一种扩散炉用的石英舟夹持结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用的石英舟夹持结构，包括夹具和设置在石英舟上的两个连接管，所述夹具包括连接柄，连接柄上固定有两个能够同时插入两个所述连接管内的插杆；所述插杆的长度大于连接管的长度；其中，所述夹具上还设置有能够防止连接管从插杆上脱落的防脱结构；其中，所述连接柄上设置有能够触发防脱结构工作的控制结构。本实用新型专利技术不仅能够轻轻托起整个石英舟，而且能够防止石英舟滑落，操作要求低，安全性高，降低了芯片被损坏的概率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用的石英舟夹持结构


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种扩散炉用的石英舟夹持结构。

技术介绍

[0002]传统的石英舟装载芯片后只能通过夹片的方式将芯片取出。而夹片容易引起碎片、缺角、崩边，同时芯片被夹过的部分会出现表面擦伤。
[0003]申请号为CN201120321686.6的技术专利石英舟和夹具，石英舟包括舟体，所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。夹具包括把手和与所述把手连接的夹持部，通过将夹具的实心棒插入到石英舟的舟体侧壁对称的设置的空心棒内，可以将石英舟整个拿起，但是该结构的两个实心棒之间不存在夹持力，用户需要始终保持水平方向端平夹具，否则，一不小心石英舟就会从夹具上滑落摔碎，造成无法挽回的损失。

技术实现思路

[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种扩散炉用的石英舟夹持结构，不仅能够轻轻托起整个石英舟，而且能够防止石英舟滑落，操作要求低，安全性高，降低了芯片被损坏的概率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案。
[0006]本技术提供一种扩散炉用的石英舟夹持结构，包括夹具和设置在石英舟上的两个连接管，所述夹具包括连接柄，连接柄上固定有两个能够同时插入两个所述连接管内的插杆；所述插杆的长度大于连接管的长度；
[0007]其中，所述夹具上还设置有能够防止连接管从插杆上脱落的防脱结构；
[0008]其中，所述连接柄上设置有能够触发防脱结构工作的控制结构。
[0009]优选地，所述插杆呈管状布置，其内部空间为连接腔；所述防脱结构包括两个撬杆和两个铰接轴，两个撬杆对称设置于两个连接腔内，两个铰接轴对称固定于两个连接腔内，两个铰接轴的轴向方向分别垂直于两个插杆所在的平面，两个撬杆分别铰接于两个铰接轴上；两个所述撬杆远离连接柄的一端分别垂直固定有锁舌，两个锁舌的轴向方向分别平行于两个插杆所在的平面，且两个锁舌分别位于两个撬杆的两侧；两个所述连接腔内靠近锁舌的一对称设置有弹簧，所述弹簧的一端固定于插杆内壁上，所述弹簧的另一端固定于撬杆壁上，且两个弹簧分别位于两个撬杆的两侧。
[0010]优选地，所述连接柄呈中空设置，其内部空间为内腔，所述内腔与两个所述连接腔相连通，所述控制结构包括两根设置于连接柄内的拉绳，所述连接柄远离插杆的一侧壁上开设有一通孔，两根拉绳的一端分别固定在两个撬杆靠近连接柄的一端，两根拉绳的另一端共同贯穿通孔设于连接柄外部且与一拉环固定连接。
[0011]优选地，所述锁舌的长度大于插杆壁的厚度。
[0012]优选地，所述连接柄远离插杆的一侧壁上设置有手柄。
[0013]本技术一种扩散炉用的石英舟夹持结构的有益效果具体如下：
[0014]1、本技术通；通过两个插杆插入石英舟上的连接管中，能够托起整个石英舟，实现，能够避免对石英舟挤压引起的碎片、缺角、崩边，也避免了石英舟被夹过的部分会出现表面擦伤；
[0015]2、本技术通过拉动拉环，实现锁舌扣住石英舟上的连接管，能够防止石英舟滑落，操作要求低，安全性高，大大降低了芯片被损坏的概率。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例中夹具的剖视图1；
[0019]图3为图2中A部的放大图；
[0020]图4为本技术实施例中夹具的剖视图2；
[0021]图5为图4中B部的放大图；
[0022]图6为石英舟与插管的连接示意图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1、夹具，2、连接管，3、连接柄，4、插杆，5、连接腔，6、撬杆，7、铰接轴，8、锁舌，9、弹簧，10、内腔，11、拉绳，12、拉环，13、手柄，14、石英舟。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例：
[0027]如图1至图6所示，本技术提供了一种扩散炉用的石英舟夹持结构，包括夹具1和设置在石英舟14上的两个连接管2，夹具1包括连接柄3，连接柄3上固定有两个能够同时插入两个连接管2内的插杆4；插杆4的长度大于连接管2的长度，如图1所示。
[0028]作为本技术再进一步的方案：夹具1上还设置有能够防止连接管2从插杆4上脱落的防脱结构；
[0029]具体的：
[0030]如图2至图4所示，插杆4呈管状布置，其内部空间为连接腔5；防脱结构包括两个撬杆6和两个铰接轴7，两个撬杆6对称设置于两个连接腔5内，两个铰接轴7对称固定于两个连接腔5内，铰接轴7位于连接腔5的中心位置，两个铰接轴7的轴向方向分别垂直于两个插杆4所在的平面，两个撬杆6分别铰接于两个铰接轴7上；撬杆6能够在连接腔5内以铰接轴7为中心小角度的旋转；
[0031]为了使插杆4具有防止石英舟14滑落的功能，两个撬杆6远离连接柄3的一端分别
垂直固定有锁舌8，两个锁舌8的轴向方向分别平行于两个插杆4所在的平面，且两个锁舌8分别位于两个撬杆6的两侧；两个连接腔5内靠近锁舌8的一对称设置有弹簧9，弹簧9的一端固定于插杆4内壁上，弹簧9的另一端固定于撬杆6壁上，且两个弹簧9分别位于两个撬杆6的两侧；在弹簧9的作用下，锁舌8在撬杆6上沿撬杆6轴向方向上的投影在撬杆6内部，如图3所示，以保证两个插杆4能够同时插入两个连接管2内。
[0032]作为本技术再进一步的方案：连接柄3上设置有能够触发防脱结构工作的控制结构。
[0033]具体的：
[0034]如图2至图4所示，连接柄3呈中空设置，其内部空间为内腔10，内腔10与两个连接腔5相连通，控制结构包括两根设置于连接柄3内的拉绳11，连接柄3远离插杆4的一侧壁上开设有一通孔，两根拉绳11的一端分别固定在两个撬杆6靠近连接柄3的一端，两根拉绳11的另一端共同贯穿通孔设于连接柄3外部且与一拉环12固定连接；拉动拉环12，弹簧9压缩，撬杆6带动锁舌8位移。
[0035]作为本技术再进一步的方案：锁舌8的长度大于插杆4壁的厚度，锁舌8位移能够实现扣住连接管2，防止连接管2从插杆4末端滑落。
[0036]本实施例中，拉环12的内径为30mm，以保证手指能够插入拉环12中，在弹簧9的作用下，拉绳11处于拉紧状态，通过手指拉动拉环12，本实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用的石英舟夹持结构，其特征在于，包括夹具(1)和设置在石英舟(14)上的两个连接管(2)，所述夹具(1)包括连接柄(3)，连接柄(3)上固定有两个能够同时插入两个所述连接管(2)内的插杆(4)；所述插杆(4)的长度大于连接管(2)的长度；其中，所述夹具(1)上还设置有能够防止连接管(2)从插杆(4)上脱落的防脱结构；其中，所述连接柄(3)上设置有能够触发防脱结构工作的控制结构。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用的石英舟夹持结构，其特征在于，所述插杆(4)呈管状布置，其内部空间为连接腔(5)；所述防脱结构包括两个撬杆(6)和两个铰接轴(7)，两个撬杆(6)对称设置于两个连接腔(5)内，两个铰接轴(7)对称固定于两个连接腔(5)内，两个铰接轴(7)的轴向方向分别垂直于两个插杆(4)所在的平面，两个撬杆(6)分别铰接于两个铰接轴(7)上；两个所述撬杆(6)远离连接柄(3)的一端分别垂直固定有锁舌(8)，两个锁舌(8)的轴向方向分别平行于两个插杆(4)所在的平面，且两个锁舌(8)分...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟战胜，袁迪，吴华北，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：