一种扩散炉用的石英舟夹持结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散炉用的石英舟夹持结构，包括夹具和设置在石英舟上的两个连接管，所述夹具包括连接柄，连接柄上固定有两个能够同时插入两个所述连接管内的插杆；所述插杆的长度大于连接管的长度；其中，所述夹具上还设置有能够防止连接管从插杆上脱落的防脱结构；其中，所述连接柄上设置有能够触发防脱结构工作的控制结构。本实用新型专利技术不仅能够轻轻托起整个石英舟，而且能够防止石英舟滑落，操作要求低，安全性高，降低了芯片被损坏的概率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用的石英舟夹持结构


[0001]本技术涉及半导体
，具体为一种扩散炉用的石英舟夹持结构。

技术介绍

[0002]传统的石英舟装载芯片后只能通过夹片的方式将芯片取出。而夹片容易引起碎片、缺角、崩边，同时芯片被夹过的部分会出现表面擦伤。
[0003]申请号为CN201120321686.6的技术专利石英舟和夹具，石英舟包括舟体，所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。夹具包括把手和与所述把手连接的夹持部，通过将夹具的实心棒插入到石英舟的舟体侧壁对称的设置的空心棒内，可以将石英舟整个拿起，但是该结构的两个实心棒之间不存在夹持力，用户需要始终保持水平方向端平夹具，否则，一不小心石英舟就会从夹具上滑落摔碎，造成无法挽回的损失。

技术实现思路

[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种扩散炉用的石英舟夹持结构，不仅能够轻轻托起整个石英舟，而且能够防止石英舟滑落，操作要求低，安全性高，降低了芯片被损坏的概率。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案。
[0006]本技术提供一种扩散本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用的石英舟夹持结构，其特征在于，包括夹具(1)和设置在石英舟(14)上的两个连接管(2)，所述夹具(1)包括连接柄(3)，连接柄(3)上固定有两个能够同时插入两个所述连接管(2)内的插杆(4)；所述插杆(4)的长度大于连接管(2)的长度；其中，所述夹具(1)上还设置有能够防止连接管(2)从插杆(4)上脱落的防脱结构；其中，所述连接柄(3)上设置有能够触发防脱结构工作的控制结构。2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用的石英舟夹持结构，其特征在于，所述插杆(4)呈管状布置，其内部空间为连接腔(5)；所述防脱结构包括两个撬杆(6)和两个铰接轴(7)，两个撬杆(6)对称设置于两个连接腔(5)内，两个铰接轴(7)对称固定于两个连接腔(5)内，两个铰接轴(7)的轴向方向分别垂直于两个插杆(4)所在的平面，两个撬杆(6)分别铰接于两个铰接轴(7)上；两个所述撬杆(6)远离连接柄(3)的一端分别垂直固定有锁舌(8)，两个锁舌(8)的轴向方向分别平行于两个插杆(4)所在的平面，且两个锁舌(8)分...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟战胜，袁迪，吴华北，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：