减压干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种减压干燥装置，该装置能够抑制形成于基板涂布膜上的干燥不匀。该减压干燥装置包括：容纳部，用于容纳基板；基板保持部，用于将基板保持在所述容纳部的规定位置上；排气口，设置在与由所述基板保持部保持的基板中心位置相对而置的位置上，用来排出所述容纳部的大气；环状吸引口，其具有沿着由所述基板保持部保持的基板的外周边开口的开口部，且沿着所述基板的外周边以环状连通而形成；其中，通过所述排气口与环状吸引口的连通连接，在所述排气口产生吸引力时，容纳部的大气通过所述开口部而从排气口排出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过使涂布在基板上的涂布液减压干燥、由此在基板上形成涂布膜的减压干燥装置。
技术介绍
在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用基板上涂布有抗蚀剂液的基 板(称为涂布基板)。该涂布基板通过利用涂布装置在基板上均勻涂布抗蚀剂液以形成涂 布膜、然后利用减压干燥装置使涂布膜干燥来被生产出来。该减压干燥装置，如下述专利文献1所示，在将基板容纳于形成有上部腔室和下 部腔室的容纳部的状态下，通过从排气口排出容纳部的大气来减少容纳部内的压力，以使 基板上的涂布膜干燥。此时，载置基板的平板起到作为整流板的作用，由此能够抑制在基板上的涂布膜 上形成干燥不均勻。即，若使用真空泵等使吸引力作用于排气口，则基板附近的大气通过整 流板的外周边侧而流入到排气口。而且排气口沿着载置有基板的区域的外周边内侧附近排 列有多个，以使通过整流板外周边侧的大气能够在短时间内被有效回收。由此，基板附近的 大气能够几乎均勻地被排出，从而防止在涂布膜上形成干燥不勻。专利文献1 日本特开2005-329303号公报但是，即使是上述专利文献1所记载的减压干燥装置，有时也不能抑制住干燥不 勻。即，由于排气口被设置在沿载置有基板的区域的外周边内侧附近，因此在配置有排气口 的附近，其吸引力比其它地方强。因此，即使在设置了整流板的情况下，排气口附近也会产 生强大的气流，在基板上的涂布膜上形成沿着大气流而形成的、条纹状的不勻。于是，不经 任何处理进行干燥，由此具有在涂布膜上产生干燥不勻的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题点，其目的在于提供一种能够抑制在涂布膜上形成干燥不勻 的减压干燥装置。为了解决上述问题，本专利技术的减压干燥装置，包括容纳部，用于容纳基板；基板 保持部，用于将基板保持在所述容纳部的规定位置上；排气口，设置在与由所述基板保持部 保持的基板的中心位置相对而置的位置上，用来排出所述容纳部的大气；环状吸引口，包括 沿由所述基板保持部保持的基板的外周边开口的开口部，所述环状吸引口沿所述基板的外 周边以环状连通而形成；其中，通过所述排气口和所述环状吸引口的连通连接，在所述排气 口上产生吸引力时，容纳部的大气通过所述环状吸引口而从排气口排出。根据所述减压干燥装置，在排气口产生吸引力时，容纳部的大气相等地通过所述 环状吸引口的开口部而被吸引。即，由于环状吸引口和排气口相连通、且排气口被配置在与 基板的中心位置相对而置的位置上，因此在吸引力作用于排气口时，该吸引力在整个环状 吸引口的周围上朝向位于基板中心位置的排气口方向产生作用，且在整个环状吸引口的周围产生几乎相等的吸引力。另外，由于所述环状吸引口沿基板外周边具有开口部，因此能够 使整个该开口部产生几乎均勻的吸引力。由此容纳部的大气从基板的中央部分到位于外周 边侧的开口部的方向相等地被吸引，且通过环状吸引口从排气口排出。由此，容纳部的大气 相等地被吸引，因此与以往的情况相比，即与因沿基板的外周边内侧附近设置有多个排气 口而在配置有排气口的附近与其它地方所产生的吸引力存在强弱不同的情况相比，能够抑 制干燥不勻。另外，所述环状吸引口也可以通过下述方式构成其形成于所述基板保持部上，并 在由所述基板保持部保持的基板的整个外周边上以离该外周边位于等距离的位置的方式 形成。根据所述结构，由于环状吸引口形成在离被保持的基板的外周边呈等距离位置的 基板保持部上，因此从基板的中央部分朝向位于基板外周边侧的环状吸引口的方向产生相 等且均勻的吸引力。因此不需要设置以往的整流板，从而能够减小容纳部的体积。由此，能 够抑制伴随容纳部的增大而产生在涂布膜内的气泡，能够抑制干燥不勻的发生。另外，所述开口部也可以通过下述方式构成其为连通所述容纳部和环状吸引口 的贯通口，且该贯通口沿着由所述基板保持部保持的基板的外周边而形成。根据所述结构，即使产生在环状吸引口的吸引力在圆周方向上不相等的情况下， 也可以通过适当调节贯通口的配置等方式而能够几乎均勻地吸引容纳部的大气。作为具体实施方式可以通过下述方式构成具有连通连接所述排气口和环状吸引 口的连通口，且形成在与所述连通口相连接的环状吸引口部分的贯通口小于形成在其它部 分的贯通口。根据所述结构，在连接有连通口的排气口部分中，来自排气口的吸引力大于其它 部分的吸引力。因此，通过使该部分中的贯通口按照小于其他部分中的贯通口的方式形成， 从而能够使所述部分的吸引力小于其它部分的吸引力，由此能够使开口部整体的吸引力变 得几乎均勻。进一步具体来说，所述贯通口的结构按照距离所述连通口和环状吸引口的连通连 接部分越远该贯通口越大的方式形成，因此可通过适当地调节使开口部整体的吸引力变得 均勻。根据本专利技术的减压干燥装置，能够抑制形成于涂布膜上的干燥不勻。 附图说明图1为表示本专利技术一实施方式中减压干燥装置的腔盖部和腔主体相隔开的状态的立体图；图2为上述减压干燥装置的腔主体的俯视图；图3为表示上述腔主体基部的俯视图；图4为表示基板被载置于上述腔主体的状态的部分截面图；图5为表示基板被容纳在减压干燥装置内的状态的图。附图标记说明1 基板10腔盖部11平板部12侧壁部20腔主体21 基部21a销容纳孔22 板部22a 销孔22b 贯通口23顶升销24 排气 口25环状吸引口25a 开口部26 连通 口30基板容纳部具体实施例方式利用附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1 图5是概略地表示本专利技术一实施方式的减压干燥装置的图，其中，图1为表 示减压干燥装置的腔盖部10和腔主体20相隔开的状态的立体图；图2为腔主体的俯视图； 图3为表示腔主体基部21的图；图4为表示基板1被载置在上述腔主体20的状态的部分 截面图；图5为表示基板被容纳在减压干燥装置内的状态的图。如图1 图5所示，减压干燥装置是对形成在基板1上的抗蚀剂液等的涂布膜进 行干燥的装置，其包括腔主体20 (基板保持部20)和腔盖部10。如图5所示，通过所述腔主 体20和后述的腔盖部10而形成有容纳基板1的基板容纳部30。并且，通过使所述基板容 纳部30维持在减压环境的方式，能够对容纳于基板容纳部30内的基板1进行干燥。另外，在以下说明中，将图1中的纸张上侧作为减压干燥装置的上方、将图1中的 纸张下侧作为减压干燥装置的下方而进行说明。腔主体20是对形成有涂布膜的基板1进行保持的部件。所述腔主体20包括基部 21和安装在所述基部21上面的板部22。在所述板部22中形成有多个销孔22a，且按照顶 升销23从所述销孔22a处突出的方式形成。于是，基板1能够通过该突出的多个顶升销23 的前端部分来进行保持。具体来说，在基部21中，与销孔22a相对应的位置上形成有销容纳孔21a，且在该销容纳孔21a中埋设有顶升销23。所述顶升销23与设置在基部21下侧的驱动装置(未图 示)相连接，通过驱动所述驱动装置，顶升销23进行升降动作，且能够在任意位置上停止。 在本实施方式中，顶升销23被设定为能够在容纳于基部21内的容纳位置、从板部22突出 并交接基板1的基板交接位置、进行干燥工序的干燥位置上停止。而且，如果基板1在顶升 销23位于基板交接位置的状态下被载置在顶升销23的前端部分，则通过未图示的定位机 构使基板1定位在预先设定好的位置上，然后使顶升销下降以使基板1在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥装置，其特征在于，包括：容纳部，用于容纳基板；基板保持部，用于将所述基板保持在所述容纳部的规定位置上；排气口，设置在与由所述基板保持部保持的基板中心位置相对而置的位置上，用来排出所述容纳部的大气；环状吸引口，包括沿由所述基板保持部保持的基板的外周边开口的开口部，所述环状吸引口沿所述基板的外周边以环状连通而形成；其中，通过所述排气口与所述环状吸引口的连通连接，在所述排气口上产生吸引力时，所述容纳部的大气通过所述环状吸引口而从所述排气口排出。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥田大辅，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]