一种硅片对中装置制造方法及图纸

本技术公开了一种硅片对中装置，包括底座，还包括设置在底座下端的皮带输送线、设置在底座上端的直线导轨、滑动设置在直线导轨上且相互对称的对中件、设置在底座上的安装座、设置在底座两侧的防护罩，所述皮带输送线包括设置在底座下端的主动轮、从动轮、绕设在主动轮和从动轮上的同步带以及用于驱动主动轮转动的电机，所述直线导轨的中轴线与主动轮和从动轮的圆心连线重合，两个所述对中件分别与同步带的左侧和右侧固定连接。优点：整个设备结构紧凑、便于组装、便于维护，并且皮带输送线放到底座下侧更加安全，加了护罩防止碎片掉落到影响对中件的运动安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片对中设备领域，具体为一种硅片对中装置。

技术介绍

1、硅片在制造过程中两个工位之间进行转移时，多采用皮带输送，为了保证输送过程中硅片不会出现偏差，多采用对中装置对输送过程中的硅片进行对中。现有的对中装置在结构设计上，存在维护不便以及使用上存在安全隐患的问题。

2、例如公开号为cn214691793u的中国专利，公开了一种硅片归正机构，涉及硅片加工技术，旨在解决现有硅片归正机构归正精度难以保证的问题，其技术方案要点是：包括机架，机架上相对滑动连接有第一导轮座和第二导轮座，位于第一导轮座和第二导轮座的水平方向设置有驱动第一导轮座和第二导轮座相向或相背运动的驱动组件，第一导轮座的顶部转动连接有第一导轮，第二导轮座的顶部转动连接有第二导轮，第一导轮与第二导轮所在的水平面与硅片的传送面平齐。上述的硅片归正机构采用皮带输送，但是皮带和第一导轮座、第二导轮座位于同一端面，就会存在维护时拆卸不便的问题，并且，使用过程中存在硅片的碎屑可能会掉落至皮带上影响皮带的正常传动，从而造成安全隐患。

3、鉴于此，有必要提供一种硅片对中装置。

技术实现思路

1、本技术提供的一种硅片对中装置，有效的解决了现有硅片对中装置不便于维护、不安全的问题。

2、本技术所采用的技术方案是

3、一种硅片对中装置，包括底座，还包括设置在底座下端的皮带输送线、设置在底座上端的直线导轨、滑动设置在直线导轨上且相互对称的对中件、设置在底座上的安装座、设置在底座两侧的防护罩，所述皮带输送线包括设置在底座下端的主动轮、从动轮、绕设在主动轮和从动轮上的同步带以及用于驱动主动轮转动的电机，所述直线导轨的中轴线与主动轮和从动轮的圆心连线重合，两个所述对中件分别与同步带的左侧和右侧固定连接。

4、进一步的是：所述底座上设置有两个通孔，两个所述通孔分别位于直线导轨的两侧，两个所述对中件分别穿过两个通孔与同步带固定连接。

5、进一步的是：所述对中件包括与直线导轨滑动连接的滑座、设置在底座上的光电开关、连接同步带与滑座的连接板、设置在滑座上的t型板以及设置在t型板上端面的若干球轴承。

6、进一步的是：所述滑座上设置有竖向槽，所述t型板包括与竖向槽适配的竖板以及设置在竖板上端面的平板，所述滑座上设置有与竖向槽导通的竖向腰型槽，所述平板上设置有与直线导轨平行的水平腰型槽。

7、进一步的是：所述连接板包括与同步带夹持连接。

8、技术的有益效果：整个设备结构紧凑、便于组装、便于维护，并且皮带输送线放到底座下侧更加安全，加了护罩防止碎片掉落到影响对中件的运动安全。

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【技术保护点】

1.一种硅片对中装置，包括底座(1)，其特征在于：还包括设置在底座(1)下端的皮带输送线(2)、设置在底座(1)上端的直线导轨(3)、滑动设置在直线导轨(3)上且相互对称的对中件(4)、设置在底座(1)上的安装座(6)、设置在底座(1)两侧的防护罩(5)，所述皮带输送线(2)包括设置在底座(1)下端的主动轮(21)、从动轮(22)、绕设在主动轮(21)和从动轮(22)上的同步带(23)以及用于驱动主动轮(21)转动的电机(24)，所述直线导轨(3)的中轴线与主动轮(21)和从动轮(22)的圆心y连线重合，两个所述对中件(4)分别与同步带(23)的左侧和右侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的硅片对中装置，其特征在于：所述底座(1)上设置有两个通孔(10)，两个所述通孔(10)分别位于直线导轨(3)的两侧，两个所述对中件(4)分别穿过两个通孔(10)与同步带(23)固定连接。

3.根据权利要求1所述的硅片对中装置，其特征在于：所述对中件(4)包括与直线导轨(3)滑动连接的滑座(41)、设置在底座(1)上的光电开关(42)、连接同步带(23)与滑座(41)的连接板(43)、设置在滑座(41)上的T型板(44)以及设置在T型板(44)上端面的若干球轴承(45)。

4.根据权利要求3所述的硅片对中装置，其特征在于：所述滑座(41)上设置有竖向槽，所述T型板(44)包括与竖向槽适配的竖板(441)以及设置在竖板(441)上端面的平板(442)，所述滑座(41)上设置有与竖向槽导通的竖向腰型槽(401)，所述平板(442)上设置有与直线导轨(3)平行的水平腰型槽(402)。

5.根据权利要求4所述的硅片对中装置，其特征在于：所述连接板(43)包括与同步带(23)夹持连接。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片对中装置，包括底座(1)，其特征在于：还包括设置在底座(1)下端的皮带输送线(2)、设置在底座(1)上端的直线导轨(3)、滑动设置在直线导轨(3)上且相互对称的对中件(4)、设置在底座(1)上的安装座(6)、设置在底座(1)两侧的防护罩(5)，所述皮带输送线(2)包括设置在底座(1)下端的主动轮(21)、从动轮(22)、绕设在主动轮(21)和从动轮(22)上的同步带(23)以及用于驱动主动轮(21)转动的电机(24)，所述直线导轨(3)的中轴线与主动轮(21)和从动轮(22)的圆心y连线重合，两个所述对中件(4)分别与同步带(23)的左侧和右侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的硅片对中装置，其特征在于：所述底座(1)上设置有两个通孔(10)，两个所述通孔(10)分别位于直线导轨(3)的两侧，两个所述对中件(4)分别穿过两个通孔(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：翁学飞，
申请(专利权)人：苏州诚拓智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：