兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，包括：晶圆吸盘和定位块；所述晶圆吸盘上设置多个所述定位块，多个所述定位块沿同一圆形周侧排布。本申请给晶圆放置边缘增加一个特殊的定位块结构，解决了使用多类型晶圆材料片时，晶圆吸盘为压缩空气破空时，材料片晶圆因为重量不一致被吹飞偏移的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构


[0001]本技术涉及晶圆吸盘结构领域，具体地，涉及兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构。

技术介绍

[0002]碳化硅晶圆厂会同时使用碳化硅和硅两种材质晶圆，由于材质不同，同尺寸晶圆重量不一致，在晶圆吸盘吸附晶圆后在进行破除空吸附时，由于破空CDA(压缩空气)气量一定，重量小的晶圆破空时会出现较大偏移量(碳化硅晶圆同尺寸比硅晶圆重量轻)，使得机械手取片时晶圆偏移碰撞晶圆盒产生碎片风险。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构。
[0004]根据本技术提供的一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，包括：晶圆吸盘和定位块；
[0005]所述晶圆吸盘上设置多个所述定位块，多个所述定位块沿同一圆形周侧排布。
[0006]优选地，所述定位块由圆柱和两个斜圆锥构成，所述圆柱一侧端面安装在所述晶圆吸盘上，另一侧端面连接两个斜圆锥。
[0007]优选地，两个斜圆锥的底面连接所述圆柱的端面，两个斜圆锥的顶端之间设置间隙。
[0008]优选地，所述斜圆锥背向另一个斜圆锥的外侧设置为光滑的圆锥曲面。
[0009]优选地，晶圆放置在多个所述定位块围成的圆形区域内，所述晶圆的外侧与所述定位块相切。
[0010]优选地，所述定位块沿所述晶圆周侧均匀排布，所述定位块任一斜圆锥的圆锥曲面朝向所述晶圆方向。
[0011]优选地，所述晶圆吸盘上设置多个沿不同直径圆形排布的安装孔，所述定位块根据晶圆直径选择对应圆形直径位置的安装孔安装在所述晶圆吸盘上。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
[0013]本申请给晶圆放置边缘增加一个特殊的定位块结构，解决了使用多类型晶圆材料片时，晶圆吸盘为压缩空气破空时，材料片晶圆因为重量不一致被吹飞偏移的问题。
附图说明
[0014]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0015]图1为晶圆吸盘结构示意图；
[0016]图2为定位块主视图；
[0017]图3为定位块侧视图；
[0018]图4为定位块俯视图；
[0019]图中所示：
[0020]具体实施方式
[0021]下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本技术的保护范围。
[0022]如图1所示，本实施例包括：晶圆吸盘2和定位块3；晶圆吸盘2上设置多个定位块3，多个定位块3沿同一圆形周侧均匀排布。晶圆1放置在多个定位块3围成的圆形区域内，晶圆1的外侧与定位块3相切。晶圆吸盘2上设置多个沿不同直径圆形排布的安装孔，定位块3根据晶圆1直径选择对应圆形直径位置的安装孔安装在晶圆吸盘2上。
[0023]如图2至图4所示，定位块3由圆柱和两个斜圆锥构成，圆柱一侧端面安装在晶圆吸盘2上，另一侧端面连接两个斜圆锥。两个斜圆锥的底面连接圆柱的端面，两个斜圆锥的顶端之间设置间隙，斜圆锥背向另一个斜圆锥的外侧设置为光滑的圆锥曲面，定位块3任一斜圆锥的圆锥曲面朝向晶圆1方向。
[0024]将定位块3斜圆锥的圆锥曲面对准晶圆1的边缘，并固定在晶圆吸盘2上。定位块3由圆柱和两个斜圆锥构成，圆柱结构使得晶圆1能够卡在晶圆吸盘2放置位，不出现偏移，而圆锥结构可以使得破空时碳化硅晶圆1被吹飞时可以平滑的下落到确定位置，还可以给此定位块3留有形变的缓冲空间，长时间使用条件下，两个圆锥结构中间有大气压，圆锥曲面不会发生大的形变影响使用。
[0025]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0026]以上对本技术的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本技术并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本技术的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于，包括：晶圆吸盘(2)和定位块(3)；所述晶圆吸盘(2)上设置多个所述定位块(3)，多个所述定位块(3)沿同一圆形周侧排布。2.根据权利要求1所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述定位块(3)由圆柱和两个斜圆锥构成，所述圆柱一侧端面安装在所述晶圆吸盘(2)上，另一侧端面连接两个斜圆锥。3.根据权利要求2所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：两个斜圆锥的底面连接所述圆柱的端面，两个斜圆锥的顶端之间设置间隙。4.根据权利要求2所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述斜圆锥背向另一个斜圆锥的外侧设置为光滑的圆锥曲面。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王旭东，
申请(专利权)人：淄博绿能芯创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：