物料搬运系统技术方案

本申请的实施例公开了一种物料搬运系统，物料搬运系统包括第一轨道、第二轨道、天车主体、第一行走轮、第二行走轮、第一换轮装置以及第二换轮装置。第一轨道的承载表面具有第一凹陷，第二轨道的承载表面具有第二凹陷；第一换轮装置用于在第一行走轮位于第一凹陷处时更换第一行走轮；第二换轮装置用于在第二行走轮位于第二凹陷处时更换第二行走轮；其中，第一行走轮位于第一凹陷处时，第一行走轮悬空，第二行走轮位于第二凹陷以外区域并承载于第二轨道；第二行走轮位于第二凹陷处时，第二行走轮悬空，第一行走轮位于第一凹陷以外区域并承载于第一轨道。本申请实施例能够自动化更换第一行走轮以及第二行走轮，降低了劳动强度。降低了劳动强度。降低了劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
物料搬运系统


[0001]本申请涉及物料搬运天车
，特别涉及一种物料搬运系统。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，自动化物料搬送系统（Automatic Material Handling System ，AMHS）是提高半导体制造产率、成品率以及设备利用率的重要保证。一个安全且高效的自动化物料搬送系统可以大幅缩短在制品的等待时间，进而缩短晶圆产品的生产周期。
[0003]其中轨道是自动化物料搬送系统的重要组成部分，晶圆厂内设置了成百上千道的加工工艺，需要依赖自动化物料搬送系统中的多个物料搬运天车（Overhead Hoist Transport ，OHT）通过轨道将物料在不同设备之间进行安全且精准传送。当物料搬运天车接收到调度物料搬运任务命令后，对物料搬运天车从当前位置到搬运任务起点位置，以及从搬运任务起点位置到搬运任务目标位置这两段路程，系统根据路网以及关键交通路口的交通状态进行合理的路径规划，以及因其他原因导致遇到交通拥堵时及时进行路径再规划等功能，即自动化物料搬送系统的软件调度算法负责所有物料搬运小车的任务分配，运行路径规划及控制。
[0004]物料搬运天车通过行走轮承载于轨道上，并沿轨道行走。行走轮长期与轨道接触，会磨损。因此，需要根据行走轮的磨损程度及时更换行走轮。
[0005]目前，更换物料搬运天车的行走轮时，操作任意通过托架将物料搬运天车托举以使得行走轮在竖向与轨道分离，然后人工更换行走轮。人工更换行走轮劳动强度大。
[0006]有鉴于此，实有必要开发一种物料搬运系统，用于解决更换物料搬运天车的行走轮劳动强度大的问题。

技术实现思路

[0007]本申请的实施例提供一种物料搬运系统，减小更换行走轮的劳动强度。
[0008]为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：一方面，提供了一种物料搬运系统，包括第一轨道、第二轨道、天车主体、第一行走轮、第二行走轮、第一换轮装置以及第二换轮装置。第一轨道和第二轨道在水平面内平行、间隔设置，并分别用于附接于厂房天花板下方，第一轨道的承载表面具有第一凹陷，第二轨道的承载表面具有第二凹陷；第一行走轮和第二行走轮分别可转动地设置于天车主体，并分别可拆卸地连接于天车主体，第一行走轮用于在第一轨道上滚动，第二行走轮用于在第二轨道上滚动；第一换轮装置对应第一凹陷设置，用于在第一行走轮位于第一凹陷处时，更换第一行走轮；第二换轮装置对应第二凹陷设置，用于在第二行走轮位于第二凹陷处时，更换第二行走轮；其中，第一行走轮位于第一凹陷处时，第一行走轮悬空，第二行走轮位于第二凹陷以外区域并承载于第二轨道；第二行走轮位于第二凹陷处时，第二行走轮悬空，第一行走轮位于第一凹陷以外区域并承载于第一轨道。
[0009]由于第一行走轮可拆卸地连接于天车主体，且在行走至第一凹陷处悬空。当需要
更换第一行走轮时，控制第一行走轮行走至第一凹陷处，并控制第一换轮装置更换第一行走轮。由此，实现了自动化地更换第一行走轮，进而降低了劳动强度。同样地，实现了自动化地更换第二行走轮。
[0010]另外，在更换第一行走轮时，第二行走轮承载于第二轨道，有利于天车主体保持平衡，进而有利于更换第一行走轮。同样地，在更换第二行走轮时，第一行走轮承载于第一轨道，有利于天车主体保持平衡，进而有利于更换第二行走轮。
[0011]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，第一行走轮和第二行走轮同轴设置，第一凹陷和第二凹陷在第一轨道的延伸方向上错位设置。
[0012]在第一行走轮和第二行走轮不会同时悬空的前提下，第一行走轮和第二行走轮同轴设置，可以通过同一驱动轴同步驱动第一行走轮和第二行走轮转动，进而减少驱动器的数量，降低成本。
[0013]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括抵挡件、换向轮、驱动器以及控制器。抵挡件沿第一轨道延伸，在第一轨道和第二轨道间隔方向，抵挡件位于第一轨道和第二轨道之间；换向轮可转动地设置于天车主体，换向轮能够相对天车主体在第一极限位置和第二极限位置之间切换，在第一极限位置时，换向轮能够在间隔方向滚压于抵挡件的一侧表面，在第二极限位置时，换向轮能够在间隔方向滚压于抵挡件的另一侧表面；驱动器设置于天车主体；控制器与驱动器控制连接，用于控制驱动器动作，以使得驱动器驱动换向轮在第一极限位置和第二极限位置之间切换。
[0014]在更换第一行走轮时，可以控制换向轮滚压于抵挡件在间隔方向背向第一轨道一侧，换向轮在一定程度上支撑天车主体，有利于天车主体保持平衡，进而更便于更换第一行走轮。在更换第二行走轮时，可以控制换向轮滚压于抵挡件在间隔方向背向第二轨道一侧，换向轮在一定程度上支撑天车主体，有利于天车主体保持平衡，进而更便于更换第二行走轮。
[0015]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括第三轨道、第四轨道以及换向件。
[0016]第三轨道和第四轨道在水平面内平行、间隔设置，并分别用于附接于厂房天花板下方，第四轨道中断形成第一缺口，第一轨道以及第二轨道分别连接于第四轨道在第一缺口处的两端，以形成分岔路口，第一行走轮还用于在第三轨道上滚动，第二行走轮还用于在第四轨道上滚动；换向件具有第一引导面以及第二引导面，第一引导面沿第三轨道延伸，第二引导面沿第三轨道延伸后逐渐转向沿第一轨道延伸；其中，换向轮在第一极限位置时，能够滚压于第一引导面，以使得天车主体沿第三轨道以及第四轨道行走，换向轮在第二极限位置时，能够滚压于第二引导面，以使得天车主体由沿第三轨道以及第四轨道行走切换至沿第一轨道以及第二轨道行走。
[0017]导向轮除了具有在更换第一行走轮、第二行走轮时保持天车主体平衡的作用外，还具有引导天车主体选择行走路径的作用。
[0018]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括第一导向轮以及第二导向轮。第一导向轮可转动地设置于天车主体，并用于在第一轨道和第二轨道的间隔方向滚压于第一轨道朝向第二轨道的表面；第二导向轮可转动地设置于天车主体，并用于在间隔方向滚压于第二轨道朝向第一轨道的表面。
[0019]第一导向轮和第二导向轮也能够有利于天车主体保持平衡，进而有利于更换第一行走轮和第二行走轮。
[0020]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统包括第一磨损检测器以及第二磨损检测器。第一磨损检测器位于第一换轮装置的上游侧，用于检测第一行走轮的磨损程度；第二磨损检测器位于第二换轮装置的上游侧，用于检测第二行走轮的磨损程度。
[0021]除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，物料搬运系统还包括第三轨道、第四轨道。三轨道和第四轨道在水平面内平行、间隔设置，并分别用于附接于厂房天花板下方，第四轨道中断形成第一缺口，第一轨道以及第二轨道分别连接于第四轨道在第一缺口处的两端，以形成分岔路口，第一行走轮还用于在第三轨道上滚动，第二行走轮还用于在第四轨道上滚动；第一磨损检测器以及第二磨损检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料搬运系统，其特征在于，包括：第一轨道、第二轨道，所述第一轨道和所述第二轨道在水平面内平行、间隔设置，并分别用于附接于厂房天花板下方，所述第一轨道的承载表面具有第一凹陷，所述第二轨道的承载表面具有第二凹陷；天车主体；第一行走轮、第二行走轮，所述第一行走轮和所述第二行走轮分别可转动地设置于所述天车主体，并分别可拆卸地连接于所述天车主体，所述第一行走轮用于在所述第一轨道上滚动，所述第二行走轮用于在所述第二轨道上滚动；第一换轮装置，所述第一换轮装置对应所述第一凹陷设置，用于在所述第一行走轮位于所述第一凹陷处时，更换所述第一行走轮；第二换轮装置，所述第二换轮装置对应所述第二凹陷设置，用于在所述第二行走轮位于所述第二凹陷处时，更换所述第二行走轮；其中，所述第一行走轮位于所述第一凹陷处时，所述第一行走轮悬空，所述第二行走轮位于所述第二凹陷以外区域并承载于所述第二轨道；所述第二行走轮位于所述第二凹陷处时，所述第二行走轮悬空，所述第一行走轮位于所述第一凹陷以外区域并承载于所述第一轨道。2.根据权利要求1所述物料搬运系统，其特征在于，所述第一行走轮和所述第二行走轮同轴设置，所述第一凹陷和所述第二凹陷在所述第一轨道的延伸方向上错位设置。3.根据权利要求1所述物料搬运系统，其特征在于，还包括：抵挡件，所述抵挡件沿所述第一轨道延伸，在所述第一轨道和所述第二轨道间隔方向，所述抵挡件位于所述第一轨道和所述第二轨道之间；换向轮，所述换向轮可转动地设置于所述天车主体，所述换向轮能够相对所述天车主体在第一极限位置和第二极限位置之间切换，在所述第一极限位置时，所述换向轮能够在所述间隔方向滚压于所述抵挡件的一侧表面，在所述第二极限位置时，所述换向轮能够在所述间隔方向滚压于所述抵挡件的另一侧表面；驱动器，所述驱动器设置于所述天车主体；控制器，所述控制器与所述驱动器控制连接，用于控制所述驱动器动作，以使得所述驱动器驱动所述换向轮在第一极限位置和第二极限位置之间切换。4.根据权利要求3所述物料搬运系统，其特征在于，还包括：第三轨道、第四轨道，所述第三轨道和所述第四轨道在水平面内平行、间隔设置，并分别用于附接于厂房天花板下方，所述第四轨道中断形成第一缺口，所述第一轨道以及所述第二轨道分别连接于所述第四轨道在所述第一缺口处的两端，以形成分岔路口，所述第一行走轮还用于在所述第三轨道上滚动，所述第二行走轮还用于在所述第四轨道上滚动；换向件，所述换向件具有第一引导面以及第二引导面，所述第一引导面沿所述第三轨道延伸，所述第二引导面沿所述第三轨道延伸后逐渐转向沿所述第一轨道延伸；其中，所述换向轮在所述第一极限位置时，能够滚压于所述第一引导面，以使得所述天车主...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚昱，余君山，
申请(专利权)人：上海新创达半导体设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：