涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种涂布装置，其能够抑制膜厚精度的降低，并且能够在刚由涂布器涂布后立即使涂布膜干燥。该涂布装置包括：载置基板的载置台；以及涂布器，其一边相对于被载置于载置台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，在涂布器中在与涂布进行侧相反的一侧设置有使从喷嘴喷出而形成的涂布膜干燥的干燥器，所述干燥器包括：送风部，其朝向涂布膜供给空气；以及抽吸部，其抽吸从所述送风部供给的空气。吸从所述送风部供给的空气。吸从所述送风部供给的空气。

【技术实现步骤摘要】
涂布装置


[0001]本专利技术涉及一种在基板上涂布涂布液的涂布装置，尤其涉及一种在喷出涂布液后立即使涂布液干燥的涂布装置。

技术介绍

[0002]近年来，在各种用途中使用在基板W上形成有均匀的薄膜的基板(称为涂布基板)。例如，在基板上形成相同膜厚的涂布膜的情况下，由具有缝状的喷嘴的涂布装置来形成。如图6所示，该涂布装置具有载置基板W的载置台100和具有喷出涂布液的缝状的喷嘴的涂布器101，一边从喷嘴的缝喷出涂布液，一边使基板W和涂布器101相对地移动，由此在基板W上形成规定厚度的涂布膜C。
[0003]然后，所形成的涂布基板W在从涂布装置搬出后，利用与涂布装置不同的干燥装置102进行干燥(例如，参照下述专利文献1)。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本特开2010
‑
034309号公报

技术实现思路

[0007][专利技术所要解决的技术问题][0008]但是，在上述涂布装置中，存在无法充分发挥所形成的涂布膜C的功能性的问题。即，近年来，作为材料的特性，有通过在作为涂布膜C涂布后立即使其干燥而稳定地发挥功能性的材料，例如，钙钛矿型太阳能电池的材料使用这样的材料。在上述涂布装置中，在形成涂布膜C后，在搬送至其他干燥装置102的期间需要时间，因此该时间影响涂布膜C的结晶状态，存在难以稳定地发挥材料的功能性的问题。
[0009]假设也考虑对刚刚涂布后的涂布膜C立即吹送空气而使其干燥，但存在如下问题：空气的流动对从缝喷出的涂布液的流动、即连结缝与基板W的涂布液(液珠103)产生影响，所形成的涂布膜C的膜厚精度有可能变差。
[0010]本专利技术是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供一种涂布装置，能够抑制膜厚精度的降低，并且能够在利用涂布器涂布涂布膜之后立即使涂布膜干燥。
[0011][用于解决技术问题的手段][0012]为了解决所述技术问题，本专利技术的涂布装置包括：载置台，其载置基板；以及涂布器，其一边相对于被载置于所述载置台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述涂布器中，在与涂布进行侧相反的一侧设置有使从喷嘴喷出而形成的涂布膜干燥的干燥器，所述干燥器包括：送风部，其朝向涂布膜供给空气；以及抽吸部，其抽吸从所述送风部供给的空气。
[0013]根据上述涂布装置，由于在与涂布进行侧相反的一侧设置有干燥器，因此能够在刚从喷嘴喷出而形成之后立即使涂布膜干燥。即，通过从干燥器的送风部供给空气，促进所
形成的涂布膜的干燥。而且，所供给的空气被抽吸部抽吸，由此能够抑制所供给的空气全部直接冲击所形成的涂布膜而使涂布膜因风压而变形的情况。即，通过在抽吸部产生抽吸力，所供给的空气在吹到涂布膜之前被抽吸而减少了直接冲击涂布膜的空气量，并且滞留在送风部与涂布膜之间的空气减少，由此能够抑制所供给的空气对喷出的涂布液的流动、即对连结缝与基板的涂布液(液珠)的影响、以及对所形成的涂布膜的形状造成影响。由此，能够抑制所形成的涂布膜的膜厚精度的降低，并且能够在刚由涂布器涂布后立即使涂布膜干燥。
[0014]另外，也可以构成为，所述送风部和所述抽吸部朝向从所述喷嘴喷出的涂布液着落于基板的着液点形成有各自的开口部。
[0015]根据该结构，能够在涂布液刚刚着落于基板之后立即使其干燥。
[0016]另外，也可以构成为，所述送风部的开口部相对于所述抽吸部的开口部配置在涂布进行方向侧。
[0017]根据该结构，由于送风部的开口部被配置在与抽吸部的开口部相比更靠近喷嘴的一侧，因此从送风部送出的空气由于抽吸部的抽吸力的影响而向远离喷嘴的方向流动。因此，能够抑制从送风部送出的空气对形成于喷嘴与基板之间的液珠产生影响。
[0018]另外，也可以构成为，所述送风部的开口部相对于所述抽吸部的开口部配置在与涂布进行方向侧相反的一侧。
[0019]根据该结构，由于送风部的开口部配置于比抽吸部的开口部更远离喷嘴的一侧，因此从送风部送出的空气因抽吸部的抽吸力的影响而暂时向喷嘴侧流动，但由于在该状态下被抽吸部抽吸，因此与从送风部直接冲击液珠的情况相比，能够抑制从送风部送出的空气对液珠造成的影响。
[0020]另外，也可以构成为，从所述送风部供给的空气被加热器加热。
[0021]根据该结构，通过供给加热后的空气，能够促进涂布膜的干燥。
[0022][专利技术效果][0023]根据本专利技术的涂布装置，能够抑制膜厚精度的降低，并且能够在刚由涂布器涂布后立即使涂布膜干燥。
附图说明
[0024]图1为表示本专利技术实施方式的涂布装置的立体图。
[0025]图2为表示涂布单元的脚部附近的概略图。
[0026]图3是设置有干燥器的涂布器的剖视图。
[0027]图4是表示从上述涂布器喷出涂布液的状态的图。
[0028]图5是表示从其他实施方式的涂布器喷出涂布液的状态的图。
[0029]图6是表示以往的涂布装置和干燥装置的图。
[0030]标记说明
[0031]21 载置台
[0032]30 涂布单元
[0033]34 涂布器
[0034]34a 缝喷嘴
[0035]40 干燥器
[0036]41 送风部
[0037]41C 开口部
[0038]42 抽吸部
[0039]42C 开口部
[0040]B 液珠
[0041]P 着液点
[0042]W 基板
具体实施方式
[0043]使用附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0044]图1是概略地表示本专利技术的一实施方式中的涂布装置的立体图，图2是表示涂布单元的脚部附近的图，图3是表示设置有干燥器的涂布器的图。
[0045]如图1～图3所示，涂布装置是在基板W上形成药液或抗蚀剂液等液状物(以下，称为涂布液)的涂布膜的装置，具备基座2、用于载置基板W的载置台21、以及构成为能够相对于该载置台21在特定方向上移动的涂布单元30。
[0046]另外，在以下的说明中，将涂布单元30移动的方向作为X轴方向、与X轴方向在水平面上垂直的方向作为Y轴方向、与X轴方向和Y轴方向都垂直的方向作为Z轴方向来进行说明。
[0047]在所述基座2的中央部分配置有载置台21。该载置台21用于载置被搬入的基板W。在该载置台21设置有载置基板W的基板载置面21a和未图示的基板保持单元，通过该基板保持单元保持基板W。具体而言，形成有形成于载置台21的基板载置面21a的多个抽吸孔，通过使该抽吸孔产生抽吸力，能够使基板W被吸附并保持于基板载置面21a。
[0048]另外，在载置台21设置有使基板W进行升降动作的基板升降机构。具体来说，在载置台21的外表面形成有多个销孔，在所述销孔内埋设有能够在Z轴方向上进行升降动作的升降销(图中未示出)。即，在使升降销从载置台21的表面突出的状态下搬入基板W时，升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂布装置，其包括：载置台，其载置基板；以及涂布器，其一边相对于被载置于所述载置台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述涂布器中，在与涂布进行侧相反的一侧设置有使从喷嘴喷出而形成的涂布膜干燥的干燥器，所述干燥器包括：送风部，其朝向涂布膜供给空气；以及抽吸部，其抽吸从所述送风部供给的空气。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述送风部和所述抽吸部朝向...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤俊文，宫本芳范，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：