运送装置制造方法及图纸

技术编号：40227555 阅读：4 留言：0更新日期：2024-02-02 22:30

本发明专利技术提供运送装置，适于谋求通过直线移动机构使其移动的构造部的行驶性的稳定化。本发明专利技术的运送装置(A1)具备：固定底座(1)；回转底座(2)，被支承为可相对于固定底座(1)绕着垂直状的回转轴线(Os)回转；直线移动机构(3)，被支承于回转底座(2)；和第1臂(4A)，被支承于直线移动机构(3)，通过直线移动机构(3)的工作而沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程(GL)移动，直线移动机构(3)包含：第1驱动机构，用于对第1臂(4A)传递驱动力；和一个第1导轨(32A)，能移动地支承第1臂(4A)，且在所述第1方向上延伸，第1臂(4A)以悬臂状被支承于一个第1导轨(32A)。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及运送装置，更详细地，涉及能直线状运送工件的运送装置。

技术介绍

1、在运送装置当中，存在具有沿着直线状的移动行程使手移动的机构(直线移动机构)的运送装置。这样的运送装置例如在半导体制造装置的制造工序或液晶显示面板的制造工序中，多用作对各处理室的晶片或玻璃基板等薄板状的工件的运入或运出用。

2、作为运送这样的薄板状的工件的运送装置，例如有下述的专利文献1公开的运送装置。该运送装置具备：固定底座；回转底座，可回转地被支承于固定底座；直线移动机构，被支承于回转底座；和一对手，分别被支承于直线移动机构。直线移动机构具有分别驱动一对手的一对驱动机构(例如传送带驱动机构)，若驱动机构进行驱动，则使手在水平方向上直线移动。由此，能沿着水平直线状的移动行程分别地运送保持于一对手的薄板状工件。

3、直线移动机构具有分别能移动地支承一对手的导轨。一对手各自被支承于2条导轨。在各手被支承于2条导轨的结构中，该手的支承状态稳定。另一方面，为了使被2条导轨支承的手沿着水平直线状的移动行程滑动行驶，需要调整2条导轨的平行度，在滑动行驶上要求高的精度。此外，为了使一对手滑动行驶，需要4条导轨。这会招致重量以及成本的增加，尚有改善的余地。

4、在先技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：jp特开2008-272847号公报

技术实现思路

1、本专利技术根据这样的事情而想出，主要课题在于，提供适于谋求通过直线移动机构而使得移动的构造部的行驶性的稳定化的运送装置。

2、为了解决上述的课题，在本专利技术中，采用如下的技术手段。

3、由本专利技术提供的运送装置具备：固定底座；回转底座，被支承为可相对于所述固定底座绕着垂直状的回转轴线回转；直线移动机构，被支承于所述回转底座；和第1臂，被支承于所述直线移动机构，通过所述直线移动机构的工作沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程移动，所述直线移动机构包含：第1驱动机构，用于对所述第1臂传递驱动力；和一个第1导轨，能移动地支承所述第1臂，且在所述第1方向上延伸，所述第1臂悬臂状地被支承于所述一个第1导轨。

4、在优选的实施方式中，还具备：第2臂，被支承于所述直线移动机构，通过所述直线移动机构的工作而沿着在所述第1方向上延伸的所述移动行程移动，所述直线移动机构包含：第2驱动机构，用于对所述第2臂传递驱动力；和一个第2导轨，能移动地支承所述第2臂，且在所述第1方向上延伸，所述一个第1导轨和所述一个第2导轨在与铅垂方向以及所述第1方向双方正交的第2方向上隔离配置，所述第2臂悬臂状地被支承于所述一个第2导轨。

5、在优选的实施方式中，能在所述第1臂安装第1末端执行器，所述第1臂以及所述第1末端执行器的重心即第1重心位置设定成在观察所述第1方向时、在所述铅垂方向上与所述一个第1导轨重叠。

6、在优选的实施方式中，能在所述第2臂安装第2末端执行器，所述第2臂以及所述第2末端执行器的重心即第2重心位置设定成在观察所述第1方向时、在所述铅垂方向上与所述一个第2导轨重叠。

7、在优选的实施方式中，所述第1驱动机构包含：第1驱动轴，沿着水平轴线配置；多个第1滑轮，包含安装于所述第1驱动轴的第1驱动滑轮；和第1输出传送带，沿着垂直面内绕挂在所述多个第1滑轮，在沿着所述移动行程的平行线的给定的区间进行往复移动，所述第2驱动机构包含：第2驱动轴，沿着水平轴线配置；多个第2滑轮，包含安装于所述第2驱动轴的第2驱动滑轮；和第2输出传送带，沿着垂直面内绕挂在所述多个第2滑轮，在沿着所述移动行程的平行线的给定的区间进行往复移动，所述直线移动机构包含：第1连结构件，将所述第1臂以及所述第1输出传送带连结；和第2连结构件，将所述第2臂以及所述第2输出传送带连结。

8、专利技术效果

9、本专利技术所涉及的运送装置具备：固定底座；回转底座，被支承为可相对于固定底座绕着垂直状的回转轴线回转；直线移动机构，被支承于回转底座；和第1臂，被支承于直线移动机构。第1臂通过直线移动机构的工作而沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程移动。直线移动机构具备：用于对第1臂传递驱动力的第1驱动机构a；能移动地支承第1臂且在第1方向上延伸的一个第1导轨，第1臂悬臂状地被支承于一个第1导轨。根据这样的结构，第1臂由于被单一的第1导轨支承而滑动行驶，因此，与例如在2条导轨被支承的情况不同，不需要导轨的平行度的调整等。因此，能谋求通过直线移动机构使移动的构造部的行驶性的稳定化。

10、本专利技术的其他特征以及优点会通过参考附图在以下进行的详细的说明而得以明确。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种运送装置，包含：

2.根据权利要求1所述的运送装置，其中，

3.根据权利要求2所述的运送装置，其中，

4.根据权利要求3所述的运送装置，其中，

5.根据权利要求2～4中任一项所述的运送装置，其中，

【技术特征摘要】

1.一种运送装置，包含：

2.根据权利要求1所述的运送装置，其中，

3.根据权利要求2所述的运送装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：塔本健太，
申请(专利权)人：株式会社达谊恒，
类型：发明
国别省市：

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