【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池片生产制造，具体为一种刻蚀槽主槽的液位监测装置。
技术介绍
1、随着全球经济的高速发展以及工业化生产程度越来越高，人类对能源依赖程度越来越高。太阳能作为清洁绿色的可再生能源，引起了多国的重视，并投入了大量的人力和物力进行研发。
2、晶硅太阳能电池是一种可以将太阳光能转化成为电能的电子元器件。在电池片的生产制造工艺中，刻蚀槽中的药液液位需要实时监测，现有技术中，可使用电容式液位传感器或者浮球液位传感器来测量刻蚀槽中的药液液位，但是在实际使用中，二者均存在一些问题：
3、1、电容式液位传感器安装在刻蚀槽顶部，槽内酸雾发生结晶会导致电容式液位传感器误感应，导致液位测量不稳定而误报警，造成硅片过刻；
4、2、浮球式液位传感器的浮球需要与药液直接接触来检测液位的变化，浮球内有磁性磁铁，容易吸附药水中的杂质，产生渍垢，清洗也不方便，且浮球容易卡死；
5、3、由于刻蚀槽内的药液成分多为酸，比如hf、hno3、h2so4等，浮球式液位传感器的浮球与酸性药液长期接触会被腐蚀，使用寿命短，更换繁琐，增加成本；
6、鉴于上述问题，非常有必要设计一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，来解决上述出现的问题。
技术实现思路
1、针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，采用浮球式液位传感器，避免了测量不准造成的硅片过刻的现象，且浮球上安装有防止浮球与药液接触的低位浮力件，避免了浮球因渍垢导致卡死的现象，提高了
2、为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案。
3、本技术提供一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，包括浮球液位传感器，所述浮球液位传感器包括导杆、浮球和变送器，所述浮球液位传感器通过法兰安装在刻蚀槽顶部，导杆与法兰固定连接，导杆竖直布置在刻蚀槽主槽内，浮球滑动套接在导杆上，变送器设置于导杆顶部且与导杆电连接，所述浮球漂浮在所述刻蚀槽内的药液液面上；所述浮球的侧壁下端周向等间距布置有若干个低位浮力件，所述低位浮力件的下端位于所述浮球下壁下方，若干个所述低位浮力件使得浮球与药液始终无接触。
4、优选地，所述低位浮力件包括若干个周向等间距布置于浮球侧壁下端的第一螺纹杆，所述第一螺纹杆上螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管远离所述浮球的一端周向等间距设置有若干个第二螺纹杆，所述第二螺纹杆垂直于所述螺纹管布置，若干个所述第二螺纹管上均设置有浮块。
5、优选地，所述浮块包括第一浮块和第二浮块，第一螺纹杆的数量为两个，所述螺纹管远离所述浮球的一端对称设置有两个第二螺纹杆，所述第二螺纹杆垂直于所述螺纹管布置，所述第一浮块和第二浮块通过锁紧螺母螺纹连接于所述第二螺纹管上。
6、优选地，所述浮块中空布置。
7、优选地，所述浮块的材质为工程塑料abs。
8、优选地，所述浮球和所述浮块表面涂有特氟龙涂层。
9、优选地，所述螺纹管远离浮球的一端设置有旋钮。
10、优选地，所述旋钮侧壁上设置有防滑纹。
11、本技术一种刻蚀槽主槽的液位监测装置的有益效果是：
12、本技术采用浮球式液位传感器，且浮球上安装有防止浮球与药液接触的低位浮力件，不仅避免了浮球因渍垢导致卡死的现象，避免了测量不准造成的硅片过刻的现象，提高了液位测量的精准度，而且防止了浮球长期接触酸性药液而被腐蚀损坏；低位浮力件能够变换角度，改变与药液接触位置，延长使用寿命，便于维护。
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1.一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，包括浮球液位传感器，所述浮球液位传感器包括导杆(1)、浮球(2)和变送器(3)，所述浮球液位传感器通过法兰(4)安装在刻蚀槽顶部，导杆(1)与法兰(4)固定连接，导杆(1)竖直布置在刻蚀槽主槽内，浮球(2)滑动套接在导杆(1)上，变送器(3)设置于导杆(1)顶部且与导杆(1)电连接，所述浮球(2)漂浮在所述刻蚀槽内的药液(5)液面上；所述浮球(2)的侧壁下端周向等间距布置有若干个低位浮力件(6)，所述低位浮力件(6)的下端位于所述浮球(2)下壁下方，若干个所述低位浮力件(6)使得浮球(2)与药液(5)始终无接触。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述低位浮力件(6)包括若干个周向等间距布置于浮球(2)侧壁下端的第一螺纹杆(7)，所述第一螺纹杆(7)上螺纹连接有螺纹管(8)，所述螺纹管(8)远离所述浮球(2)的一端周向等间距设置有若干个第二螺纹杆(9)，所述第二螺纹杆(9)垂直于所述螺纹管(8)布置，若干个所述螺纹管(8)上均设置有浮块。
3.根据权利要求2所述的一种刻蚀槽主槽的
4.根据权利要求2所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述浮块中空布置。
5.根据权利要求2所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述浮块的材质为工程塑料ABS。
6.根据权利要求2所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述浮球(2)和所述浮块表面涂有特氟龙涂层。
7.根据权利要求2所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述螺纹管(8)远离浮球(2)的一端设置有旋钮(13)。
8.根据权利要求7所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述旋钮(13)侧壁上设置有防滑纹。
...【技术特征摘要】
1.一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，包括浮球液位传感器，所述浮球液位传感器包括导杆(1)、浮球(2)和变送器(3)，所述浮球液位传感器通过法兰(4)安装在刻蚀槽顶部，导杆(1)与法兰(4)固定连接，导杆(1)竖直布置在刻蚀槽主槽内，浮球(2)滑动套接在导杆(1)上，变送器(3)设置于导杆(1)顶部且与导杆(1)电连接，所述浮球(2)漂浮在所述刻蚀槽内的药液(5)液面上；所述浮球(2)的侧壁下端周向等间距布置有若干个低位浮力件(6)，所述低位浮力件(6)的下端位于所述浮球(2)下壁下方，若干个所述低位浮力件(6)使得浮球(2)与药液(5)始终无接触。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀槽主槽的液位监测装置，其特征在于，所述低位浮力件(6)包括若干个周向等间距布置于浮球(2)侧壁下端的第一螺纹杆(7)，所述第一螺纹杆(7)上螺纹连接有螺纹管(8)，所述螺纹管(8)远离所述浮球(2)的一端周向等间距设置有若干个第二螺纹杆(9)，所述第二螺纹杆(9)垂直于所述螺纹管(8)布置，若干个所述螺纹管(8)上均设置有浮块。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘增桥，李红平，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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