本发明专利技术公开了一种PECVD转运装置及转运方法，包括底座和设置在底座上的一号架，还包括并列设置在一号架上的一号输送线和二号输送线、设置在一号架上与一号输送线对应的一号变截距机构以及与二号输送线对应的二号变截距机构、设置在底座上与一号输送线对应的一号载具滑台机构以及与二号输送线对应的二号载具滑台机构，所述底座上还设置有二号架，所述一号载具滑台和二号载具滑台均位于二号架下方，所述二号架上设置有机械臂，所述一号输送线和二号输送线关于机械臂对称，所述机械臂用于将硅片在一号变截距机构和一号载具滑台机构之间切换以及在二号变截距机构和二号载具滑台机构之间切换。优点：占地更小、效率更高。效率更高。效率更高。
【技术实现步骤摘要】
一种PECVD转运装置及转运方法
[0001]本专利技术涉及太阳能电池
，具体为一种PECVD转运装置及转运方法。
技术介绍
[0002]太阳能电池硅片在制造过程中需要进行一系列加工工序，包括清洗、镀膜等，在各个工序中，需要对硅片在石墨舟和输送线之间转移。现有的转移装置多采用双输送线设置，其中每条输送线对应一条石墨舟移动机构，在这种设置中，机械臂是设置在两条石墨舟移动机构之间，机械臂的路径受限，且整个转运装置占地较大，使得转运效率低以及占地大。
[0003]鉴于此，有必要提供一种PECVD转运装置及转运方法。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供的一种PECVD转运装置及转运方法，有效的解决了现有转运装置占地大以及转运效率低的问题。
[0005]本专利技术所采用的技术方案是：一种PECVD转运装置，包括底座和设置在底座上的一号架，还包括并列设置在一号架上的一号输送线和二号输送线、设置在一号架上与一号输送线对应的一号变截距机构以及与二号输送线对应的二号变截距机构、设置在底座上与一号输送线对应的一号载具滑台机构以及与二号输送线对应的二号载具滑台机构，所述底座上还设置有二号架，所述一号载具滑台和二号载具滑台均位于二号架下方，所述二号架上设置有机械臂，所述一号输送线和二号输送线关于机械臂对称，所述机械臂用于将硅片在一号变截距机构和一号载具滑台机构之间切换以及在二号变截距机构和二号载具滑台机构之间切换。
[0006]进一步的是：所述一号变截距机构和二号变截距机构相同，所述一号输送线和二号输送线结构相同，所述一号输送线包括并列设置的一号线A和一号线B，所述一号变截距机构包括对称设置的变截距组件A和变截距组件B,所述变截距组件A包括沿Z方向设置在一号架上的一号直线模组、设置在一号直线模组输出端的一号板、设置在一号板上的一号直线导轨、滑动设置在一号导轨两端且相互对称的夹板、设置在夹板相对一侧的托举柱、固定设置在一号板上用于驱动两个夹板相对运动或相背运动的驱动件。
[0007]进一步的是：所述一号载具滑台机构包括沿X方向设置在底座上的二号直线导轨、滑动设置在二号直线导轨上的滑板、固定设置在底座上用于驱动滑板沿二号直线导轨滑动的二号丝杆、沿Y方向固定设置在滑板上的三号直线导轨、滑动设置在三号直线导轨上的载板、设置在载板上的浮动组件、设置在浮动组件上的石墨舟、设置在滑板上用于对浮动组件上进行夹紧的前后夹紧组件和左右夹紧组件。
[0008]进一步的是：所述前后夹紧组件包括位于滑板前端的前推移件以及位于滑板后端的后推移件，所述后推移件包括设置在滑板上的一号立座、沿Z方向设置在立座上的四号直线导轨、滑动设置在四号直线导轨上的升降板、固定设置在一号立座上用于驱动升降板沿四号直线导轨升降的一号气缸、沿X方向设置在升降板上的二号气缸、固定设置在二号气缸
输出端的一号连接块以及沿Z向设置在一号连接块上的若干一号滚轴，所述前推移件包括设置在滑板上的二号立座、固定设置在二号立座上的三号气缸、设置在三号气缸输出端的二号连接块以及设置在二号连接块上的若干二号滚轴。
[0009]进一步的是：所述左右夹紧组件包括位于滑板一侧的定位件以及位于滑板另一侧的夹推件，所述夹推件包括设置在滑板上的五号立座、沿Y方向设置在五号立座上的五号直线导轨、滑动设置在五号直线导轨上的推移架以及固定设置在五号立座上用于驱动推移架沿五号直线导轨移动的五号气缸。
[0010]一种PECVD转运方法，包括PECVD转运装置，一号载具滑台机构将硅片输送至与机械臂对接的位置，二号载具滑台机构将硅片输送至与机械臂对接的位置，随后机械臂将一号载具滑台机构中的硅片转移至一号变截距机构上，将二号载具滑台机构中的硅片转移至二号变截距机构上，随后一号输送线接收一号变截距机构中的硅片，二号输送线接收二号变截距机构中的硅片；或者，一号载具滑台机构移动至便于接收机械臂中硅片的位置，二号载具滑台机构移动至便于接收机械臂中的硅片的位置，同时，一号变截距机构接收一号输送线中的硅片，二号变截距机构接收二号输送线中的硅片，随后机械臂将一号变截距机构中的硅片转移至一号载具滑台机构，机械臂将二号变截距机构中的硅片转移至二号载具滑台机构。
[0011]专利技术的有益效果：将机械臂设置在二号架上，缩短了一号载具滑台和二号载具滑台的间距，使得占地更小，同时提高了机械臂的高度，缩短了机械臂转移硅片的路径，能够有效的提高工作效率。
附图说明
[0012]图1为本申请的实施例所提供的PECVD转运装置的整体示意图。
[0013]图2为本申请的实施例所提供的PECVD转运装置的一号变截距机构的示意图。
[0014]图3为本申请的实施例所提供的PECVD转运装置的一号载具滑台机构的示意图。
[0015]图4为本申请的实施例所提供的PECVD转运装置的后推移件的示意图。
[0016]图5为本申请的实施例所提供的PECVD转运装置的夹推件的示意图。
[0017]图6为本申请的实施例所提供的PECVD转运装置的前推移件的示意图。
[0018]图中标记为：1、底座；2、一号架；3、一号输送线；4、二号输送线；5、一号变截距机构；6、二号变截距机构；7、一号载具滑台机构；8、二号载具滑台机构；9、二号架；10、机械臂；31、一号线A；32、一号线B；51、变截距组件A；52、变截距组件B；511、一号直线模组；512、一号板；513、一号直线导轨；514、夹板；515、托举柱；516、驱动件；72、滑板；73、二号丝杆；74、三号直线导轨；75、载板；76、浮动组件；77、石墨舟；781、前推移件；782、后推移件；7821、一号立座；7822、四号直线导轨；7823、升降板；7824、一号气缸；7825、二号气缸；7826、一号连接块；7827、一号滚轴；7811、二号立座；7812、三号气缸；7813、二号连接块；7814、二号滚轴；791、定位件；792、夹推件；7921、五号立座；7922、五号直线导轨；7923、推移架；7924、五号气缸；001、硅片。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术
的具体实施方式做详细的说明。
[0020]如图1所示，本申请的实施例所提供的一种PECVD转运装置，包括底座1和设置在底座1上的一号架2，还包括并列设置在一号架2上的一号输送线3和二号输送线4、设置在一号架2上与一号输送线3对应的一号变截距机构5以及与二号输送线4对应的二号变截距机构6、设置在底座1上与一号输送线3对应的一号载具滑台机构7以及与二号输送线4对应的二号载具滑台机构8，所述底座1上还设置有二号架9，所述一号载具滑台和二号载具滑台均位于二号架9下方，所述二号架9上设置有机械臂10，所述一号输送线3和二号输送线4关于机械臂10对称，所述机械臂10用于将硅片001在一号变截距机构5和一号载具滑台机构7之间切换以及在二号变截距机构6和二号载具滑台机构本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种PECVD转运装置，包括底座(1)和设置在底座(1)上的一号架(2)，其特征在于：还包括并列设置在一号架(2)上的一号输送线(3)和二号输送线(4)、设置在一号架(2)上与一号输送线(3)对应的一号变截距机构(5)以及与二号输送线(4)对应的二号变截距机构(6)、设置在底座(1)上与一号输送线(3)对应的一号载具滑台机构(7)以及与二号输送线(4)对应的二号载具滑台机构(8)，所述底座(1)上还设置有二号架(9)，所述一号载具滑台和二号载具滑台均位于二号架(9)下方，所述二号架(9)上设置有机械臂(10)，所述一号输送线(3)和二号输送线(4)关于机械臂(10)对称，所述机械臂(10)用于将硅片(001)在一号变截距机构(5)和一号载具滑台机构(7)之间切换以及在二号变截距机构(6)和二号载具滑台机构(8)之间切换。2.根据权利要求1所述的PECVD转运装置，其特征在于：所述一号变截距机构(5)和二号变截距机构(6)相同，所述一号输送线(3)和二号输送线(4)结构相同，所述一号输送线(3)包括并列设置的一号线A(31)和一号线B(32)，所述一号变截距机构(5)包括对称设置的变截距组件A(51)和变截距组件B(52),所述变截距组件A(51)包括沿Z方向设置在一号架(2)上的一号直线模组(511)、设置在一号直线模组(511)输出端的一号板(512)、设置在一号板(512)上的一号直线导轨(513)、滑动设置在一号导轨两端且相互对称的夹板(514)、设置在夹板(514)相对一侧的托举柱(515)、固定设置在一号板(512)上用于驱动两个夹板(514)相对运动或相背运动的驱动件(516)。3.根据权利要求1所述的PECVD转运装置，其特征在于：所述一号载具滑台机构(7)包括沿X方向设置在底座(1)上的二号直线导轨、滑动设置在二号直线导轨上的滑板(72)、固定设置在底座(1)上用于驱动滑板(72)沿二号直线导轨滑动的二号丝杆(73)、沿Y方向固定设置在滑板(72)上的三号直线导轨(74)、滑动设置在三号直线导轨(74)上的载板(75)、设置在载板(75)上的浮动组件(76)、设置在浮动组件(76)上的石墨舟(77)、设置在滑板(72)上用于对浮动组件(76)上进行夹紧的前后夹紧组件和左右夹紧组件。4.根据权利要求3所述的PECVD转运装置，其特征在于：所述前后夹紧组件包括位于滑板(72)前端的前推移件(781)以及位于滑板(72)后端的后推移件(782)，所述后推移件(782)包括设置在滑板(...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈威，
申请(专利权)人：苏州诚拓智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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