自动化运输系统及其控制方法技术方案

本申请的实施例公开了一种自动化运输系统及其控制方法，自动化运输系统包括天车主体、转轴、行走轮、锁定件、抓取件以及移转组件。转轴可转动地设置于天车主体；锁定件活动设置于行走轮，并能够在锁定状态和解锁状态间切换，在锁定状态时，行走轮通过锁定件连接于转轴，在解锁状态时，行走轮与转轴能够分离；抓取件用于抓取或释放行走轮，抓取件在抓取行走轮的过程中对锁定件施加作用力，使得锁定件由锁定状态切换至解锁状态，抓取件在释放行走轮的过程中撤销对锁定件的作用力，使得锁定件由解锁状态切换至锁定状态；移转组件用于带动抓取件移动。本申请的实施例简化了更换行走轮的动作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
自动化运输系统及其控制方法


[0001]本申请涉及物料搬运天车
，特别涉及一种自动化运输系统及其控制方法。

技术介绍

[0002]在早期的半导体晶圆制造厂，物料的搬送基本上是采用人工手推的方式，随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸由150mm、200mm增大到300mm，晶圆的整体重量也由原先的3kg、5kg增加到9kg，人工搬送已经无法满足生产的需要，半导体制造的工序繁多而复杂，设备昂贵，对作业环境和物料搬运要求高，对设备效率和产品良率非常敏感，而设备效率和产品良率是会影响到企业成本竞争力的直接因素。为了提供稳定、高效的物料搬送能力，自动物料搬运系统（Automatic Material Handling System，简称AMHS）得到应用。
[0003]AMHS可替代人力进行物料搬运，能大幅度减少生产线作业人力；同时，AMHS将大幅消除人工操作错误，提升环境洁净度，降低搬运过程中的振动，对提高产品良率有很大的帮助。这些特性使得AMHS在半导体制造过程中可以充分体现其价值，因此，AMHS在半导体制造工厂有着广泛的应用，同时被应用在面板、太阳能等泛半导体行业。从软件和硬件分析，AMHS 系统包括以物料搬运天车（Overhead Hoist Transport，OHT）为核心，以自动引导车（Automatic Guided Vehicle，AGV）、轨道引导车（Rail
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Guided Vehicles，RGV）、传送带为辅助的传输系统，和以存储（Stocker）、UTS（Under Track Storage）为核心、以 NTB（Near tool Buffer）为辅助的存储设备。
[0004]物料搬运天车在轨道引导下沿着预定轨道行走，物料移载台位于轨道下方，并对应于预定轨道设置。物料搬运天车在移动到对应于物料移载台的位置处，使工件容器升降移动，与物料移载台之间交接工件容器。物料搬运天车具有行走轮。物料搬运天车通过行走轮承载于轨道上，并沿轨道延伸路径行走。行走轮长期与轨道接触、相对运动，会磨损。因此，需要根据行走轮的磨损程度及时更换行走轮。
[0005]目前，行走轮通过螺栓紧固于转轴，并由转轴带动而转动。更换行走轮的过程如下：抓取螺栓、拧动螺栓，从而拆除螺栓；抓取旧的行走轮并带动旧的行走轮脱离转轴；抓取新的行走轮并带动新的行走轮安装于转轴；抓取螺栓、拧动螺栓，从而安装螺栓。更换行走轮的过程比较复杂。
[0006]有鉴于此，实有必要开发一种自动化运输系统，用于解决更换行走轮的动作比较复杂的问题。

技术实现思路

[0007]本申请的实施例提供一种自动化运输系统及其控制方法，简化更换行走轮的动作。
[0008]为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：一方面，提供了一种自动化运输系统，自动化运输系统包括天车主体、转轴、行走
轮、锁定件、抓取件以及移转组件。天车主体用于承载物料；转轴可转动地设置于天车主体；锁定件活动设置于行走轮，并能够在锁定状态和解锁状态间切换，在锁定状态时，行走轮通过锁定件连接于转轴，在解锁状态时，行走轮与转轴能够分离；抓取件用于抓取或释放行走轮，抓取件在抓取行走轮的过程中对锁定件施加作用力，使得锁定件由锁定状态切换至解锁状态，抓取件在释放行走轮的过程中撤销对锁定件的作用力，使得锁定件由解锁状态切换至锁定状态；移转组件用于带动抓取件移动。
[0009]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，自动化运输系统包括弹性件，弹性件的一端配接锁定件，另一端配接行走轮，用于对锁定件施加一弹力；其中，抓取件在抓取行走轮的过程中，锁定件克服弹力，由锁定状态切换至解锁状态；抓取件在释放行走轮的过程中，弹力驱动锁定件由解锁状态切换至锁定状态。
[0010]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，行走轮与转轴在转轴的轴向相互套接，且不可绕转轴的轴线相对转动；锁定件沿转轴的径向滑动配合于行走轮，并具有对应锁定状态的第一位置和对应解锁状态的第二位置，在第一位置时，锁定件与转轴凹凸配合，以限制行走轮与转轴在轴向分离，第二位置时，凹凸配合被解除。
[0011]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，转轴具有绕轴线延伸的轴向限位槽，在第一位置时，锁定件的一部分插设于轴向限位槽中，在第二位置时，锁定件退出轴向限位槽。
[0012]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，轴向限位槽环设于转轴的整周。
[0013]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，转轴具有第一容纳腔以及周向限位槽，第一容纳腔在转轴的端面敞开，周向限位槽设置于第一容纳腔的腔壁，并延伸至端面。行走轮包括连接轴、周向限位凸起以及轮体。连接轴插设于第一容纳腔内；周向限位凸起凸设于连接轴的外周壁，并容置于周向限位槽中；轮体套设于连接轴外；其中，锁定件沿转轴的径向滑动配合于连接轴。
[0014]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，行走轮具有敞开的第二容纳腔；在锁定状态时，锁定件的一部分凸出于第二容纳腔的腔壁；抓取件为膨胀轴，膨胀轴用于插设于第二容纳腔中，并通过胀紧的方式抓取行走轮，膨胀轴能够对锁定件凸出于第二容纳腔的腔壁的部分施加作用力。
[0015]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，抓取件的数量为至少两个，两个抓取件分别为第一抓取件和第二抓取件；移转组件的数量为至少两个，两个移转组件分别为第一移转组件和第二移转组件；第一移转组件用于带动第一抓取件移动，第二移转组件用于带动第二抓取件移动。
[0016]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，抓取件的数量为至少两个，两个抓取件分别为第一抓取件和第二抓取件；自动化运输系统包括第一安装座、第二安装座以及驱动件。
[0017]第二安装座活动设置于第一安装座，第一抓取件和第二抓取件分别设置于第二安装座，第二安装座能够在第一状态和第二状态间切换，以使得第一抓取件和第二抓取件先后位于同一位置；驱动件用于驱动第二安装座在第一状态和第二状态间切换；其中，移转组件用于带动第一安装座移动。
[0018]另一方面，还提供一种自动化运输系统的控制方法，包括如下步骤：控制移转组件动作，使得移转组件带动抓取件移动至第一预定位置处；控制抓取件动作，使得抓取件抓取行走轮，并在抓取行走轮的过程中对活动设置于行走轮的锁定件施加作用力，从而使得锁定件由锁定状态切换至解锁状态，进而使得行走轮与可转动地设置于天车主体的转轴能够分离，其中，在锁定状态时，行走轮通过锁定件连接于转轴；控制移转组件动作，使得移转组件带动抓取件移动至第二预定位置处。
[0019]另一方面，还提供一种自动化运输系统的控制方法，包括如下步骤：控制移转组件动作，使得移转组件带动抓取件移动至第一预定位置处；控制抓取件动作，使得抓取件释放行走轮，并在释放行走轮的过程中撤销对活动设置于行走轮的锁定件的作用力，从而使得锁定件由解锁状态切换至锁定状态，进而使得行走轮通过锁定件连接于可转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化运输系统，其特征在于，包括：天车主体，所述天车主体用于承载物料；转轴，所述转轴可转动地设置于所述天车主体；行走轮；锁定件，所述锁定件活动设置于所述行走轮，并能够在锁定状态和解锁状态间切换，在所述锁定状态时，所述行走轮通过所述锁定件连接于所述转轴，在所述解锁状态时，所述行走轮与所述转轴能够分离；抓取件，所述抓取件用于抓取或释放所述行走轮，所述抓取件在抓取所述行走轮的过程中对所述锁定件施加作用力，使得所述锁定件由所述锁定状态切换至所述解锁状态，所述抓取件在释放所述行走轮的过程中撤销对所述锁定件的所述作用力，使得所述锁定件由所述解锁状态切换至所述锁定状态；移转组件，所述移转组件用于带动所述抓取件移动。2.根据权利要求1所述自动化运输系统，其特征在于，包括：弹性件，所述弹性件的一端配接所述锁定件，另一端配接所述行走轮，用于对所述锁定件施加一弹力；其中，所述抓取件在抓取所述行走轮的过程中，所述锁定件克服所述弹力，由所述锁定状态切换至所述解锁状态；所述抓取件在释放所述行走轮的过程中，所述弹力驱动所述锁定件由所述解锁状态切换至所述锁定状态。3.根据权利要求1所述自动化运输系统，其特征在于，所述行走轮与所述转轴在所述转轴的轴向相互套接，且不可绕所述转轴的轴线相对转动；所述锁定件沿所述转轴的径向滑动配合于所述行走轮，并具有对应所述锁定状态的第一位置和对应所述解锁状态的第二位置，在所述第一位置时，所述锁定件与所述转轴凹凸配合，以限制所述行走轮与所述转轴在所述轴向分离，所述第二位置时，所述凹凸配合被解除。4.根据权利要求3所述自动化运输系统，其特征在于，所述转轴具有绕所述轴线延伸的轴向限位槽，在所述第一位置时，所述锁定件的一部分插设于所述轴向限位槽中，在所述第二位置时，所述锁定件退出所述轴向限位槽。5.根据权利要求4所述自动化运输系统，其特征在于，所述轴向限位槽环设于所述转轴的整周。6.根据权利要求3所述自动化运输系统，其特征在于，所述转轴具有第一容纳腔以及周向限位槽，所述第一容纳腔在所述转轴的端面敞开，所述周向限位槽设置于所述第一容纳腔的腔壁，并延伸至所述端面；所述行走轮包括：连接轴，所述连接轴插设于所述第一容纳腔内；周向限位凸起，所述周向限位凸起凸设于所述连接轴的外周壁，并容置于所述周向限位槽中；轮体，所述轮体套设于所述连接轴外；
其中，所述锁定件沿所述转轴的径向滑动配合于所述连接轴。7.根据权利要求1所述自动化运输系统，其特征在于，所述行走轮具有敞开的第二容纳腔；在所述锁定状态时，所述锁定件的一部分凸出于所述第二容纳腔的腔壁；所述抓取件为膨胀轴，所述膨胀轴用于插设于所述第二容纳腔中，并通过胀紧的方式抓取所述行走轮，所述膨胀轴能够对所述锁定件凸出于所述第二容纳腔的腔壁的部分施加所述作用力。8.根据权利要求1所述自动化运输系统，其特征在于，所述抓取件的数量为至少两个，两个所述抓取件分别为第一抓取件和第二抓取件；所述移转组件的数量为至少两个，两个所述移转组件分别为第一移转组件和第二移转组件；所述第一移转组件用...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：上海新创达半导体设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：