下载半导体废气处理槽的刮刀装置的技术资料

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一种半导体废气处理槽的刮刀装置,设于该废气处理槽的一入气管内,且该入气管具一废气入口及一连通该废气处理槽的废气出口,该入气管呈弯曲状,而使入气管内部形成相连通的一前管道及一后管道,前管道连通废气入口,后管道连通废气出口,且后管道内对应于废气...
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