运送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供运送装置，适于谋求通过直线移动机构使其移动的构造部的行驶性的稳定化。本发明专利技术的运送装置(A1)具备：固定底座(1)；回转底座(2)，被支承为可相对于固定底座(1)绕着垂直状的回转轴线(Os)回转；直线移动机构(3)，被支承于回转底座(2)；和第1臂(4A)，被支承于直线移动机构(3)，通过直线移动机构(3)的工作而沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程(GL)移动，直线移动机构(3)包含：第1驱动机构，用于对第1臂(4A)传递驱动力；和一个第1导轨(32A)，能移动地支承第1臂(4A)，且在所述第1方向上延伸，第1臂(4A)以悬臂状被支承于一个第1导轨(32A)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及运送装置，更详细地，涉及能直线状运送工件的运送装置。

技术介绍

1、在运送装置当中，存在具有沿着直线状的移动行程使手移动的机构(直线移动机构)的运送装置。这样的运送装置例如在半导体制造装置的制造工序或液晶显示面板的制造工序中，多用作对各处理室的晶片或玻璃基板等薄板状的工件的运入或运出用。

2、作为运送这样的薄板状的工件的运送装置，例如有下述的专利文献1公开的运送装置。该运送装置具备：固定底座；回转底座，可回转地被支承于固定底座；直线移动机构，被支承于回转底座；和一对手，分别被支承于直线移动机构。直线移动机构具有分别驱动一对手的一对驱动机构(例如传送带驱动机构)，若驱动机构进行驱动，则使手在水平方向上直线移动。由此，能沿着水平直线状的移动行程分别地运送保持于一对手的薄板状工件。

3、直线移动机构具有分别能移动地支承一对手的导轨。一对手各自被支承于2条导轨。在各手被支承于2条导轨的结构中，该手的支承状态稳定。另一方面，为了使被2条导轨支承的手沿着水平直线状的移动行程滑动行驶，需要调整2条导轨的平行度，在滑动行驶上要求高的精本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种运送装置，包含：

2.根据权利要求1所述的运送装置，其中，

3.根据权利要求2所述的运送装置，其中，

4.根据权利要求3所述的运送装置，其中，

5.根据权利要求2～4中任一项所述的运送装置，其中，

【技术特征摘要】

1.一种运送装置，包含：

2.根据权利要求1所述的运送装置，其中，

3.根据权利要求2所述的运送装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：塔本健太，
申请(专利权)人：株式会社达谊恒，
类型：发明
国别省市：