本实用新型专利技术提供了一种涉及晶圆防护技术领域的Chuck Pin防止晶圆破损结构，包括防止晶圆破损结构、Chuck Pin以及晶圆，防止晶圆破损结构位于Chuck Pin顶端，晶圆限位于Chuck Pin上，且防止晶圆破损结构位于晶圆的边缘上方。本实用新型专利技术通过防止晶圆破损结构可以限制晶圆向上移动超出范围而发生破损，把晶圆限制在安全位置内，在高速转动过程中不会因离心力问题而转出安全位置；尤其适用于气压不稳的用户，可以有效弥补因气压不稳(伯努利原理)而带来的破片风险，从而使得本发明专利技术具有减少破片、减少损失、提升设备稳定性的功能。提升设备稳定性的功能。提升设备稳定性的功能。
【技术实现步骤摘要】
Chuck Pin防止晶圆破损结构
[0001]本技术涉及晶圆防护
，具体地，涉及Chuck Pin防止晶圆破损结构。
技术介绍
[0002]晶圆放在Chuck盘上，Chuck盘带动晶圆高速旋转，从而产生离心力。为此，现有技术中存在克服离心力、限制晶圆活动的装置，这些装置能够对晶圆形成一定的保护作用，将晶圆左右限制在Chuck盘上，能够使Chuck盘带动晶圆高速转动过程中把晶圆限位于安全位置，从而可以在气压稳定(伯努利原理)的条件下解决因高速旋转产生离心力而破片的问题。
[0003]现有Chuck Pin由于自身形状为直上直下结构的原因，若不借助于外部结构加以限制晶圆位置，则只能保证气压稳定不能出现波动，否则会影响气压(伯努利原理)导致离心力发生变化使晶圆向上移动出安全位置而发生破片带来经济损失。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种Chuck Pin防止晶圆破损结构。
[0005]根据本技术提供的一种Chuck Pin防止晶圆破损结构，包括防止晶圆破损结构、Chuck Pin以及晶圆，防止晶圆破损结构位于Chuck Pin顶端，晶圆限位于Chuck Pin上，且防止晶圆破损结构位于晶圆的边缘上方。
[0006]一些实施例中，防止晶圆破损结构与Chuck Pin顶部圆柱角度为90
°‑
180
°
[0007]一些实施例中，防止晶圆破损结构与Chuck Pin顶部圆柱呈90
°
相接。
[0008]一些实施例中，防止晶圆破损结构呈圆形。
[0009]一些实施例中，防止晶圆破损结构与晶圆平行。
[0010]一些实施例中，Chuck Pin与晶圆垂直。
[0011]一些实施例中，Chuck Pin与防止晶圆破损结构一一对应连接。
[0012]一些实施例中，多个Chuck Pin位于晶圆周边。
[0013]一些实施例中，多个Chuck Pin均匀分布于晶圆周边。
[0014]与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
[0015]本技术通过防止晶圆破损结构可以限制晶圆向上移动超出范围而发生破损，把晶圆限制在安全位置内，在高速转动过程中不会因离心力问题而转出安全位置；尤其适用于气压不稳的用户，可以有效弥补因气压不稳(伯努利原理)而带来的破片风险，从而使得本专利技术具有减少破片、减少损失、提升设备稳定性的功能。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1为本技术的结构示意图；
[0018]图2为图1的俯视图。
[0019]图中标号：
[0020]防止晶圆破损结构1、Chuck Pin2、晶圆3。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本技术的保护范围。
[0022]实施例1
[0023]本技术提供的一种Chuck Pin防止晶圆破损结构，如图1
‑
2所示，包括防止晶圆破损结构1、Chuck Pin2以及晶圆3，防止晶圆破损结构1位于Chuck Pin2顶端，防止晶圆破损结构1与Chuck Pin2顶部圆柱角度为90
°‑
180
°
，防止晶圆破损结构1呈圆形，Chuck Pin2与防止晶圆破损结构1一一对应连接。晶圆3限位于多个均匀环绕的Chuck Pin2上，且防止晶圆破损结构1位于晶圆3的边缘上方。
[0024]更为具体的，能够把晶圆3限制在安全位置内，在高速转动过程中不会因离心力问题而转出安全位置，可以有效减少破片带来的经济损失。
[0025]实施例2
[0026]本实施例2是在实施例1的基础上完成的，将防止晶圆破损结构1与Chuck Pin2顶部圆柱呈90
°
相接，使其更加稳定的保护晶圆3，如图1
‑
2所示，具体的：
[0027]防止晶圆破损结构1与Chuck Pin2顶部圆柱呈90
°
相接，在工艺前通过Pin底部齿轮结构使Pin的限位打开，放入晶圆3后关闭限位，防止晶圆破损结构1与晶圆3平行，Chuck Pin2与晶圆3垂直，关闭后的6个防止晶圆破损结构1位于晶圆3边缘上方。有效限制晶圆在转动过程中因气压不稳等原因导致向上移动、超出范围而破损。
[0028]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0029]以上对本技术的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本技术并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本技术的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种Chuck Pin防止晶圆破损结构，其特征在于，包括防止晶圆破损结构(1)、Chuck Pin(2)以及晶圆(3)，所述防止晶圆破损结构(1)呈圆形，所述防止晶圆破损结构(1)位于所述Chuck Pin(2)顶端，所述Chuck Pin(2)与所述防止晶圆破损结构(1)一一对应连接，所述防止晶圆破损结构(1)与所述Chuck Pin(2)顶部圆柱角度为90
°‑
180
°
，所述晶圆(3)限位于所述Chuck Pin(2)上，且所述防止晶圆破损结构(1)位于所述晶圆(3)的边缘上方，所述防止晶圆破损结构(1)与所述晶圆(...
【专利技术属性】
技术研发人员：石绍亮，
申请(专利权)人：淄博绿能芯创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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