侧向换电的物料搬运系统技术方案

本申请的实施例公开了一种侧向换电的物料搬运系统。其中，第一电池通过第一导向部滑动配合于物料搬运天车。第二电池通过第二导向部滑动配合于第一承载件。第二导向部的横截面与第一导向部的横截面相同。第一驱动件用于驱动第一电池脱离物料搬运天车，以及驱动第二电池由第一承载件移动至物料搬运天车，以使得第二电池与物料搬运天车电性连接。本申请实施例缩短了物料搬运天车补充电量的时间，提高了物料搬运系统的工作效率。料搬运系统的工作效率。料搬运系统的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
侧向换电的物料搬运系统


[0001]本申请涉及物料搬运系统
，特别涉及一种侧向换电的物料搬运系统。

技术介绍

[0002]半导体组件的制造涉及到使用各种高科技生产和计量工具，依照特定顺序并通常在特定时间段内执行一系列工艺步骤。在晶圆制造厂(或称“晶圆厂”)中，晶圆物流系统的主要功能是在正确的时间将晶圆传送到每个工具上，并在整个制造过程中追踪晶圆的位置和状态。
[0003]AMHS（Automated Material Handling Systems，自动化物料搬运系统）被应用于晶圆厂中，因而可比通过人工手动方式更加有效、也能更一致和更安全地执行自动化功能。AMHS包括悬挂于天花板上的多条轨道以及在轨道上行驶的OHT（Overhead Hoist Transport，物料搬运天车）。OHT往返于各个机台之间（tool to tool输送模式），或往返于机台与暂存区（Stocker）之间。每一台机台安装有堆叠部（load port），OHT能抓起堆叠部上的硅片盒，并通过轨道传送至另一台机台的堆叠部或暂存区。
[0004]OHT供电技术包括IPT（Inductive Power Transfer，非接触供电）以及电池供电。电池供电相比于IPT，建设和维护成本更低，更适用于小型加工企业。采用电池供电的OHT，电池不可分离。在电量低于预定值后，OHT移动到充电站充电。在充电期间，OHT停止运行。通常，OHT充电时间较长，因此，OHT充电会较大地影响OHT工作效率。
[0005]有鉴于此，实有必要开发一种物料搬运系统，用于解决OHT充电会较大地影响OHT工作效率的问题。

技术实现思路

[0006]本申请的实施例提供一种侧向换电的物料搬运系统，缩短物料搬运天车补充电量的时间，提高物料搬运系统的工作效率。
[0007]为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：一方面，提供了一种侧向换电的物料搬运系统，物料搬运系统包括轨道、物料搬运天车、第一电池、第一承载件、第二电池以及第一驱动件。
[0008]轨道用于附接于建筑物的天花板下方，并沿预定路径延伸；物料搬运天车设置于轨道，并能够沿轨道移动，用于搬运物料。物料搬运天车具有分别在水平面内的第一方向延伸的第一导向部以及第一导电部，第一导电部用于输入电流。
[0009]第一电池通过第一导向部滑动配合于物料搬运天车，具有输出电流的第二导电部，第二导电部用于在第一电池滑动配合于物料搬运天车状态下，与第一导电部抵接。
[0010]第一承载件对应预定路径上的预定位置设置，并具有在第一方向延伸的第二导向部，第二导向部的横截面与第一导向部的横截面相同，在物料搬运天车移动到预定位置时，第一导向部的一端与第二导向部对齐。
[0011]第二电池通过第二导向部滑动配合于第一承载件，具有输出电流的第三导电部，第三导电部用于在第二电池滑动配合于物料搬运天车状态下，与第一导电部抵接。
[0012]第一驱动件用于在物料搬运天车位于预定位置状态下，驱动第一电池脱离物料搬运天车，以及驱动第二电池由第一承载件移动至物料搬运天车。
[0013]其中，第一电池和第二电池沿第一方向相抵接状态下，第二导电部和第三导电部在第一方向的间距小于第一导电部在第一方向的长度。
[0014]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括第二承载件，第二承载件对应预定位置设置，并具有第三导向部，第三导向部在第一方向延伸，第三导向部的横截面与第一导向部的横截面相同，在物料搬运天车移动到预定位置时，第二承载件和第一承载件分别位于物料搬运天车在第一方向的相对两侧，第一导向部的另一端与第三导向部对齐；其中，第二承载件用于承载从物料搬运天车上脱离的第一电池。
[0015]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，第一承载件还具有第四导电部，第四导电部沿第一方向延伸，并用于与外部电源电性连接；其中，第三导电部用于在第二电池滑动配合于第一承载件状态下，与第四导电部抵接。
[0016]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，第二导电部为第一导电弹片，第二导电部用于与第一导电部弹性抵接；第三导电部为第二导电弹片，第三导电部用于与第一导电部弹性抵接。
[0017]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括推抵件，推抵件沿第一方向滑动配合于第一承载件；其中，第一驱动件用于驱动推抵件相对第一承载件移动，以使得推抵件在移动过程中推抵第二电池，并使得第二电池移动过程中推抵第一电池。
[0018]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括锁定件，锁定件活动设置于物料搬运天车，能够在第一位置和第二位置间切换，在位于第一位置时，锁定件限制第一电池或第二电池在第一方向的位置，在位于第二位置时，锁定件不限制第一电池或第二电池在第一方向的位置。
[0019]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括弹性件以及第二驱动件，弹性件分别作用于物料搬运天车以及锁定件，并被配置为对锁定件施加一弹力，以使得锁定件处于第一位置；第二驱动件设置于物料搬运天车，用于驱动锁定件处于第二位置；其中，第一电池或第二电池还用于与第二驱动件电性连接。
[0020]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，锁定件沿第二方向滑动配合于物料搬运天车，第二方向与第一方向相交，锁定件位于第一位置时，锁定件与第一电池或第二电池在第二方向凹凸配合。
[0021]上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：物料搬运天车通过第一电池供电，在第一电池电量消耗后，物料搬运天车移动到预定位置处，换电站将电量更多的第二电池更换到物料搬运天车上。由此，缩短了物料搬运天车补充电量的时间，提高了物料搬运系统的工作效率。
[0022]另外，换电站与物料搬运天车配合，在水平面内的第一方向更换物料搬运天车的第一电池，由此，更便于布置换电站，避免换电站占用高度方向的空间。
[0023]另外，第一电池和第二电池沿第一方向相抵接状态下，第二导电部和第三导电部
在第一方向的间距小于第一导电部在第一方向的长度。第二电池推抵第一电池，使得第一电池脱离物料搬运天车，同时，使得第二电池位于物料搬运天车。第一电池脱离物料搬运天车过程中，第二导电部相对第一导电部滑移。第二电池移动到物料搬运天车过程中，第三导电部相对第一导电部滑移。在第二导电部与第一导电部分离前，第三导电部即已与第一导电部抵接。由此，使得物料搬运天车始终具有电力供应。
附图说明
[0024]下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0025]图1是本申请一实施例的物料搬运系统的正视图；图2是图1的俯视图；图3是图1所示物料搬运系统实施例中使用第二电池更换第一电池的过程示意图，其中，第二电池承载于第一承载件上；图4是图1所示物料搬运系统实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种侧向换电的物料搬运系统，其特征在于，包括：轨道，用于附接于建筑物的天花板下方，并沿预定路径延伸；物料搬运天车，设置于所述轨道，并能够沿所述轨道移动，用于搬运物料，所述物料搬运天车具有分别在水平面内的第一方向延伸的第一导向部以及第一导电部，所述第一导电部用于输入电流；第一电池，通过所述第一导向部滑动配合于所述物料搬运天车，具有输出电流的第二导电部，所述第二导电部用于在所述第一电池滑动配合于所述物料搬运天车状态下，与所述第一导电部抵接；第一承载件，对应所述预定路径上的预定位置设置，并具有在所述第一方向延伸的第二导向部，所述第二导向部的横截面与所述第一导向部的横截面相同，在所述物料搬运天车移动到所述预定位置时，所述第一导向部的一端与所述第二导向部对齐；第二电池，通过所述第二导向部滑动配合于所述第一承载件，具有输出电流的第三导电部，所述第三导电部用于在所述第二电池滑动配合于所述物料搬运天车状态下，与所述第一导电部抵接；第一驱动件，用于在所述物料搬运天车位于所述预定位置状态下，驱动所述第一电池脱离所述物料搬运天车，以及驱动所述第二电池由所述第一承载件移动至所述物料搬运天车；其中，所述第一电池和所述第二电池沿所述第一方向相抵接状态下，所述第二导电部和所述第三导电部在所述第一方向的间距小于所述第一导电部在所述第一方向的长度。2.根据权利要求1所述物料搬运系统，其特征在于，所述物料搬运系统还包括：第二承载件，所述第二承载件对应所述预定位置设置，并具有第三导向部，所述第三导向部在所述第一方向延伸，所述第三导向部的横截面与所述第一导向部的横截面相同，在所述物料搬运天车移动到所述预定位置时，所述第二承载件和所述第一承载件分别位于所述物料搬运天车在所述第一方向的相对两侧，所述第一导向部的另一端与所述第三导向部对齐；其中，所述第二承载件用于承载从所述物料搬运天车上脱离的所述第一电池。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：上海新创达半导体设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：