本发明提供了一种天车控制方法

本发明的实施例提供了一种天车对准校正系统及其控制方法，涉及半导体领域

本申请涉及晶圆自动化搬运技术领域，尤其涉及一种具有锁定功能的天车及其控制方法

本申请的实施例公开了一种自动化运输系统及其控制方法，自动化运输系统包括天车主体、转轴、行走轮、锁定件、抓取件以及移转组件。转轴可转动地设置于天车主体；锁定件活动设置于行走轮，并能够在锁定状态和解锁状态间切换，在锁定状态时，行走轮通过锁定...

本申请的实施例公开了一种物料搬运系统，物料搬运系统包括第一轨道、第二轨道、天车主体、第一行走轮、第二行走轮、第一换轮装置以及第二换轮装置。第一轨道的承载表面具有第一凹陷，第二轨道的承载表面具有第二凹陷；第一换轮装置用于在第一行走轮位于第...

本申请的实施例公开了一种侧向换电的物料搬运系统及控制方法。物料搬运系统包括第一轨道、物料搬运天车、第一电池以及第一换电装置。物料搬运天车架设于第一轨道，并在第一轨道上行走；第一电池与物料搬运天车在水平方向插接配合，并与物料搬运天车电性连...

本申请的实施例公开了一种侧向换电的物料搬运系统。其中，第一电池通过第一导向部滑动配合于物料搬运天车。第二电池通过第二导向部滑动配合于第一承载件。第二导向部的横截面与第一导向部的横截面相同。第一驱动件用于驱动第一电池脱离物料搬运天车，以及...

本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种带翘曲校正功能的晶圆承载器，包括：承载板、密封盖板、吸附校正组件及第一中心吸附源，吸附校正组件包括两条吸附条、平行轨道，初始位置，两条吸附条位于所述承载板的中心下方；在校正状态下，两条吸附条沿平行...

本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种辅助天车补偿校正系统及控制方法，包括：天车、承载平台、至少一组传感器组件及控制器，天车用于抓取并移动料盒，料盒的底部包括若干定位槽；承载平台包括承载板，承载板上设置若干定位销，定位销用于卡入所述定...

本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种料盒承载平台，电机组件与同步带轮组件安装在安装平板上，通过电机组件与同步带轮组件带动承载板旋转，角度调节组件安装在同步带轮组件的第二轮组处，角度调节组件包括金属折板、环形轨道、第一传感器及第二传感...

本实用新型提供了一种具有升降功能的晶圆校准器，属于晶圆校准设备技术领域，包括机体，所述的机体上设置有能够在水平纵向和水平横向上发生位移并且能够发生转动的校准轴，所述的校准轴穿出所述机体，所述机体的一侧固定有一竖直设置的支撑板，所述的支撑...

本实用新型提供了一种多尺寸晶圆对中转移装置，属于半导体行业自动化设备技术领域，包括机架，所述机架的上侧设置有两根平行设置的皮带，两根所述皮带之间的间距小于晶圆的直径，所述的皮带与机架之间设置有能够驱使皮带传动的驱动机构，所述的机架上固定...

本实用新型公开了一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，包括晶圆校准器、晶圆托盘、传感器和读码器，所述晶圆校准器用于晶圆对中以及寻边，所述晶圆托盘设置在晶圆校准器上，所述晶圆托盘可在8吋工位和12吋工位之间进行滑动切换，并且可绕轴旋转，...

本实用新型提供了一种超薄晶圆对中结构，属于晶圆加工设备技术领域，包括放置杆，在放置杆上端端面上固定连接有放置板，在所述放置杆外壁上同轴固定连接有一导向板，导向板呈圆形设置，导向板上表面与放置板下表面抵接，在导向板上表面上沿着导向板周向间...

本发明公开一种轨道小车的物料夹持装置，其中夹持装置包括壳体、第一传感器、第二传感器、第三传感器、第四传感器、圆柱体、顶板、第一挡片、左夹板、右夹板、第二挡片、行程开关、圆锥体。本发明具备有效的安全保护措施，在夹持后能够从各个方位限制FO...