基板移载用机械手制造技术

提供能够减少与基板接触的接点并且能够将基板以刚性高的状态进行支承的基板移载用机械手。基板移载用机械手包括纵向机械手支承部(20a)和多个横向机械手支承部(31a、32a)，多个横向机械手支承部包括多个第一横向机械手支承部(31a)和多个第二横向机械手支承部(32a)，各第一横向机械手支承部(31a)分别具有在该第一横向机械手支承部延伸的方向上排列且能够与基板接触的多个第一接点(40A)，该第一接点的最高高度位置为第一高度，各第二横向机械手支承部(32a)分别具有在该第二横向机械手支承部延伸的方向上排列且能够与基板接触的多个第二接点(40B)，该第二接点的最高高度位置为低于第一高度的第二高度。位置为低于第一高度的第二高度。位置为低于第一高度的第二高度。

【技术实现步骤摘要】
基板移载用机械手


[0001]本专利技术涉及基板移载用机械手，详细而言，涉及适合移载大型且薄型的基板的机械手。

技术介绍

[0002]近年的半导体制造装置制造的基板逐渐向大型化和薄型化发展。在专利文献1中，提出了一种用于对这样的大型化且薄型化的基板进行移载的机械手。
[0003]专利文献1所记载的机械手包括纵向机械手支承部，和从该纵向机械手支承部在横向延伸的多个横向机械手支承部，构成为能够尽量减少由该机械手支承的基板的弯曲。
[0004]但是，若使被支承的基板的弯曲减少，维持水平状态，则有必要在纵向机械手支承部和横向机械手支承部这两者上设置大量相同高度的支承销。
[0005]如此，在利用大量支承销来支承基板的情况下，静电释放(ESD)的风险高，这一点在对基板进行工艺处理的方面是不利的。另外，由于使用大量支承销将刚性较小的基板以水平状态进行支承，因此当有外力作用时基板可能产生不需要的振动，这一点也在对基板进行工艺处理的方面是不利的。
[0006]专利文献1：日本专利第4681029号公报

技术实现思路

[0007]本专利技术是基于上述的情况而研究出来的，其所要解决的问题是提供一种能够减少与基板接触的接点，并且能够将基板以刚性较高的状态进行支承的基板移载用机械手。
[0008]为了解决上述技术问题，采用了下面的技术手段。
[0009]即，由本专利技术提供的基板移载用机械手为一种用于支承并移载基板的基板移载用机械手，其特征在于：包括从在纵向上延伸的纵向机械手支承部向与该纵向机械手支承部延伸的方向交叉的方向延伸的多个横向机械手支承部，上述多个横向机械手支承部包括多个第一横向机械手支承部和多个第二横向机械手支承部，各上述第一横向机械手支承部分别具有能够与上述基板接触的一个或者多个第一接点，该第一接点的最高高度位置为第一高度，各上述第二横向机械手支承部分别具有能够与上述基板接触的一个或者多个第二接点，该第二接点的最高高度位置为低于上述第一高度的第二高度。
[0010]在优选的实施方式中，上述第一接点由向上方突出的销的顶部构成，上述第二接点由向上方突出的销的顶部构成。
[0011]在优选的实施方式中，上述第一接点由形成于上述第一横向机械手支承部的鼓出部的顶部构成，上述第二接点由形成于上述第二横向机械手支承部的鼓出部的顶部形成。
[0012]在优选的实施方式中，上述第一横向机械手支承部与上述第二横向机械手支承部彼此交替地设置在上述纵向上。
[0013]在优选的实施方式中，设置在各上述第一横向机械手支承部的多个上述第一接点的高度是固定的，设置在各上述第二横向机械手支承部的多个上述第二接点中的一部分接
点的高度低于上述第二高度。
[0014]在优选的实施方式中，所述纵向机械手支承部具有能够与所述基板接触的多个第三接点，该第三接点的最高高度位置与上述第二高度相同或者比其高。
[0015]在优选的实施方式中，包括多个所述纵向机械手支承部。
[0016]在优选的实施方式中，包括排列在左右方向上的一对纵向机械手支承部。
[0017]在优选的实施方式中，上述多个横向机械手支承部从各上述纵向机械手支承部向左右方向上的外侧延伸。
[0018]在优选的实施方式中，所述多个横向机械手支承部与从所述各纵向机械手支承部向左右方向上的内侧延伸的所述多个横向机械手支承部连结。
[0019]在优选的实施方式中，上述多个横向机械手支承部从各上述纵向机械手支承部向左右方向这两个方向延伸。
[0020]根据上述结构的基板移载用机械手，与具有多个第一横向机械手支承部和第二横向机械手支承部的基板接触的接点高度不是固定的，而第二横向机械手支承部的第二接点的最高高度位置低于第一横向机械手支承部的第一接点的高度。因此，能够将基板以有意图地使其具有弯曲部分方式用该机械手来支承，使处于支承状态下的基板的刚性提高，支承状态变得稳定，减少了不需要的振动的产生。而且，由于能够减少与基板接触的接点的数量，因此不会有静电释放(ESD)的风险高等的问题。
附图说明
[0021]图1是本专利技术的第一实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。
[0022]图2是沿图1的II
‑
II线的截面图。
[0023]图3是沿图1的III
‑
III线的截面图。
[0024]图4是表示图1所示的基板移载用机械手的使用例的立体图。
[0025]图5是本专利技术的第二实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。
[0026]图6是图5的VI
‑
VI线立体图。
[0027]图7是沿图5的VII
‑
VII线的截面图。
[0028]图8是沿图5的VIII
‑
VIII线的截面图。
[0029]图9是本专利技术的第三实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。
[0030]图10是图9的X
‑
X线向视图。
[0031]图11是沿图9的XI
‑
XI线的截面图。
[0032]图12是沿图9的XII
‑
XII线的截面图。
[0033]图13是本专利技术的第四实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。
[0034]图14是沿图13的XIV
‑
XIV线的截面图。
[0035]图15是沿图14的XV
‑
XV线的截面图。
[0036]图16是图13所示的基板移载用机械手的变形例的立体图。
[0037]图17是图13所示的基板移载用机械手的另一变形例的立体图。
[0038]图18是本专利技术的第五实施方式的基板移载用机械手的整体立体图。
[0039]图19是沿图18的XIX
‑
XIX线的截面图。
[0040]图20是沿图18的XX
‑
XX线的截面图。
[0041]图21是图18所示的基板移载用机械手的变形例的立体图。
[0042]图22是图18所示的基板移载用机械手的另一变形例的立体图。
具体实施方式
[0043]以下，参照附图，对本专利技术的优选实施方式具体进行说明。
[0044]图1至图4表示本专利技术的第一实施方式的基板移载用机械手1A。
[0045]该基板移载用机械手1A用于载置例如1800mm
×
1500mm这样的大型的玻璃基板等的基板，并将该基板相对于基板收纳盒进行放入、取出，或者相对于处理腔室进行放入、取出。该基板移载用机械手1A还被适当的移动机构支承而能够在规定方向上移动。例如，该基板移载用机械手1A作为多关节机器人RB(图4)的末端操作器，能够在XYZ方向上移动并且绕Z轴转动。
[0046]基板移载用机械手1A包括基部10、纵向机械手支承部20a和与各纵向机械手支承部20a连结的多个横向机械手支承部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于支承并移载基板的基板移载用机械手，其特征在于：包括在纵向上延伸的纵向机械手支承部，和从该纵向机械手支承部向与该纵向机械手支承部延伸的方向交叉的交叉方向延伸的多个横向机械手支承部，所述多个横向机械手支承部包括多个第一横向机械手支承部和多个第二横向机械手支承部，各所述第一横向机械手支承部分别具有能够与所述基板接触的多个第一接点，该第一接点的最高高度位置为第一高度，各所述第二横向机械手支承部分别具有能够与所述基板接触的多个第二接点，该第二接点的最高高度位置为低于所述第一高度的第二高度，所述多个第一横向机械手支承部中的一个和所述多个第二横向机械手支承部中的一个在所述纵向上隔开间隔地相邻，通过将相邻的该第一横向机械手支承部所具有的2个以上的第一接点和相邻的该第二横向机械手支承部所具有的2个以上的第二接点的高度位置连结而规定的面，在所述纵向上和所述交叉方向上均具有多个高度位置。2.一种用于支承并移载基板的基板移载用机械手，其特征在于：包括在纵向上延伸的纵向机械手支承部，和从该纵向机械手支承部向与该纵向机械手支承部延伸的方向交叉的交叉方向延伸的多个横向机械手支承部，所述多个横向机械手支承部包括多个第一横向机械手支承部和多个第二横向机械手支承部，各所述第一横向机械手支承部分别具有能够与所述基板接触的多个第一接点，该第一接点的最高高度位置为第一高度，各所述第二横向机械手支承部分别具有能够与所述基板接触的多个第二接点，该第二接点的最高高度位置为低于所述第一高度的第二高度，所述多个第一横向机械手支承部中的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本健太郎，
申请(专利权)人：株式会社达谊恒，
类型：发明
国别省市：