【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体废气处理槽的刮刀装置，设于该废气处理槽的一入气管内，且该入气管具一废气入口及一连通该废气处理槽的废气出口，该入气管内部形成相连通的一前管道及一后管道，前管道连通废气入口，后管道连通废气出口，其特征在于： 后管道内具一受驱动往 复位移的刮刀，据以清除后管道内的附着物。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：冯五良，
申请(专利权)人：东服企业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。