具有锁定功能的天车及其控制方法技术

本申请涉及晶圆自动化搬运技术领域，尤其涉及一种具有锁定功能的天车及其控制方法

【技术实现步骤摘要】
具有锁定功能的天车及其控制方法


[0001]本申请涉及晶圆自动化搬运
，尤其涉及一种具有锁定功能的天车及其控制方法
。

技术介绍

[0002]在晶圆料盒的自动化搬运系统中，经常采用
OHT
（高架空中运载车，简称天车）来对晶圆料盒进行搬运，其中搬运过程中的稳定性是确保晶圆安全运输的很重要的一项参数
。
[0003]一般天车的结构中包括升降驱动部，其通过皮带连接抓取部，抓取部通过夹子夹住晶圆料盒的顶部蘑菇头
。
现有技术中，天车运输晶圆料盒的过程中，夹爪以及料盒一般都是通过皮带来与升降驱动部以及料盒本体连接的，由于皮带是柔性的，因此，天车在加速与减速的过程中，皮带连接就会造成夹爪与料盒的晃动，尤其是目前天车的运输速度越来越快的情况下，晃动的幅度进一步加剧，稳定性较差；此外，现有技术中的这种连接方式使得运输过程中皮带始终承受夹爪与料盒的重力，再加上加速与减速过程中的拉力变化，导致皮带的使用寿命以及可靠性降低；另外，随着天车皮带的使用，其中可能出现被拉长的情况，从而造成夹爪以及料盒倾斜的状态
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供了一种具有锁定功能的天车及其控制方法，以解决在天车运输过程中容易造成抓取部及晶圆料盒晃动，稳定性较差的技术问题
。
[0005]第一方面，本申请提供的一种具有锁定功能的天车，包括：升降驱动部，其底部安装有至少两根可纵向伸缩的皮带，和至少两个具有贯通于顶部开口和底部开口的纵向通槽的导向结构件，及至少两个可横向伸缩的锁定件，所述皮带由所述顶部开口进入并穿过所述纵向通槽设置，所述导向结构件还具有沿横向相对两侧至少一侧开口为第一侧壁通孔的横向凹槽，所述第一侧壁通孔与所述纵向通槽相通设置，所述锁定件与所述导向结构件相邻设置，且其伸出端相对所述第一侧壁通孔设置，各所述锁定件位于同一水平面上；位于所述升降驱动部下方的抓取部，其顶部向上伸出设有至少两个刚性的皮带连接件，各所述皮带连接件的顶部连接端与各所述皮带上下一一对齐连接设置，所述皮带连接件的所述顶部连接端与底端之间设有沿横向贯穿或沿横向至少一侧内凹的锁孔；当所述皮带缩回至指定位置时，所述皮带连接件的所述顶部连接端和所述锁孔能够进入至所述纵向通槽内，所述锁孔
、
所述第一侧壁通孔及所述伸出端依次相对，所述伸出端可横向伸出穿过所述第一侧壁通孔至所述锁孔内锁定
。
[0006]进一步的，所述横向凹槽为沿横向贯通于所述第一侧壁通孔和第二侧壁通孔的横向通槽；所述锁孔为横向贯穿的锁孔，其相对两孔洞分别能够与所述第一侧壁通孔和所述第二侧壁通孔相对设置，所述锁定件的所述伸出端相对所述第一侧壁通孔或所述第二侧壁通孔设置，使所述伸出端能够横向伸出穿过所述第一侧壁通孔至所述锁孔内锁定，或能够
横向伸出穿过所述第二侧壁通孔至所述锁孔内锁定
。
[0007]进一步的，所述锁孔的第一纵向间距大于所述锁定件的所述伸出端的第二纵向间距
。
[0008]进一步的，当所述皮带缩回至指定位置，所述锁定件的所述伸出端插入至所述锁孔内时，所述锁孔的内顶面和内底面分别与所述伸出端的上顶面和下底面均具有预定间距
。
[0009]更进一步的，当所述锁定件的伸出端插入至所述锁孔内后，所述升降驱动部控制所述皮带向下伸出预定距离，所述预定距离与所述预定间距大小相同，使所述锁孔内的所述锁定件的所述伸出端的上顶面与所述锁孔的内顶面相抵接，此时，所述皮带处于放松状态
。
[0010]更进一步的，在所述锁定件的伸出端缩回解锁前，所述升降驱动部控制所述皮带向上缩回预定距离，使所述锁孔内的所述锁定件的所述伸出端的上顶面与所述锁孔的内顶面分开具有预定间距，此时，所述皮带处于拉紧状态
。
[0011]进一步的，所述皮带的上方设有用于检测所述皮带拉力的压敏传感器；当所述锁定件的所述伸出端伸入至所述锁孔内时，所述锁孔的内顶面与所述伸出端的上顶面之间的所述预定间距为0时，所述伸出端的上边缘直接与所述锁孔的边缘相抵接，此时所述皮带的拉力消失，所述压敏传感器感测到此时皮带拉力为0的警示信号，并将所述警示信号传递给控制终端
。
[0012]进一步的，所述锁定件为伸缩杆结构或电磁杆结构
。
[0013]进一步的，多个所述皮带沿所述天车的运输方向依次设置，且在所述天车的运输方向上，所述升降驱动部的相对两侧分别设有向下伸出的挡块；当所述皮带缩回至指定位置时，所述挡块朝向所述抓取部的一侧与所述抓取部的侧壁相抵接
。
[0014]进一步的，所述升降驱动部的底面设有至少一个定位凹槽，对应的，所述抓取部的顶面上设有至少一个能够插入至所述定位凹槽内的定位凸起
。
[0015]第二方面，本申请提供的一种天车的控制方法，基于前述中任一项所述的具有锁定功能的天车，包括：步骤
S1
，控制终端控制皮带带动与其相连接的抓取部向下伸出至晶圆料盒上方，并控制所述抓取部底部的夹爪抓住所述晶圆料盒；步骤
S2
，控制终端控制所述皮带缩回至指定位置，此时，锁孔和锁定件的伸出端相对，控制终端控制启动所述锁定件，使锁定件的伸出端横向伸出至所述锁孔内使二者锁定；步骤
S3
，控制终端启动所述天车沿其运输方向运动
。
[0016]进一步的，在所述步骤
S2
之后还包括步骤
S21
，所述锁定件的伸出端插入至所述锁孔内时，所述锁孔的内顶面与所述伸出端的上顶面之间的预定间距为0时，即此时所述伸出端的上边缘直接与所述锁孔的边缘相抵接，所述皮带的拉力消失，压敏传感器感测到此时皮带拉力为0的警示信号，并将所述警示信号传递给所述控制终端，所述控制终端发出报警维护信号或在先矫正信号
。
[0017]与现有技术相比，本申请提供的具有锁定功能的天车及其控制方法，天车中的抓取部顶部用于与皮带相连接的刚性的皮带连接件上设有沿横向方向贯穿或一侧内凹的锁
孔，升降驱动部的对应位置设有可沿横向伸出及缩回的锁定件，以及皮带可穿过的导向结构件，且导向结构件横向至少一侧具有开口，即为第一侧壁通孔；当抓取部的夹爪抓到晶圆料盒，升降驱动部驱动皮带缩回至指定位置后，锁定件的伸出端与锁孔相对，锁定件的伸出端横向伸出穿过第一侧壁通孔至锁孔内锁定，此时锁定件通过穿过皮带连接件上的锁孔与该刚性的皮带连接件锁定连接，二者为刚性连接，后续天车行进运输过程中，抓取部与升降驱动部为刚性连接，天车依靠刚性连接的结构提拉抓取部及其抓取的晶圆料盒，而不是依靠柔性连接的皮带提拉，并且由于晶圆料盒一般重量都比较大，依靠刚性连接更可靠，并且刚性连接更稳固，有效避免了现有技术中天车在运输过程中皮带造成的晃动，提高运输过程中的稳定性，也降低了对皮带的损耗
。
同时，导向结构件的设置，对皮带连接件的锁定位置进行定位限定，进一步提升刚性锁定连接过程的可靠性...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种具有锁定功能的天车，其特征在于，包括：升降驱动部，其底部安装有至少两根可纵向伸缩的皮带，和至少两个具有贯通于顶部开口和底部开口的纵向通槽的导向结构件，及至少两个可横向伸缩的锁定件，所述皮带由所述顶部开口进入并穿过所述纵向通槽设置，所述导向结构件还具有沿横向相对两侧至少一侧开口为第一侧壁通孔的横向凹槽，所述第一侧壁通孔与所述纵向通槽相通设置，所述锁定件与所述导向结构件相邻设置，且其伸出端相对所述第一侧壁通孔设置，各所述锁定件位于同一水平面上；位于所述升降驱动部下方的抓取部，其顶部向上伸出设有至少两个刚性的皮带连接件，各所述皮带连接件的顶部连接端与各所述皮带上下一一对齐连接设置，所述皮带连接件的所述顶部连接端与底端之间设有沿横向贯穿或沿横向至少一侧内凹的锁孔；当所述皮带缩回至指定位置时，所述皮带连接件的所述顶部连接端和所述锁孔能够进入至所述纵向通槽内，所述锁孔
、
所述第一侧壁通孔及所述伸出端依次相对，所述伸出端可横向伸出穿过所述第一侧壁通孔至所述锁孔内锁定
。2.
根据权利要求1所述的天车，其特征在于，所述横向凹槽为沿横向贯通于所述第一侧壁通孔和第二侧壁通孔的横向通槽；所述锁孔为横向贯穿的锁孔，其相对两孔洞分别能够与所述第一侧壁通孔和所述第二侧壁通孔相对设置，所述锁定件的所述伸出端相对所述第一侧壁通孔或所述第二侧壁通孔设置，使所述伸出端能够横向伸出穿过所述第一侧壁通孔至所述锁孔内锁定，或能够横向伸出穿过所述第二侧壁通孔至所述锁孔内锁定
。3.
根据权利要求1或2所述的天车，其特征在于，所述锁孔的第一纵向间距大于所述锁定件的所述伸出端的第二纵向间距
。4.
根据权利要求3所述的天车，其特征在于，当所述皮带缩回至指定位置，所述锁定件的所述伸出端插入至所述锁孔内时，所述锁孔的内顶面和内底面分别与所述伸出端的上顶面和下底面均具有预定间距
。5.
根据权利要求4所述的天车，其特征在于，当所述锁定件的伸出端插入至所述锁孔内后，所述升降驱动部控制所述皮带向下伸出预定距离，所述预定距离与所述预定间距大小相同，使所述锁孔内的所述锁定件的所述伸出端的上顶面与所述锁孔的内顶面相抵接，此时，所述皮带处于放松状态
。6.
根据权利要求5所述的天车，其特征在于，在所述锁定件的伸出端缩回解锁前，所述升降驱动部控制所述皮带向上缩回预定距离，使所述锁孔内的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，朱飞，余君山，
申请(专利权)人：上海新创达半导体设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：