腔(54)相通连,耐高温滤网筒(52)放置在二级储尘筒(51)的筒体内腔(54)中,吸风管(6)穿过端盖(53)与耐高温滤网筒(52)的滤网筒内腔(5 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周小伟,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:32[中国|江苏]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。