本实用新型专利技术提供了一种涉及晶圆打点技术领域的用于自动探针台的晶圆打点装置，包括X轴方向调节结构、Z轴平面旋转结构、Z轴方向调节结构、Y轴平面夹角调节结构以及墨针打点结构，墨针打点结构通过Y轴平面夹角调节结构调整在Y轴向上的夹角，Z轴方向调节结构带动墨针打点结构在Z轴平面旋转结构上进行Z轴向上的滑动，Z轴平面旋转结构在X轴方向调节结构上进行旋转，通过X轴方向调节结构调节在X轴向上的位置。本实用新型专利技术可实现更灵活的角度和位置调节，可适配更多种测试系统，更准确地实现晶圆打点作业。打点作业。打点作业。
【技术实现步骤摘要】
用于自动探针台的晶圆打点装置
[0001]本技术涉及晶圆打点
，具体地，涉及用于自动探针台的晶圆打点装置。
技术介绍
[0002]常规晶圆打点装置由于多为探针座改装而来，X
‑
Y平面移动范围较小，且只能使墨针朝向X轴方向，且由于墨针夹具没有转动轴和多段式机械臂结构，适配探针台少，受环境限制大，且墨针打点角度不理想。为此，现有技术中存在一种用于晶圆的打点装置(申请号为CN206349339U的中国专利，公开了“点墨机构”)，此点墨机构能够调节墨针和底座在X
‑
Z平面内的夹角，从而可以找到合适的打点角度。
[0003]现有技术的不足之处是：X
‑
Y平面内移动范围较小，且不能灵活改变墨针和底座的角度；前端墨针夹具不够灵活，不能绕开障碍物，收环境限制大；体积和重量较大，占用探针台载重；墨针夹具易撞片划片等等。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种用于自动探针台的晶圆打点装置。
[0005]根据本技术提供的一种用于自动探针台的晶圆打点装置，包括X轴方向调节结构、Z轴平面旋转结构、Z轴方向调节结构、Y轴平面夹角调节结构以及墨针打点结构，墨针打点结构连接于Y轴平面夹角调节结构上，Y轴平面夹角调节结构连接于Z轴方向调节结构上，Z轴方向调节结构连接于Z轴平面旋转结构上，Z轴平面旋转结构连接于X轴方向调节结构上；
[0006]墨针打点结构通过Y轴平面夹角调节结构调整在Y轴向上的夹角，Z轴方向调节结构带动墨针打点结构在Z轴平面旋转结构上进行Z轴向上的滑动，Z轴平面旋转结构在X轴方向调节结构上进行旋转，通过X轴方向调节结构调节在X轴向上的位置。
[0007]一些实施例中，X轴方向调节结构包括底座、X轴滑块以及固定螺栓，X轴滑块滑动连接于底座上，X轴滑块通过固定螺栓调节滑动阻力；
[0008]当固定螺栓松弛时，底座和X轴滑块之间沿X轴自由滑动；当固定螺栓锁紧时，底座和X轴滑块之间固定。
[0009]一些实施例中，Z轴平面旋转结构包括Z轴旋转块、操作杆以及锁紧螺母，Z轴旋转块分别通过操作杆和锁紧螺母连接于X轴滑块上转；
[0010]当锁紧螺母松弛时，Z轴旋转块以锁紧螺母为转动轴旋转；当锁紧螺母紧固时，Z轴旋转块转动阻力变大；
[0011]当操作杆松弛时，Z轴旋转块以锁紧螺母为转动轴旋转；当操作杆紧固时，Z轴旋转块和X轴滑块之间相对固定。
[0012]一些实施例中，Z轴方向调节结构包括Z轴限位块、Z轴滑块以及Z轴调节螺母，Z轴
滑块通过Z轴调节螺母滑动连接于Z轴限位块上，Z轴限位块连接于Z轴旋转块上；
[0013]当Z轴调节螺母逆时针转动时，Z轴滑块相对于Z轴限位块上升；当Z轴调节螺母顺时针转动时，Z轴滑块相对于Z轴限位块下降。
[0014]一些实施例中，Y轴平面夹角调节结构包括连接器、连接器调节螺丝以及转轴螺丝，连接器一端通过连接器调节螺丝连接于Z轴滑块上，连接器另一端通过转轴螺丝连接墨针打点结构。
[0015]一些实施例中，连接器一端通过连接销连接于Z轴滑块上，连接器一端通过连接销为转动轴调整夹角，连接器另一端以转轴螺丝为转动轴调整夹角。
[0016]一些实施例中，墨针打点结构包括墨针夹具、电磁驱动器、弹簧杆以及墨针，墨针连接于墨针夹具上，墨针夹具连接连接器另一端，墨针末端连接电磁驱动器，电磁驱动器连接弹簧杆；
[0017]当电磁驱动器通电时，墨针通过推拉杆的推出挤出墨水；当电磁驱动器断电时，通过弹簧杆复位。
[0018]一些实施例中，墨针末端通过推拉杆连接电磁驱动器，电磁驱动器通过凹槽夹结构连接弹簧杆，弹簧杆连接推拉杆；
[0019]当电磁驱动器通电时，推拉杆推出，墨针挤出墨水；当电磁驱动器断电时，推拉杆通过弹簧杆拉回复位。
[0020]一些实施例中，底座上均匀分布有安装孔，安装孔中分别插入与之相对应的第一固定螺丝、第二固定螺丝、第三固定螺丝以及第四固定螺丝，底座固定在探针台或其他测试系统上。
[0021]与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
[0022](1)本技术通过采用操作杆和锁紧螺母从而可以调节X轴滑块和Z轴旋转块之间在X
‑
Y平面的夹角，可更自由的调节墨针在X
‑
Y平面内的位置，解决了常规探针座在X
‑
Y平面内可移动范围过小的问题；
[0023](2)通过采用Z轴滑块、连接器、连接器调节螺丝、转轴螺丝、墨针夹具的结构，从而可以调节底座和墨针在X
‑
Z平面内的夹角和相对位置，可更自由的调节墨针和X
‑
Y平面的夹角，且这种三段式机械臂结构可适配更多种探针台和测试系统，便于绕开障碍物，能更方便的找到合适的打点角度，解决了常规墨针夹具打点角度不理想，易被周围环境限制的问题。
附图说明
[0024]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0025]图1为本技术的结构示意图；
[0026]图2为本技术的侧视图；
[0027]图3为本技术的俯视图。
[0028]图中标号：
[0029]具体实施方式
[0030]下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本技术的保护范围。
[0031]实施例1
[0032]根据本技术提供的一种用于自动探针台的晶圆打点装置，包括X轴方向调节结构、Z轴平面旋转结构、Z轴方向调节结构、Y轴平面夹角调节结构以及墨针打点结构，墨针打点结构连接于Y轴平面夹角调节结构上，Y轴平面夹角调节结构连接于Z轴方向调节结构上，Z轴方向调节结构连接于Z轴平面旋转结构上，Z轴平面旋转结构连接于X轴方向调节结构上；
[0033]墨针打点结构通过Y轴平面夹角调节结构调整在Y轴向上的夹角，Z轴方向调节结构带动墨针打点结构在Z轴平面旋转结构上进行Z轴向上的滑动，Z轴平面旋转结构在X轴方向调节结构上进行旋转，通过X轴方向调节结构调节在X轴向上的位置。
[0034]实施例2
[0035]本实施例2是在实施例1的基础上完成的，可更自由的调节墨针124在X
‑
Y
‑
Z轴向上的位置，具体的：
[0036]X轴方向调节结构包括底座101、X轴滑块102以及固定螺栓131，X轴滑块102通过T型结构滑动连接于底座101上实现X轴方向上的滑动，X轴滑块102通过固定螺栓131调节滑动阻力；当固定螺栓131松弛时，底座101和X轴滑块102之间沿X轴自由滑动；当固定螺栓131锁紧时，底本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于自动探针台的晶圆打点装置，其特征在于，包括X轴方向调节结构、Z轴平面旋转结构、Z轴方向调节结构、Y轴平面夹角调节结构以及墨针打点结构，所述墨针打点结构连接于所述Y轴平面夹角调节结构上，所述Y轴平面夹角调节结构连接于所述Z轴方向调节结构上，所述Z轴方向调节结构连接于所述Z轴平面旋转结构上，所述Z轴平面旋转结构连接于所述X轴方向调节结构上；所述墨针打点结构通过所述Y轴平面夹角调节结构调整在Y轴向上的夹角，所述Z轴方向调节结构带动所述墨针打点结构在所述Z轴平面旋转结构上进行Z轴向上的滑动，所述Z轴平面旋转结构在所述X轴方向调节结构上进行旋转，通过所述X轴方向调节结构调节在X轴向上的位置。2.根据权利要求1所述的用于自动探针台的晶圆打点装置，其特征在于，所述X轴方向调节结构包括底座(101)、X轴滑块(102)以及固定螺栓(131)，所述X轴滑块(102)滑动连接于所述底座(101)上，所述X轴滑块(102)通过所述固定螺栓(131)调节滑动阻力；当所述固定螺栓(131)松弛时，所述底座(101)和所述X轴滑块(102)之间沿X轴自由滑动；当所述固定螺栓(131)锁紧时，所述底座(101)和所述X轴滑块(102)之间固定。3.根据权利要求2所述的用于自动探针台的晶圆打点装置，其特征在于，所述Z轴平面旋转结构包括Z轴旋转块(103)、操作杆(132)以及锁紧螺母(133)，所述Z轴旋转块(103)分别通过所述操作杆(132)和所述锁紧螺母(133)连接于所述X轴滑块(102)上转；当所述锁紧螺母(133)松弛时，所述Z轴旋转块(103)以所述锁紧螺母(133)为转动轴旋转；当所述锁紧螺母(133)紧固时，所述Z轴旋转块(103)转动阻力变大；当所述操作杆(132)松弛时，所述Z轴旋转块(103)以所述锁紧螺母(133)为转动轴旋转；当所述操作杆(132)紧固时，所述Z轴旋转块(103)和所述X轴滑块(102)之间相对固定。4.根据权利要求3所述的用于自动探针台的晶圆打点装置，其特征在于，所述Z轴方向调节结构包括Z轴限位块(104)、Z轴滑块(105)以及Z轴调节螺母(134)，所述Z轴滑块(105)通过所述Z轴调节螺母(134)滑动连接于所述Z轴限位块(104)上，所述Z轴限位块(104)连接于所述Z轴旋转块(103)上；当所述Z轴调...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志豪，
申请(专利权)人：淄博绿能芯创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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