一种塑料工件表面镀膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种塑料工件表面镀膜的方法。所述方法包括如下步骤：(1)将塑料制品进行刻蚀处理，得到表面粗糙的塑料工件；(2)将表面粗糙的塑料工件放置真空镀膜机中，使用金属合金为靶材进行离子溅射处理，得到表面沉积金属膜层的塑料工件；(3)将表面沉积金属膜层的塑料工件上涂覆清漆膜层。本发明专利技术所述方法是通过刻蚀清除塑料工件表面的杂质，并在其表面构建粗糙结构，从而增强金属膜层在塑料工件上的附着，提高金属膜层与金属工件的结合力，防止金属膜层脱落，然后依次真空离子溅射工艺和涂覆清漆工艺分别在塑料工件表面自上而下设置金属膜层和清漆膜层，得到所述表面镀膜的塑料工件，膜层间结合力强，表面电阻率低，不产生静电。电。

【技术实现步骤摘要】
一种塑料工件表面镀膜的方法


[0001]本专利技术属于塑料工件镀膜
，具体涉及一种塑料工件表面镀膜的方法。

技术介绍

[0002]在芯片制造领域内，通常需要大量的塑料夹具，该种夹具材质较软能够防止半导体在加工的过程中造成的损害，但是塑料夹具在使用的过程中，会造成静电荷的积累，会产生放电效应，从而击穿芯片中的电路。传统的制造方法主要是对塑料纤维进行金属处理，即塑料与金属粉或塑料与金属薄板沉积制板以及金属对塑料内部进行浸注等方法，或是金属网或金属丝置入塑料内部压合成板，但上述方法均质性差，工业化效果不是很好。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种塑料工件表面镀膜的方法。本专利技术所述方法通过刻蚀、溅射沉积将金属沉积在塑料工件表面，得到的塑料工件表面金属膜附着力强，且表面电阻低，不产生静电。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种塑料工件表面镀膜的方法，包括如下步骤：
[0005](1)将塑料制品进行刻蚀处理，得到表面粗糙的塑料工件；
[0006](2)将表面粗糙的塑料工件放置真空镀膜机中，使用金属合金为靶材进行离子溅射处理，得到表面沉积金属膜层的塑料工件；
[0007](3)将表面沉积金属膜层的塑料工件上涂覆清漆膜层。
[0008]本专利技术首先通过刻蚀清除塑料工件表面的杂质，并在其表面构建粗糙结构，有利于金属膜层附着，可以提高金属膜层与金属工件的结合力，防止金属膜层脱落，然后联合真空离子溅射工艺和涂覆清漆工艺分别在塑料工件表面自上而下设置金属膜层和清漆膜层，得到所述表面镀膜的塑料工件，膜层间结合力强，表面电阻率低，不产生静电。
[0009]作为本专利技术的优选实施方式，所述步骤(1)中，刻蚀处理包括：开启刻蚀机真空泵，当真空度到3
‑
4Pa时，通入氩气和氧气，保持真空度为3
‑
4Pa，氧气流量为150
‑
200sccm，氩气流量为800
‑
900sccm，射频辉光时间为20
‑
30秒，腔内温度为60
‑
65℃，阴极射频频率为60
‑
120KHZ，阳极射频频率为26
‑
28MHZ。
[0010]本专利技术通过上述刻蚀工艺充分的使塑料工件表面残渣脱落分解，并使塑料工件表面形成凹凸不平的粗糙结构，使得金属镀膜能够较好的附着在其表面。
[0011]作为本专利技术的优选实施方式，所述表面粗糙的塑料工件为表面具有凹凸不平的网状结构。
[0012]作为本专利技术的优选实施方式，所述步骤(2)中，离子溅射处理具体参数为：真空镀膜机内真空度为5*10
‑2‑
8*10
‑2Pa时，充入氩气，氩气流量为550
‑
650sccm，当真空度达到4.5*10
‑2‑
5.5*10
‑2Pa，电压为0.5
‑
1.5KV、电流为15
‑
20A下，氩气产生电离，并轰击塑料工件的表面，轰击时间为90
‑
110s。
[0013]作为本专利技术的优选实施方式，所述金属合金包括如下重量份的组分：铝32
‑
38份、铬18
‑
23份、铜2
‑
8份、银8
‑
12份、镍0.01
‑
0.1份、钛0.5
‑
1.5份、金0.05
‑
0.1份。
[0014]因金属合金附着力强，而且结合致密，不容易损坏，本专利技术金属膜层采用金属合金的形式，金属合金种类多，利用各金属的特性，使得金属膜层强度提升，同时使得表面镀膜的塑料工件的性能多样化。本专利技术采用上述金属合金进行金属镀膜，得到的表面镀膜的塑料工件不仅强度高，与塑料工件和清漆膜层结合紧密，而且具有一定抗静电作用。
[0015]作为本专利技术的优选实施方式，所述金属膜层的厚度为1.0
‑
1.2μm。
[0016]所述金属膜层厚度保持在1.0
‑
1.2um，金属膜层的附着力和强度均最佳，若果超过这个范围，金属膜层比较脆，容易脱落。
[0017]作为本专利技术的优选实施方式，所述清漆包括如下重量份的组分：甲基丙烯酸甲酯5
‑
15份、丙烯腈2
‑
8份、丙烯酸月桂酯10
‑
20份、丙烯酸
‑2‑
乙基己酯5
‑
15份、甲基丙烯酸缩水甘油酯2
‑
8份、聚苯胺10
‑
15份、固化剂1
‑
5份、增稠剂1
‑
5份、石墨烯1
‑
5份、纳米抗静电材料1
‑
5份、偶联剂5
‑
10份。
[0018]本专利技术所述固化剂、增稠剂、纳米抗静电材料和偶联剂均是本领域常用试剂，可通过自制或市售购买。
[0019]本专利技术还要求保护采用所述塑料工件表面镀膜的方法制备的表面镀膜的塑料工件。
[0020]作为本专利技术的优选实施方式，所述表面镀膜的塑料工件为在塑料工件表面自下而上依次设置金属膜层、清漆膜层。
[0021]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：本专利技术所述塑料工件表面镀膜的方法是通过刻蚀清除塑料工件表面的杂质，并在其表面构建粗糙结构，从而增强金属膜层在塑料工件上的附着，提高金属膜层与金属工件的结合力，防止金属膜层脱落，然后依次真空离子溅射工艺和涂覆清漆工艺分别在塑料工件表面自上而下设置金属膜层和清漆膜层，得到所述表面镀膜的塑料工件，膜层间结合力强，表面电阻率低，不产生静电。
具体实施方式
[0022]为更好地说明本专利技术的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本专利技术作进一步说明。
[0023]实施例1
[0024]本专利技术一种塑料工件表面镀膜的方法，包括如下步骤：
[0025](1)利用刻蚀的方法，将塑料工件放在刻蚀机里进行预清洗：开启刻蚀机真空泵，当真空度到4Pa时，通入氩气和氧气，调节真空度为3Pa，氧气流量为180sccm，氩气流量为850sccm，射频辉光时间为25秒，腔内温度为62℃，阴极射频频率为90KHZ，阳极射频频率为27.12MHZ，得到表面粗糙的塑料工件；
[0026](2)将表面粗糙的塑料工件放置真空镀膜机中，使用金属合金为靶材进行离子溅射处理，得到表面沉积金属膜层的塑料工件；所述离子溅射处理具体参数为：真空镀膜机内真空度为6*10
‑2Pa时，充入氩气，氩气流量为600sccm，当真空度达到5*10
‑2Pa，电压为1.0KV、电流为18A下，氩气产生电离，并轰击塑料工件的表面，轰击时间为100s；所述金属合金包括如下重量份的组分：铝35份、铬20份、铜5份、银10份、镍0.05份、钛1份、金0.08份；所
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种塑料工件表面镀膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将塑料制品进行刻蚀处理，得到表面粗糙的塑料工件；(2)将表面粗糙的塑料工件放置真空镀膜机中，使用金属合金为靶材进行离子溅射处理，得到表面沉积金属膜层的塑料工件；(3)将表面沉积金属膜层的塑料工件上涂覆清漆膜层。2.如权利要求1所述塑料工件表面镀膜的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，刻蚀处理包括：开启刻蚀机真空泵，当真空度到3
‑
4Pa时，通入氩气和氧气，保持真空度为3
‑
4Pa，氧气流量为150
‑
200sccm，氩气流量为800
‑
900sccm，射频辉光时间为20
‑
30秒，腔内温度为60
‑
65℃，阴极射频频率为60
‑
120KHZ，阳极射频频率为26
‑
28MHZ。3.如权利要求1所述塑料工件表面镀膜的方法，其特征在于，所述表面粗糙的塑料工件为表面具有凹凸不平的网状结构。4.如权利要求1所述塑料工件表面镀膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，离子溅射处理具体参数为：真空镀膜机内真空度为5*10
‑2‑
8*10
‑2Pa时，充入氩气，氩气流量为550
‑
650sccm，当真空度达到4.5*10
‑2‑
5.5*10
‑2Pa，电压为0.5
‑
1.5KV、电流为15
‑
20A下，氩气产生电离，并轰击塑料工件的表面，轰击时间为90

【专利技术属性】
技术研发人员：支向奇，
申请(专利权)人：东莞新科技术研究开发有限公司，
类型：发明
国别省市：