一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括：滚筒本体、用于承载限位滚筒本体的承接机构及承接机构外设置其传动作用的传动齿轮；所述滚筒本体的内侧中心对称设置有定位挡板；所述承接机构设置在滚筒本体的外侧，且承接机构由连接板、支撑杆、限位块和加热管构成。该均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，便于对该滚筒进行拆装更换，以便达到方便清洗，并便于减少对镀膜物件转动产生的损伤，使之使用寿命长的目的，便于使滚筒本体带动其内容纳腔的物件进行转动，以此通过提高待镀膜物件与成膜物质接触面积，来使待镀膜物件镀膜均匀，并提高镀膜效率，以及便于使加热管对镀膜物件进行加热提高成膜效率。行加热提高成膜效率。行加热提高成膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒


[0001]本技术涉及溅射镀膜机
，具体为一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜主要用于电子工业、磁性材料及记录介质、光学及光导通讯等，是真空镀膜的方法之一，其是通过将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材结构，产生阴极溅射，把靶材结构原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，而滚筒是镀膜过程中常用的工件。
[0003]如授权公告号为CN211142147U的中国技术专利公开了一种溅射镀膜一体机用滚筒，属于溅射镀膜设备
，包括滚筒本体、两个滚轮、两个圆环形齿轮、若干支撑导柱和挡板组件，所述滚筒本体内部设有供待镀膜物品承放的容纳腔，所述滚筒本体的侧壁上设有与容纳腔连通的圆形贯穿槽，两个所述滚轮分别安装在滚筒本体的两端，两个所述圆环形齿轮分别安装在滚筒本体的两侧，若干所述支撑导柱围绕着所述滚筒本体的轴线方向均匀设置，所述挡板组件设置在滚筒本体的内圆周壁上，本申请在镀膜的过程中滚动，则能让容纳腔内的大量物件跟随着滚筒本体转动，增加所有的待镀膜的物件与成膜物质的接触面积，提高镀膜的均匀性。
[0004]但现有的溅射镀膜机用滚筒，在使用过程中，一般不便于对滚筒进行拆装更换，难以进行清洗，且在对镀膜物件转动时易产生损伤，难以使之使用寿命长，以及不便于对镀膜物件进行加热，难以提高成膜效率，因此，我们提出一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，以解决上述
技术介绍
中提出现有的溅射镀膜机用滚筒，在使用过程中，一般不便于对滚筒进行拆装更换，难以进行清洗，且在对镀膜物件转动时易产生损伤，难以使之使用寿命长，以及不便于对镀膜物件进行加热，难以提高成膜效率的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括：滚筒本体、用于承载限位滚筒本体的承接机构及承接机构外设置其传动作用的传动齿轮；
[0007]还包括：
[0008]所述滚筒本体的内侧中心对称设置有定位挡板；
[0009]所述承接机构设置在滚筒本体的外侧，且承接机构由连接板、支撑杆、限位块和加热管构成；
[0010]所述传动齿轮通过螺钉固定在连接板的外侧；
[0011]加热管，所述加热管镶嵌安装在连接板的内端内侧，且加热管的外侧直径尺寸小
于滚筒本体的内侧直径尺寸；
[0012]不锈钢板，所述不锈钢板位于定位挡板的内侧，且不锈钢板的外侧粘贴固定有橡胶垫。
[0013]优选的，所述承接机构关于滚筒本体中心对称设置，且连接板通过螺钉与滚筒本体固定连接。
[0014]优选的，所述支撑杆和限位块均与连接板为固定一体化结构，且支撑杆在连接板的一端等间距设置，并且支撑杆的高度尺寸与滚筒本体的高度尺寸相同。
[0015]优选的，所述限位块与滚筒本体贴合连接，且传动齿轮的内侧直径尺寸大于滚筒本体和连接板的内侧直径尺寸。
[0016]优选的，所述不锈钢板与滚筒本体为固定连接，且不锈钢板呈倾斜状结构。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，便于对该滚筒进行拆装更换，以便达到方便清洗，并便于减少对镀膜物件转动产生的损伤，使之使用寿命长的目的，便于使滚筒本体带动其内容纳腔的物件进行转动，以此通过提高待镀膜物件与成膜物质接触面积，来使待镀膜物件镀膜均匀，并提高镀膜效率，以及便于使加热管对镀膜物件进行加热提高成膜效率；
[0018]1.设置有滚筒本体、承接机构、连接板和支撑杆，由于滚筒本体的外侧中心对称设置有由连接板、支撑杆、限位块和加热管构成的承接机构，连接板与滚筒本体为螺钉固定，而连接板的外侧螺钉固定有传动齿轮，因此便于对该滚筒进行拆装更换，以便达到方便清洗，使之使用寿命长的目的；
[0019]2.设置有滚筒本体、连接板、加热管和传动齿轮，由于滚筒本体和传动齿轮均通过螺钉与连接板固定，连接板的内侧镶嵌安装有加热管，而滚筒本体的内侧中心对称固定有由不锈钢板和橡胶垫构成的定位挡板，橡胶垫粘贴固定在不锈钢板的外侧，因此便于使滚筒本体带动其内容纳腔的物件进行转动，以此通过提高待镀膜物件与成膜物质接触面积，来使待镀膜物件镀膜均匀，并提高镀膜效率，以及便于使加热管对镀膜物件进行加热提高成膜效率，并便于减少对镀膜物件转动产生的损伤。
附图说明
[0020]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0021]图2为本技术正视结构示意图；
[0022]图3为本技术俯视剖面结构示意图；
[0023]图4为本技术俯视结构示意图；
[0024]图5为本技术承接机构的整体结构示意图；
[0025]图6为本技术定位挡板的内部结构示意图。
[0026]图中：1、滚筒本体；2、承接机构；3、连接板；4、支撑杆；5、限位块；6、加热管；7、传动齿轮；8、定位挡板；9、不锈钢板；10、橡胶垫。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
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6，本技术提供一种技术方案：一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括滚筒本体1、承接机构2、连接板3、支撑杆4、限位块5、加热管6、传动齿轮7、定位挡板8、不锈钢板9和橡胶垫10，在使用该均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒时，如图1、图2、图4和图5，首先可将滚筒本体1放置于一个承接机构2上，使之与承接机构2内的连接板3和限位块5贴合连接，并可通过螺钉将连接板3与滚筒本体1固定连接，再可将另一承接机构2嵌套设置在滚筒本体1的另一半，使得连接板3和限位块5与滚筒本体1贴合连接，并将连接板3与滚筒本体1螺钉固定，接着可将传动齿轮7放置在连接板3的外侧，使传动齿轮7在中心与滚筒本体1和连接板3的中心处于同一垂直线上，再可通过螺钉将传动齿轮7与滚筒本体1固定，从而便于完成对该滚筒的组装；
[0029]如图1、图3和图6，在对该滚筒使用的过程中，可将待镀膜物件放置于滚筒本体1的内侧，再可通过驱动机构带动传动齿轮7进行转动，便于使传动齿轮7经过连接板3带动滚筒本体1进行转动，使得滚筒本体1带动其内容纳腔的物件进行转动，由于滚筒本体1的内侧中心对称设置有与之固定连接的定位挡板8，而定位挡板8由不锈钢板9和不锈钢板9外粘贴固定的橡胶垫10构成，因此便于使得定位挡板8对待镀膜物件进行拨动，以此提高待镀膜物件与成膜物质接触面积，从而便于使待镀膜物件镀膜均匀，并便于提高镀膜效率，且通过橡胶垫10的自身弹性，便于减少对镀膜物件转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括：滚筒本体（1）、用于承载限位滚筒本体（1）的承接机构（2）及承接机构（2）外设置其传动作用的传动齿轮（7）；其特征在于，还包括：所述滚筒本体（1）的内侧中心对称设置有定位挡板（8）；所述承接机构（2）设置在滚筒本体（1）的外侧，且承接机构（2）由连接板（3）、支撑杆（4）、限位块（5）和加热管（6）构成；所述传动齿轮（7）通过螺钉固定在连接板（3）的外侧；加热管（6），所述加热管（6）镶嵌安装在连接板（3）的内端内侧，且加热管（6）的外侧直径尺寸小于滚筒本体（1）的内侧直径尺寸；不锈钢板（9），所述不锈钢板（9）位于定位挡板（8）的内侧，且不锈钢板（9）的外侧粘贴固定有橡胶垫（10）。2.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，
申请(专利权)人：成都四盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：