温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种PECVD转运装置及转运方法，包括底座和设置在底座上的一号架，还包括并列设置在一号架上的一号输送线和二号输送线、设置在一号架上与一号输送线对应的一号变截距机构以及与二号输送线对应的二号变截距机构、设置在底座上与一号输送线对应...
该专利属于苏州诚拓智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州诚拓智能装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。