基板固定装置制造方法及图纸

根据本实用新型专利技术一实施例的基板固定装置包括：支撑台，利用设置在上表面的吸附部来吸附和固定基板，以及负压生成装置，对所述吸附部形成负压；所述支撑台可以包括以贯通所述支撑台的方式使所述吸附部与所述负压生成装置连通的负压通道。连通的负压通道。连通的负压通道。

【技术实现步骤摘要】
基板固定装置


[0001]本技术涉及一种基板固定装置。

技术介绍

[0002]具有薄厚度的基板用于许多用途，例如半导体元件面板、滤色器面板、液晶显示面板、背光面板、有机发光二极管显示面板、光学装置面板、电子设备或者光电装置面板等。
[0003]这种基板可以具有在数μm至数mm范围内的厚度，并且可以通过在锡金属浴中悬浮来制造，或者通过诸如熔融下拉(fusion draw)和流孔下引法(slot down draw)工艺的下拉工艺(down draw process)制造。
[0004]这样制造出来的基板优选具有高强度，以承受包装和运输过程中可能发生的物理冲击，但是基板的边缘是易受物理冲击的部分，如果施加超过临界值的应力，则缺陷会迅速地扩散到整个基板。因此，通过抛光基板边缘来执行用于降低发生在基板边缘处的缺陷的收尾工艺。
[0005]在这样的工艺中，基板固定装置可用于支撑基板，并且通过利用固定手段固定基板来防止基板在工艺中移动。
[0006]然而，当基板没有形成为平坦的形状而形成为弯曲的形状时，基板的一部分从基板固定装置翘起，如果基板的一部分翘起并从基板固定装置分离，则设置在基板固定装置的固定手段会无法正常吸附和固定基板。那么，将无法执行基板所需的工艺，或者会发生因工艺导致的缺陷。
[0007]假如，当对基板表面进行特殊处理(例如油墨涂敷)时，由于油墨固化时产生的残余应力，基板会发生弯曲变形。那么，基板将无法完全地固定在基板固定装置上，并且会无法正常执行对基板的工艺。[08]因此，需要一种即使是弯曲而不平坦的基板也可以使其稳定地固定在基板固定装置上，从而可以顺利地执行对基板的工艺的方案。

技术实现思路

[0008]本技术要解决的技术问题
[0009]本技术提供一种基板固定装置，其能够通过将基板稳定地固定在工作台装置上来提高基板的制造品质。然而，上述问题是根据本技术实施例的，本技术的目的和要解决的问题不限于此。
[0010]技术方案
[0011]作为解决上述技术问题的手段，根据本技术一实施例的基板固定装置包括：支撑台，利用设置在上表面的吸附部来吸附和固定基板，以及负压生成装置，对所述吸附部形成负压；所述支撑台可以包括以贯通所述支撑台的方式使所述吸附部与所述负压生成装置连通的负压通道。
[0012]根据本技术一实施例的基板固定方法可以包括：将基板放置于支撑台的上表面上的步骤，其中，所述支撑台中形成有多个吸附垫，所述多个吸附垫的一端从所述上表面
突出且能够上下位移；对形成在所述吸附垫中的所述基板的中心区域的吸附垫形成负压的步骤；以及对所述吸附垫中的其余的吸附垫的形成负压的步骤。
[0013]上述以外的其他方面、特征和优点将通过附图、权利要求书和技术的详细说明变得明确。
[0014]有益效果
[0015]根据本技术，能够将基板稳定地固定在工作台装置上。特别是，即使基板不平坦，也能够将基板稳定地固定在工作台装置上。此外，在工作台装置上对基板的每个区域施加不同大小的负压，从而可以将基板稳定地固定在工作台装置上而没有任何翘起区域。因此，可以提高基板的制造品质。
[0016]当然，本技术的范围不受这些效果的限制。
附图说明
[0017]图1是示出根据本技术一实施例的基板固定装置的概念图。[16]图2是示出能够在图1的支撑台上表面上固定的基板的概念图。[17]图3是示出图1的设置在基板固定装置的固定手段的概念图。
[0018]图4是示出图1的支撑台的截面的图。
[0019]图5a、图5b是示出图4的吸附垫的图。
[0020]图6是示出图1的支撑台的俯视图。
[0021]图7是示出图6的吸附线的另一实施例的图。
[0022]图8是示出根据本技术一实施例的基板固定方法的流程图。[23]图9是示出图8中的基板位于支撑台上的状态的图。
[0023]图10是示出图8中的基板的中心区域被吸附的状态的图。
[0024]图11是示出图8中的基板的其余的区域被吸附的状态的图。
具体实施方式
[0025]本技术可以进行各种变形，可以具有多种实施例，将在附图中示出特定实施例，并进行详细说明。本技术的效果和特征以及实现它们的方法将参照稍后详细说明的实施例以及附图而变得清楚。然而，本技术不限于下面公开的实施例，可以以多种形式实施。
[0026]以下，参照附图对本技术的实施例进行详细说明，在参照附图进行说明时，对于相同或相应的组件赋予相同的附图标记，并且将省略其重复的说明。
[0027]在以下实施例中，除非上下文另有明确规定，否则单数形式的表达包括复数表达。
[0028]在以下实施例中，诸如包括或具有的术语表示说明书中说明的特征或组件存在，并不预先排除添加一个以上的其他特征或组件的可能性。
[0029]当某个实施例能够不同地实施时，可以以不同于所说明的顺序的方式执行特定的工艺顺序。例如，连续说明的两个工艺实际上可以同时执行，可以以与说明的顺序相反的顺序进行。
[0030]在附图中，为了便于说明，组件的尺寸会被放大或缩小。例如，由于附图中所示的每个部件的尺寸和厚度是为了便于说明而任意示出的，因此以下实施例不限于所示出的附
图。
[0031]图1是根据本技术一实施例的基板固定装置10的概念图，图2是能够在图1的支撑台100上表面上固定的基板20的概念图。
[0032]根据本技术一实施例的基板固定装置10可以是用于稳定且可靠地固定基板20的装置以对基板20进行加工(例如，对基板20的边缘进行抛光加工)。
[0033]参照图1，根据本技术一实施例的基板固定装置10可以包括支撑台100、旋转单元200和底座300。
[0034]基板20可放置在支撑台100的上表面上以进行加工。支撑台100的形状不需要特别限制，但是支撑台100的上表面可以形成为平坦的形状以能够放置基板20。并且，支撑台100边缘的下侧的至少一部分可以逐渐变细并形成倾斜面，使得容易地对放置在支撑台100的基板20边缘进行抛光加工。
[0035]当基板20放置在支撑台100的上表面上时，基板20通过设置在基板固定装置10的基板固定手段固定，从而可以防止基板20在固定期间晃动。下面将继续说明设置在基板固定装置10的基板固定手段。[37]旋转单元200可设置在支撑台100的下部。旋转单元200稳定地支撑支撑台100，并且能够使支撑台100旋转。旋转单元200具有沿上下方向延伸的轴，并且可以以轴为中心顺时针或逆时针旋转支撑台100。旋转单元200可以连接到控制器以旋转支撑台100，并且可以具有连接到支撑台100的内部结构。
[0036]底座300可设置在旋转单元200的下部。底座300可用作从地面支撑基板20加工装置或者使基板20加工装置安装在其他装置。底座300可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板固定装置，其特征在于，所述基板固定装置包括：支撑台，利用设置在上表面的吸附部来吸附和固定基板，以及负压生成装置，对所述吸附部形成负压；所述支撑台包括：以贯通所述支撑台的方式使所述吸附部与所述负压生成装置连通的负压通道，以及所述吸附部包括：第一吸附部，其一端从所述上表面突出且能够位移，所述第一吸附部包括：沿着所述支撑台的边缘以与所述边缘相邻的方式形成的多个吸附垫。2.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述吸附垫包括：伸缩部，至少一部分从所述上表面突出，以及结合部，与所述伸缩部连接；所述吸附垫插入并固定到所述负压通道的一侧。3.根据权利要求2所述的基板固定装置，其特征在于，所述结合部与所述负压通道的一侧螺纹结合，并能够调节从所述上表面突出的伸缩部的长度。4.根据权利要求2所述的基板固定装置，其特征在于，所述伸缩部形成为波纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：李哉宪，韩政烈，
申请(专利权)人：韩商未来股份有限公司，
类型：新型
国别省市：