【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种使喷出涂布液的涂布单元与基板相对移动而在基板上形成涂布膜的涂布装置。
技术介绍
1、在液晶显示器、有机el显示器等平板显示器中，使用在由玻璃构成的基板上涂布有抗蚀剂液等涂布液的基板(称为涂布基板)。该涂布基板利用均匀地涂布涂布液的涂布装置形成。如图9所示，该涂布装置具有载置基板w的工作台100和喷出涂布液的涂布单元101，一边从涂布单元101的涂布器102喷出涂布液，一边使工作台100上的基板w和涂布单元101相对地沿一个方向移动，由此形成形成有厚度均匀的涂布膜的基板w。
2、在该工作台100设置有支承基板w的多个升降销103，该多个升降销103构成为通过与基板w的背面抵接来支承基板w。即，构成为以规定的间隔配置该多个升降销103，以使基板w能够维持水平姿势，升降销103分别相对于载置基板w的载置面进行升降动作。具体而言，构成为升降销103与工作台100内作为对升降销103进行升降驱动的驱动装置的气缸连接，通过对气缸进行驱动控制，所有的升降销103同时上升、下降。即，通过使气缸工作，升降销103能够在基板w维持保持姿势(沿水平方向延伸的姿势)的状态下支承基板w，并且使基板w上升、下降。
3、在实际的基板w的搬入动作中，当通过机械手105将基板w搬入到载置面上时，升降销103从载置面突出，与基板w的背面抵接，由此以使基板w维持保持姿势的状态支承基板w。然后，升降销103下降并收纳于工作台100内，由此将基板w载置在载置面上，基板w的搬入动作完成。另外，当在基板w上形成了涂布膜时，升降销10
4、[现有技术文献]
5、[专利文献]
6、[专利文献1]日本特开2010-087343号公报
技术实现思路
1、[专利技术所要解决的课题]
2、以往，由涂布装置处理的基板w为一个品种，通过根据用途进行多倒角来应对各种用途，但近年来，根据用途而出现宽度尺寸不同的多品种的基板w，需要在它们上形成涂布膜。然而，在上述涂布装置中，存在难以应对宽度尺寸不同的多品种的基板w的问题。即，在上述涂布装置中，由于升降销103是对应于一个品种的基板w设置的，因此，设置升降销103的位置无法对应多品种的基板w，当支承不同种类的基板w时，存在无法维持基板w的保持姿势的问题。另外，在对应于各个种类而增设了升降销103的情况下，需要新设置仅使每个特定种类的升降销103同时进行升降动作的气缸。因此，除了在工作台100内需要设置新的气缸的空间之外，还存在工作台100内的结构复杂化的问题。
3、本专利技术是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供一种能够以容易的结构应对多品种的基板的涂布装置。
4、[用于解决课题的手段]
5、为了解决所述问题，本专利技术的涂布装置包括：工作台，其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板；以及涂布单元，其通过一边相对于载置在所述工作台的表面的所述基板相对地移动一边喷出涂布液，而在所述基板上形成涂布膜，其特征在于，所述涂布装置具有升降部件，在向所述工作台进行基板的搬入、搬出时，所述升降部件将基板保持为距所述工作台规定高度，所述升降部件的在保持基板时与基板的背面抵接的抵接部具有沿基板的宽度方向延伸的形状，以便能够维持宽度尺寸不同的基板的保持姿势。
6、根据上述涂布装置，支承基板的升降部件具有与基板的背面抵接的抵接部沿基板的宽度方向延伸的形状，因此即使是宽度尺寸不同的多品种的基板，也能够支承基板。即，由于升降部件的抵接部具有沿基板的宽度方向延伸的形状，因此即使在基板的宽度尺寸不同的情况下，也一定能够抵接于基板的背面并支承基板，因此不管是任何宽度尺寸的基板，都能够在维持沿水平方向延伸的保持姿势的状态下支承基板。而且，也不需要针对宽度尺寸不同的每个基板设置使该升降部件进行升降动作的驱动装置(气缸等)，因此能够避免工作台内的构造复杂化。因而，与以往的升降销相比，能够以容易的结构支承宽度尺寸不同的基板，即使是宽度尺寸不同的基板，也能够直接形成涂布膜。
7、另外，也可以构成为，所述升降部件设定为能够载置于所述工作台的宽度尺寸不同的基板中的具有最大宽度的基板的宽度尺寸以上的尺寸。
8、根据该结构，只要是能够载置于工作台的基板，则任何基板都能够由升降部件支承。
9、另外，也可以构成为，在所述工作台设置有引导销，在使所述升降部件下降而将基板载置到所述工作台上时，所述引导销通过与基板的背面边缘端部抵接而对基板进行定心，所述引导销设置为收纳在所述工作台内。
10、根据该结构，仅通过利用升降部件使基板下降，就能够利用引导销对基板进行定心，由于引导销设置成收纳于工作台内，因此能够避免另外设置用于设置引导销的空间。
11、另外，也可以构成为，所述引导销是针对基板的每个宽度尺寸而设置的，在进行定心时，仅与基板的宽度尺寸对应的所述引导销突出于工作台上，由此进行定心。
12、根据该结构，宽度尺寸不同的基板分别能够通过专用的引导销进行定心。
13、另外，也可以构成为，所述引导销具有前端部分为圆锥形状的尖锐部，所述尖锐部形成为能够绕轴旋转。
14、根据该结构，仅通过升降部件使基板下降就能够对基板进行定心，与使引导销在工作台上移动而进行定心的情况相比，不需要设置使引导销移动的驱动装置等，能够实现省空间化。
15、[专利技术效果]
16、根据本专利技术的涂布装置，能够以容易的结构应对多品种的基板。
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1.一种涂布装置，所述涂布装置具备：工作台，其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板；以及涂布单元，其通过一边相对于载置在所述工作台的表面的所述基板相对地移动一边喷出涂布液，而在所述基板上形成涂布膜，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述升降部件设定为能够载置于所述工作台的宽度尺寸不同的基板中的具有最大宽度的基板的宽度尺寸以上的尺寸。
3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，在所述工作台设置有引导销，在使所述升降部件下降而将基板载置到所述工作台上时，所述引导销通过与基板的背面边缘端部抵接而对基板进行定心，所述引导销设置为收纳在所述工作台内。
4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述引导销是针对基板的每个宽度尺寸而设置的，在进行定心时，仅与基板的宽度尺寸对应的所述引导销突出于工作台上，由此进行定心。
5.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述引导销具有前端部分为圆锥形状的尖锐部，所述尖锐部形成为能够绕轴旋转。
【技术特征摘要】
1.一种涂布装置，所述涂布装置具备：工作台，其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板；以及涂布单元，其通过一边相对于载置在所述工作台的表面的所述基板相对地移动一边喷出涂布液，而在所述基板上形成涂布膜，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述升降部件设定为能够载置于所述工作台的宽度尺寸不同的基板中的具有最大宽度的基板的宽度尺寸以上的尺寸。
3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，在所述工作台设置有引导销...
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