温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，包括：晶圆吸盘和定位块；所述晶圆吸盘上设置多个所述定位块，多个所述定位块沿同一圆形周侧排布。本申请给晶圆放置边缘增加一个特殊的定位块结构，解决了使用多类型晶圆材料片时，晶圆吸盘为压缩...
该专利属于淄博绿能芯创电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过淄博绿能芯创电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。