运送机器人制造技术

本发明专利技术涉及运送机器人。运送机器人具备：水平臂，其能绕着与由可动机构移送的支承底座垂直的第1轴回旋；和手，其能在所述水平臂的上方相对于该水平臂绕着与所述第1轴平行的第2轴转动，能在上表面保持板状工件。在所述水平臂设有旋转载台，其能绕着与所述第1轴平行或一致的第3轴旋转，并且能在该第3轴的轴方向上升降，能在上表面保持所述板状工件。所述手具有与所述板状工件的中心对应的保持中心，构成为该保持中心的转动轨迹在俯视观察下通过所述第3轴。使所述旋转载台利用为了使所述水平臂回旋而设于该水平臂的电动机的输出来旋转。臂回旋而设于该水平臂的电动机的输出来旋转。臂回旋而设于该水平臂的电动机的输出来旋转。

【技术实现步骤摘要】
运送机器人


[0001]本公开涉及运送机器人，特别涉及用于运送半导体晶片等板状工件的运送机器人。

技术介绍

[0002]过去，运送机器人例如在半导体工艺中使用。具体地，运送机器人用于从盒中将晶片取出并运送到处理室，或者，将处理结束从晶片从处理室取出运送到下一工序。一般，这种运送机器人具备在上表面保持晶片的手(hand)，构成为在将晶片载置于手的状态下，能将该晶片从运送源移送到运送目的地。
[0003]作为一例，在将晶片运送到处理室的情况下，晶片需要在运送目的地正确地定位在旋转方向(θ方向)和平面方向(X
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Y方向)的各基准位置。为此，使用进行校准操作的装置(称作“校准器”)。
[0004]现有的校准器例如如专利文献1的图3所示那样，具备能载置晶片的旋转载台。此外，该校准器具备用于检测载置于旋转载台的晶片的距基准位置的X
‑
Y方向的偏离量和θ方向的偏离量的传感器。晶片具有圆形的外周，并且具有设于该圆形外周的缺口(或定向平面等)。由此，例如，通过使晶片旋转的同时连续检测晶片的外周，能检测载置于旋转载台的晶片的中心的X
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Y方向的偏离量。此外，通过使晶片旋转的同时检测缺口，能检测载置于旋转载台的晶片的θ方向的偏离量。
[0005]θ方向的偏离，能通过考虑如上述那样检测到的偏离量使旋转载台向给定方向旋转来消除。在用手将晶片从旋转载台拿起后，依据上述那样检测到的偏离量，运送机器人将该手的位置在X
‑
Y方向上进行修正并移送到运送目的地，由此能消除X
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Y方向的偏离。
[0006]专利文献1记载的现有的校准器在以下的点上还有改善的余地。即，该校准器由于与运送机器人独立，因此，关系到包含运送机器人和校准器的运送装置的成本提升，并且，为了运送装置的设置而需要大的地板面积。此外，运送机器人和校准器间的晶片的交接会花费时间，相应地吞吐会延迟从而工艺整体的处理效率变差。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：JP特开2015
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195328号公开

技术实现思路

[0010]本公开将提供比过去更加改良的运送机器人作为一个课题。特别是，鉴于上述的事情，一个课题在于，提供能更加缩短校准操作所需的时间的运送机器人。
[0011]为了解决上述课题，根据本公开，例如能采用如下的技术手段。
[0012]由本公开的一个侧面提供的运送机器人具备：水平臂，其能绕着与通过可动机构移送的支承底座垂直的第1轴(回旋轴)回旋；和手，其能在所述水平臂的上方相对于该水平臂绕着与所述第1轴平行的第2轴(转动轴)转动，能在上表面保持板状工件，在所述水平臂
设有旋转载台，其能绕着与所述第1轴平行的(或一致的)第3轴(旋转轴)旋转，并且能在该第3轴的轴方向上升降，能在上表面保持所述板状工件，所述手构成为与所述板状工件的中心对应的保持中心的转动轨迹在俯视观察下通过所述第3轴，使所述旋转载台利用为了使所述水平臂回旋而设于该水平臂的电动机的输出来旋转。
[0013]在优选的实施方式中，通过在设于用于对该旋转载台传递旋转动力的旋转载台用轴的滑轮、设于所述电动机的输出轴的滑轮和设于所述第1轴的滑轮共通地绕挂皮带，使所述旋转载台利用所述电动机的输出来旋转。
[0014]在优选的实施方式中，在设于所述第1轴的所述滑轮与所述支承底座之间设置减速机。
[0015]在优选的实施方式中，所述减速机的减速比例如是1/160～1/50。
[0016]在优选的实施方式中，在所述水平臂的内部设置所述电动机、设于所述电动机的所述输出轴的所述滑轮、所述旋转载台用轴、设于所述旋转载台用轴的所述滑轮、设于所述第1轴的所述滑轮、和所述皮带。
[0017]专利技术的效果
[0018]在上述结构中，形成为手的保持中心的旋转轨迹在俯视观察下通过上述第3轴。因此，使手以该第2轴为中心转动，来使保持中心位于旋转载台的第3轴上。
[0019]如此地移送到旋转载台的上方的手上的板状工件，通过使旋转载台上升而被移载到该旋转载台上。通过在该状态下使旋转载台旋转并用给定的传感器连续检测板状工件的外周，能检测从手移载到旋转载台的时间点的板状工件的中心的X
‑
Y方向的偏离量。在板状工件为半导体晶片的情况下，在其中，在外周形成缺口或定向平面，通过同时检测缺口或定向平面，能检测从手移载到旋转载台的时间点的板状工件的θ方向的偏离量。θ方向的偏离能通过考量上述那样检测到偏离量使旋转载台在给定方向上旋转来消除。如此地消除了θ方向的偏离的板状工件通过使旋转载台下降而被移载到手上，板状工件的X
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Y方向的偏离通过运送机器人依据上述那样检测到的偏离量将手在X
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Y方向上修正并移送到运送目的地来消除。
[0020]如此地，根据上述结构的运送机器人，由于不设置另外的校准器就能进行校准操作，因此，能谋求运送装置整体的小型化和成本降低。此外，由于能在短时间内进行手与旋转载台间的板状工件的交换，因此，能缩短校准操作所需的时间，能使工艺整体的处理效率提升。
[0021]本公开的其他特征以及优点，从参考附图在以下进行的详细的说明变得更加明确。
附图说明
[0022]图1是本公开的一实施方式所涉及的运送机器人的整体立视图。
[0023]图2是水平臂的俯视图。
[0024]图3是水平臂的纵截面图，相当于沿着图2的III
‑
III线的截面图。
[0025]图4是沿着图3的IV
‑
IV线的截面图。
[0026]图5是表示工作状态的图，相当于沿着图2的III
‑
III线的截面图。
[0027]图6是表示工作状态的图，是表示俯视观察下的水平臂的图。
[0028]图7是表示工作状态的图，相当于沿着图2的III
‑
III线的截面图。
[0029]附图标记的说明
[0030]A1：运送机器人、W：晶片(板状工件)、W
O
：(晶片的)中心、1：可动机构(机器人)、131：支承底座、2：水平臂、21：回旋轴(第1轴)、211：减速机、212：滑轮、22：回旋用电动机、221：输出轴、222：滑轮、23：无端皮带、24：旋转载台、241：旋转轴(第3轴)、264：滑轮、27：无端皮带、3：手、31：转动轴(第2轴)
具体实施方式
[0031]以下参考附图来具体说明本公开的优选的实施方式。
[0032]图1概略地表示本公开的一实施方式所涉及的运送机器人A1的整体结构。另外，该运送机器人A1构成为用于运送作为板状工件的半导体晶片W。
[0033]运送机器人A1具备可动机构(机器人)1、水平臂2和手3。可动机构1具备：能绕着水平的第1轴11转动的第1臂111；能在第1臂111的前端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运送机器人，具备：可动机构；支承底座，其被所述可动机构移送；水平臂，其能绕着与所述支承底座垂直的第1轴回旋；电动机，其为了使所述水平臂回旋而设于该水平臂；手，其能在所述水平臂的上方相对于该水平臂绕着与所述第1轴平行的第2轴转动，能在上表面保持板状工件，所述运送机器人的特征在于，所述水平臂设有构成为能在上表面保持所述板状工件的旋转载台，所述旋转载台能绕着与所述第1轴平行的第3轴旋转，并且能在该第3轴的轴方向上升降，所述手具有与所述板状工件的中心对应的保持中心，构成为该保持中心沿着以在俯视观察下通过所述第3轴的方式延伸的转动轨迹运动，使所述旋转载台利用设于所述水平臂的所述电动机的输出来旋转。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：井浦惇，
申请(专利权)人：株式会社达谊恒，
类型：发明
国别省市：