干燥装置和干燥处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供在对基板上的有机材料膜进行干燥处理时尽量地降低混入到处理容器内的水分的影响的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）和用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为基板支承部的基板支承部（3），在干燥处理期间，在处理容器（1）内的压力为大气压～500Pa的范围内，将基板（S）保持在第1高度位置，在处理容器（1）内的压力为3Pa以下时，使基板（S）下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通过在将基板（S）保持在第1高度位置的状态下进行减压排气，能够使处理容器（1）内的水分自底壁（11）的排气口（11a）快速地排出。

【技术实现步骤摘要】
干燥装置和干燥处理方法
本专利技术涉及例如在有机EL元件的制造过程中能够用来进行基板上的有机材料膜的干燥的干燥装置和干燥处理方法。
技术介绍
有机EL(ElectroLuminescence)元件是利用通过通入电流而产生的有机化合物的发光的发光元件，成为在一对电极之间夹有多个有机功能膜的层叠体(以下将该层叠体统称作“EL层”)的构造。在此，EL层例如具有从阳极侧起按照[空穴输送层/发光层/电子输送层]、[空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层]、或者[空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层]等顺序层叠而成的构造。通过针对各层分别在基板上蒸镀或者涂敷有机材料而形成EL层。并且，在形成高精度的微细图案的情况下，作为涂敷方法，一般认为利用喷墨印刷法是有利的。由于在利用喷墨印刷法印刷在基板上的有机材料膜中含有大量的源自墨的溶剂，因此，为了除去该溶剂而进行减压干燥。进而对干燥后的有机材料膜在低氧气氛中进行烘焙处理。利用该烘焙处理使有机材料膜变化为构成EL层的有机功能膜。因而，在利用喷墨印刷法的EL层的形成过程中，要重复进行印刷、干燥、烘焙各工序。在用于干燥处理的减压干燥装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干燥装置，其中，该干燥装置包括：处理容器，其能够抽成真空并具有底壁、侧壁以及顶壁，在该处理容器内，在减压条件下除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥；基板支承部，其用于在所述处理容器内支承所述基板；排气装置，其用于对所述处理容器内进行减压排气；以及控制部，其用于对所述基板支承部支承所述基板的高度位置可变地进行调节，在对所述处理容器的内部进行减压排气的过程中,所述控制部进行控制，以便至少在所述处理容器内的压力下降到第1压力之前的期间利用所述基板支承部将所述基板保持在第1高度位置，并至少在所述处理容器内的压力为比所述第1压力低的第2压力以下时将所述基板保持在从所述第1高度...

【技术特征摘要】
2015.09.29 JP 2015-1916511.一种干燥装置，其中，该干燥装置包括：处理容器，其能够抽成真空并具有底壁、侧壁以及顶壁，在该处理容器内，在减压条件下除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥；基板支承部，其用于在所述处理容器内支承所述基板；排气装置，其用于对所述处理容器内进行减压排气；以及控制部，其用于对所述基板支承部支承所述基板的高度位置可变地进行调节，在对所述处理容器的内部进行减压排气的过程中,所述控制部进行控制，以便至少在所述处理容器内的压力下降到第1压力之前的期间利用所述基板支承部将所述基板保持在第1高度位置，并至少在所述处理容器内的压力为比所述第1压力低的第2压力以下时将所述基板保持在从所述第1高度位置下降后的第2高度位置。2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，所述第1压力为500Pa，所述第2压力为3Pa。3.根据权利要求1或2所述的干燥装置，其中，在所述侧壁上设有用于自外部的输送装置搬入所述基板的开口，所述第1高度位置是所述基板的上表面被保持在比所述开口的上端靠上方的位置，所述第2高度位置是所述基板的上表面与所述顶壁的下表面分开150mm以上的位置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的干燥装...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛村明典，林辉幸，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP