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有机存储器制造技术

技术编号:3956653 阅读:346 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及有机存储器,基于自组装材料,具有非挥发存储效应。所述有机存储器包括上、下电极和置于上、下电极之间的功能层,所述功能层包括相互隔离的上、下有机半导体层和上、下有机半导体层中间的烷基三氯硅烷自组装分子层,所述烷基三氯硅烷自组装分子层与上、下有机半导体层相接触。作为优选方案,所述烷基三氯硅烷中烷基的碳原子数为3-12,更优选为6-12,最优选为辛烷基三氯硅烷。由于烷基三氯硅烷自组装分子层与有机半导体层界面处的陷阱电荷,能够起到对自组装材料层的势垒性质的调控,从而使得电荷穿越过这一势垒层的几率改变,最终得到具有电学存储效应的器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种交叉点结构的有机存储器
技术介绍
近年来,自组装分子材料已经被广泛的应用于有机电子器件,起到对器件的各界 面的修饰和功能化,并且已经得到了性能大幅度提高的器件。值得注意的是,自组装分子 材料通常可以形成厚度仅为几个纳米的薄层,而电荷可以通过隧穿或者跳跃传输而穿越过 这一层,因而理论上通过调制这一超薄的自组装分子层的势垒特性,可以实现存储器效应 (即同一外加电压的情况下,器件能够呈现出高低电导状态,并分别定义为“1”和“0”状 态)。此外,由于自组装分子材料的多样性以及分子结构的可控性,使得基于自组装分子材 料作为引发存储器效应的器件具有良好的开发前景。
技术实现思路
本专利技术提供一种有机存储器,基于自组装材料,具有非挥发存储效应。所述有机存储器包括上、下电极和置于上、下电极之间的功能层,所述功能层包括 相互隔离的上、下有机半导体层和上、下有机半导体层中间的烷基三氯硅烷自组装分子层, 所述烷基三氯硅烷自组装分子层与上、下有机半导体层相接触。作为优选方案,所述烷基三氯硅烷中烷基的碳原子数为3-12,更优选为6-12,最 优选为辛烷基三氯硅烷(以下简称OTS)。所述有机半导体层和自组装分子层采用本领域公知的方法制备得到。优选的有机 半导体层为红荧烯薄膜。自组装分子层可采用采用真空气相沉积法得到,优选的自组装分 子层的生长时间为2-6h。红荧烯与OTS均为公知公用的物质,具体结构分别如式(a)、(b)所示 Oη(a)αI^a(b)所述上、下电极采用公知结构,如均为金属电极(如金电极),具体材质应与器件 材料匹配。所述有机存储器为交叉点结构。在有机存储器的研究领域,具有交叉点结构的器件是备受关注的器件类型之一,这主要是由于其简单的结构、简易的制备方法,并在今后有 望实现加工成本低廉的器件。作为公知常识,所述有机存储器还包括衬底,衬底位于下电极下方,衬底材料可由 本领域技术人员根据实际要求进行选择。由于烷基三氯硅烷自组装分子层很薄,厚度不大于5nm,其与有机半导体层界面处 的陷阱电荷,能够起到对自组装材料层的势垒性质的调控,从而使得电荷穿越过这一势垒 层的几率改变,最终得到具有电学存储效应的器件。作为本专利技术的改进,所述有机存储器还包括绝缘阻挡层,所述绝缘阻挡层为不连 续薄膜,位于烷基三氯硅烷自组装分子层和上有机半导体层之间,烷基三氯硅烷和上有机 半导体层在不连续薄膜的孔隙处接触。所述绝缘阻挡层优选为LiF薄膜。作为进一步优选 方案,所述LiF薄膜厚15nm。当自组装分子层存在缺陷,不能完全覆盖下有机半导体层时,直接在自组装分子 层上形成上有机半导体层时,上有机半导体层可能会渗透通过缺陷区域,直接与下有机半 导体层相接触,从而导致漏电流的产生。在自组装分子层的上方还设有绝缘阻挡层,可以起 到填补自组装层中缺陷的作用,以防止自组装层中缺陷而导致的较大的漏电流。此绝缘阻 挡层在自组装分子层上形成的是非连续性的薄膜,在薄膜的孔隙处上有机半导体层可以渗 透,与自组装材料相接触,从而形成自组装材料与有机半导体层之间的界面结构,通过电荷 穿越,实现电学存储器效应。我们优选氟化锂LiF作为此处的绝缘材料,可以形成由纳米颗 粒构成的不连续薄膜,而纳米颗粒之间有机半导体材料仍然可以渗透。申请人:基于自组装分子层作为超薄势垒,设计了有机存储器。器件中所体现出的 电学双稳态效应,是电学存储器的典型特性,并且此效应来自于作为超薄势垒层的自组装 分子层,可以通过界面陷阱电荷而受到调控通过外加电压,使得自组装分子层与有机半导 体层的界面处产生陷阱电荷,从而降低自组装分子层的势垒高度,使得通过器件的电流密 度发生明显改变。本专利技术结构简单、新颖,而且器件性能优良,制备方法简易、成本低廉,并 且由于自组装分子层的多样性使得此类器件具有良好的开发前景。附图说明图1是原子力显微镜(以下简称AFM)表面形貌图和相图;图2是有机存储器的结构图;图3是图2中虚线方框内所示功能区域的细节图;图4是实施例1和2所得有机存储器的电学性能图;图5是实施例1中不同的OTS生长时间所得有机存储器的电学性能图;图6是实施例4所得有机存储器的电学性能图。具体实施例方式以下实施例中,电流-电压曲线的测量是在惰性气体保护下,采用电流源测量表 Keithley2611 进行。实施例11)以附有300nm厚度的二氧化硅的硅片作为衬底,利用掩模板,通过真空热蒸发的方法在衬底上形成50nm厚度的条形金电极作为下电极;2)通过真空热蒸发的方法,在带有条形金电极的衬底上蒸镀一层厚度为50nm的 有机小分子半导体红荧烯薄膜作为下半导体层;3)将样品放在一个密封的腔体内,腔体内另外放一个小瓶子,瓶子内含有自组装 分子材料0TS。将腔体抽真空,这时小瓶子内的单分子材料会低压下气相挥发,从而生长在 有机半导体层上,形成OTS自组装分子层。控制OTS 自组装分子层的生长时间。4)通过热蒸镀的方法在样品上淀积15nm厚度的LiF ;5)再在样品上蒸镀一层50nm厚的有机小分子半导体红荧烯薄膜作为上半导体 层;6)通过掩模板,在样品上热真空蒸镀厚度为50nm的条形金电极作为上电极,和步 骤1)中的电极形成交叉状,得到的有机存储器结构如图2所示,在衬底上依次布置有下电 极2、下半导体层4、OTS自组装分子层5、LiF层6、上半导体层3、上电极1。实施例21)以附有300nm厚度的二氧化硅的硅片作为衬底,利用掩模板,通过真空热蒸发 的方法在衬底上形成50nm厚度的条形金电极作为下电极;2)通过真空热蒸发的方法,在带有条形金电极的衬底上蒸镀一层厚度为50nm的 有机小分子半导体红荧烯薄膜作为下半导体层;3)将样品放在一个密封的腔体内,腔体内另外放一个小瓶子,瓶子内含有自组装 分子材料0TS。将腔体抽真空,这时小瓶子内的单分子材料会低压下气相挥发,从而生长在 有机半导体层上,形成OTS自组装分子层。整个过程需要六个小时。4)再在样品上蒸镀一层50nm厚的有机小分子半导体红荧烯薄膜作为上半导体 层;5)通过掩模板,在样品上热真空蒸镀厚度为50nm的条形金电极作为上电极,和步 骤1)中的电极形成交叉状,得到的有机存储器结构为在衬底上依次布置有下电极、下半 导体层、OTS自组装分子层、上半导体层、上电极。实施例3制备过程同实施例1,不同之处在于LiF薄膜的厚度为20nm。图1中(a)和(b)是实施例1-3中所得纯净的有机半导体层红荧烯薄膜表面的AFM 表面形貌图和相图;(c)和(d)是红荧烯薄膜表面通过六小时真空气相方法生长OTS的AFM 表面形貌图和相图,可以清楚的看到OTS自组装分子层在红荧烯表面上形成。同时,可以发 现在OTS层中有自组装分子覆盖不完全的区域,而我们通过蒸镀淀积一层15nm的LiF,填补 OTS层中的缺陷,即自组装分子覆盖不完全的区域,能够避免器件漏电流的产生。图(e)是 实施例1步骤4)热蒸镀LiF层的AFM图片,可以发现,LiF层是由纳米颗粒组成,因此上一 层的红荧烯薄膜在蒸镀初期时将会在LiF颗粒间隙之间的区域沉积并形成不连续的岛状 结构(这里我们无法给出相应结构的显微图,其尺寸已经超出仪器精度,这一点可以通过 文献佐证)。图4给出了实施例1所得有机存储器(0T本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机存储器,包括上、下电极和置于上、下电极之间的功能层,其特征在于所述功能层包括相互隔离的上、下有机半导体层和上、下有机半导体层中间的烷基三氯硅烷自组装分子层,所述烷基三氯硅烷自组装分子层与上、下有机半导体层相接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:施毅李昀邱旦峰曹立强潘力嘉濮林
申请(专利权)人:南京大学
类型:发明
国别省市:84[中国|南京]

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