超声波清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种超声波清洗装置，其可容易清洗具有复杂且多种形状的图案的被加工物。根据本实用新型专利技术一实施例的超声波清洗装置包括：主体，具有被设置成面向被加工物的喷射口；第一腔室，设置在所述主体的一侧，并被供应流体；第二腔室，设置在所述主体的另一侧，并用于吸入外部空气；以及超声波发生器，设置在所述第一腔室内，并包括通过供应到所述第一腔室的流体生成固定压力波(stationary pressure wave)的共振腔(resonance cavity)。cavity)。cavity)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声波清洗装置


[0001]本技术涉及一种超声波清洗装置，更详细地涉及一种利用超声波清洗被加工物的装置。

技术介绍

[0002]近年来，在显示器或半导体行业中，为了对高度集成产品进行加工而必须要实施诸如激光加工的微加工。激光加工具有能够对微小的产品进行精密加工的优点，但存在加工过程中产生微细粒子的问题。并且，由于高度集成的产品具有复杂的图案，因此不容易去除所产生的微细粒子。
[0003]作为现有技术，为了去除这些微细粒子，已采用利用超声波的干式清洗装置。然而，传统的超声波清洗装的频率范围过宽且振幅低，因此只能去除大小较大的微细粒子，而不能完全地去除大小较小的微细粒子。并且，当被加工物的表面具有凹凸型图案时，存在无法完全地去除微细粒子的问题。
[0004]上述
技术介绍
是专利技术人为推导本技术而拥有的技术信息或在推导本技术过程中获得的技术信息，不能说一定是在本技术申请之前向一般公众公开的公知技术。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题
[0006]本技术是为了解决上述问题而提供的，并且其目的在于提供一种超声波清洗装置，其利用包括共振腔(resonance cavity)的流体介质的超声波清洗装置来产生期望的振幅和频率的超声波，从而能够容易地去除被加工物的微细粒子。
[0007]然而，这些问题是示例性的，本技术要解决的问题不限于此。
[0008]技术方案
[0009]根据本技术一实施例的超声波清洗装置包括：主体，具有被设置成面向被加工物的喷射口；第一腔室，设置在所述主体的一侧，并被供应流体；第二腔室，设置在所述主体的另一侧，并用于吸入外部空气；以及超声波发生器，设置在所述第一腔室内，并包括通过供应到所述第一腔室的流体在内部生成固定压力波(stationary pressure wave)的共振腔(resonance cavity)。
[0010]有益效果
[0011]考虑到被加工物和/或被加工物上的污染物，根据本技术一实施例的超声波清洗装置可产生具有期望的频率和/或振幅的超声波。尤其，可以缩小产生的超声波的频率宽度并增大振幅，从而可以使因空气粘性阻力形成的边界层以下的微细粒子强烈振动。
[0012]根据本技术一实施例的超声波清洗装置可以通过利用超声波发生器改变频率和/或振幅来容易地清洗多种被加工物。
[0013]根据本技术一实施例的超声波清洗装置可以通过使从超声波发生器产生的
超声波产生相长干涉来更彻底地清洗被加工物。
[0014]根据本技术一实施例的超声波清洗装置可以利用从超声波发生器产生的不同频率的超声波来更彻底地清洗被加工物。
附图说明
[0015]图1示出根据本技术一实施例的超声波清洗装置。
[0016]图2示出沿图1的线
Ⅱ‑Ⅱ
截取的剖面。
[0017]图3是放大示出图2的Ⅲ的图。
[0018]图4是放大示出图2的Ⅳ的图。
[0019]图5示出根据本技术另一实施例的超声波清洗装置。
[0020]图6示出根据本技术又一实施例的超声波清洗装置。
[0021]图7示出沿图6的
Ⅶ‑Ⅶ
截取的剖面。
[0022]图8示出被加工物的一个示例。
[0023]图9a、图9b、图10a、图10b、图11a和图11b示出根据比较例和技术例的被加工物的清洗状态。
具体实施方式
[0024]根据本技术一实施例的超声波清洗装置包括：主体，具有被设置成面向被加工物的喷射口；第一腔室，设置在所述主体的一侧，并被供应流体；第二腔室，设置在所述主体的另一侧，并用于吸入外部空气；以及超声波发生器，设置在所述第一腔室内，并包括通过供应到所述第一腔室的流体生成固定压力波(stationary pressure wave)的共振腔(resonance cavity)。
[0025]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，所述超声波发生器使被供应的流体分流到第一路径和第二路径；所述超声波发生器可包括：第一共振腔，沿着所述第一路径流动的流体被流入所述第一共振腔，以及第二共振腔，沿着所述第二路径流动的流体流入所述第二共振腔。
[0026]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波和由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波可以具有相同的频率。
[0027]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波和由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波之间发生相长干涉，并且所述喷射口可设置在所述主体的底面并将被相长干涉的所述超声波喷射到所述被加工物。
[0028]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波和由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波可以具有不同的频率。
[0029]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，在所述主体的底面设置有2个所述喷射口，并且可将由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波和由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波分别喷射到所述被加工物。
[0030]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，所述超声波发生器包括流动截面积小于沿着所述第一腔室流动的流体的流动截面积的微狭缝；并且所述共振腔可与所述微狭缝连接，并使得通过所述微狭缝的流体生成固定压力波。
[0031]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，所述超声波发生器包括：第一块，以及第二块，与所述第一块隔开设置，并且在所述第二块与所述第一块之间设置有所述微狭缝；所述第一块和所述第二块中的至少一个能够沿一个方向移动以调节所述微狭缝的空隙。
[0032]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，所述超声波发生器可包括：第三块，所述第三块与所述第二块之间设置有所述共振腔，并且所述第三块能够沿一个方向移动以调节所述共振腔的长度。
[0033]根据本技术一实施例的超声波清洗装置，其中，所述超声波发生器可包括：第四块，有所述第四块划分出所述共振腔，并且所述第四块呈朝向所述喷射口逐渐变窄(Tapered)的形状或薄膜形状。
[0034]除上述说明之外的其他方面、特征和优点将通过用于实施本技术的以下具体内容、权利要求书和附图变得明确。
[0035]具体实施例
[0036]本技术可以进行多种变换并可以具有多种实施例，将在附图中示出具体实施例，并在技术的说明书中进行详细说明。然而，应理解，这并不意味着将本技术限制在特定实施例中，而是包括在本技术的精神和范围内的所有变换、等同物和替代物。在说明本技术时，即使在不同的实施例中示出，相同的组件使用相同的附图标记。
[0037]以下，参照附图对本技术的实施例进行详细说明，在参照附图进行说明时，对于相同或相应的组件赋本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种超声波清洗装置，其特征在于，包括：主体，具有被设置成面向被加工物的喷射口；第一腔室，设置在所述主体的一侧，并被供应流体；第二腔室，设置在所述主体的另一侧，并用于吸入外部空气；以及超声波发生器，设置在所述第一腔室内，并且包括通过供应到所述第一腔室的流体生成固定压力波的共振腔。2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置，其特征在于，所述超声波发生器使被供应的流体分流到第一路径和第二路径；所述超声波发生器包括：第一共振腔，沿着所述第一路径流动的流体流入所述第一共振腔，以及第二共振腔，沿着所述第二路径流动的流体流入所述第二共振腔。3.根据权利要求2所述的超声波清洗装置，其特征在于，由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波和由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波具有相同的频率。4.根据权利要求2所述的超声波清洗装置，其特征在于，由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波与由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波之间发生相长干涉，所述喷射口设置在所述主体的底面并将被相长干涉的所述超声波喷射到所述被加工物。5.根据权利要求2所述的超声波清洗装置，其特征在于，由流入所述第一共振腔的流体产生的超声波和由流入所述第二共振腔的流体产生的超声波具...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵盛哲，
申请(专利权)人：韩商未来股份有限公司，
类型：新型
国别省市：