一种一体成型电感制备用的离子溅射机制造技术

本实用新型专利技术涉及电感制备技术领域，尤其涉及一种一体成型电感制备用的离子溅射机。其技术方案包括：壳体和密封盖，壳体的顶部一侧固定安装有固定座，且固定座的顶部固定安装有加工罐，密封盖的底部固定安装有离子发射器，且密封盖的后侧固定连接有调节板，调节板的顶部固定安装有调节马达，且固定座的后侧固定安装有电动推杆，壳体的内部固定安装有离子主机，且离子主机的后侧固定安装有真空泵。本实用新型专利技术通过各种结构的组合使得本溅射机在使用时可以对加工罐进行自动开启与关闭，便于主管人员对电感进行放置与取出，且本溅射机可以在对电感镀膜时进行旋转，从而提高了对电感镀膜时的均匀性。的均匀性。的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种一体成型电感制备用的离子溅射机


[0001]本技术涉及电感制备
，具体为一种一体成型电感制备用的离子溅射机。

技术介绍

[0002]器(Inductor)是能够把电能转化为磁能而存储起来的，电感器的结构类似于变压器，但只有一个绕组，电感器具有一定的电感，它只阻碍的变化，电感再制备时需要离子溅射机对其表面进行镀膜，现有的离子溅射机的结构较为简单，在使用时需要工作人员手动进行开启，不具备自动对溅射机的加工机构进行开启的功能，因此我们提出一种一体成型电感制备用的离子溅射机。
[0003]经检索，专利公告号为CN204125522U公开了一种石英晶片多层离子溅射镀膜机，它包括从左往右依次连接的第一腔体、第二腔体和第三腔体，所述的第一腔体、第二腔体和第三腔体内均设置有电场发生器和磁场发生器，所述的第一腔体上方设置有铬靶，第二腔体上方设置有铝靶，第三腔体上方设置有金靶，所述的第一腔体与第二腔体连接处以及第二腔体与第三腔体的连接处均设置有一隔板，隔板中间位置开设有通孔，现有的技术中CN204125522U在使用的过程中的结构较为简单，在使用时不具备对加工溅射机构进行自动开启的功能，只能通过工作人员手动进行开启，同时溅射镀膜作业时不具备对电感进行旋转的功能，从而在对电感镀膜时会出现不均匀的情况，鉴于此我们提出一种一体成型电感制备用的离子溅射机来解决现有的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种一体成型电感制备用的离子溅射机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种一体成型电感制备用的离子溅射机，包括壳体和密封盖，所述壳体的顶部一侧固定安装有固定座，且固定座的顶部固定安装有加工罐，所述密封盖的底部固定安装有离子发射器，且密封盖的后侧固定连接有调节板，所述调节板的顶部固定安装有调节马达，且固定座的后侧固定安装有电动推杆，所述壳体的内部固定安装有离子主机，且离子主机的后侧固定安装有真空泵，所述固定座的顶部固定安装有真空管，且固定座的内部固定安装有转动马达，所述转动马达的输出端固定连接有传动杆，且传动杆的顶部固定连接有支撑座。
[0006]使用本技术方案的一种一体成型电感制备用的离子溅射机，固定座可以对加工罐进行固定，固定座的内部通过螺栓固定安装有转动马达，转动马达的输出端固定连接有贯穿固定座的传动杆，且传动杆的顶部固定连接有支撑座，支撑座可以对电感进行支撑放置，从而便于溅射机对电感进行镀膜作业，同时转动马达带支撑座与电感旋转增加了溅射机对电感镀膜时的均匀性，密封盖可以对加工罐的顶部进行闭合，且密封盖的底部固定安装有离子发射器，壳体内部的前侧固定安装有离子主机，离子主机通过导线与离子发射器连接，
从而通过离子主机与离子发射器可以对支撑座顶部放置是电感进行镀膜作业，固定座的后侧固定安装有电动推杆，密封盖的后侧固定安装有调节板，且调节板的顶部固定安装有调节马达，调节马达的输出端与电动推杆的输出端固定连接，从而通过电动推杆的伸展可以对密封盖进行抬升开启，同时调节马达通过转动有对密封盖进行旋转，从而便于工作人员对加工罐放置电感或是取出电感，真空泵通过气管与真空管连接，从而通过真空泵与真空管配合可以对加工罐的内部进行抽真空作业，便于溅射机在低气压环境下对电感进行镀膜作业。
[0007]优选的，所述壳体内部的后侧固定安装有PLC控制器，且密封盖顶部的后侧固定安装有电动气阀。PLC控制器可以对调节马达、转动马达、电动推杆、电动气阀连接，从而可以对其进行控制，同时通过电动气阀可以对自动对加工罐的内部进行放气，从而便于电动推杆对密封盖进行开启。
[0008]优选的，所述支撑座的顶部固定连接多组真空吸盘，且传动杆的外壁套设有导气环。真空泵通过气管与导气环的输入端连接，且导气环的输出端通过气管与真空吸盘连接，从而通过真空吸盘可以对支撑座顶部的电感进行真空吸附固定，导气环便于支撑座旋转时导致气管缠绕在传动杆外部的气孔。
[0009]优选的，所述壳体的一侧固定安装有密封板，且密封板的一侧均布设置有通风孔。密封板可以对壳体的一侧进行闭合密封，同时便于工作人员后去对溅射机的内部进行检修维护，通风孔可以对溅射机的内部进行通风散热。
[0010]优选的，所述壳体什么一侧的上方固定安装有显示屏，且显示屏的一侧固定安装有控制按钮，固定座顶部的一侧固定安装有真空传感器，且壳体正面的另一侧固定安装有压力表。显示屏可以对溅射机作业时的状态进行显示，控制按钮可以对溅射机进行操纵控制，真空传感器可以对加工罐内部的真空压力进行检测，压力表可以对真空传感器检测的数据进行显示。
[0011]优选的，所述壳体正面的一侧固定安装有电源按钮，且壳体底部的四周固定安装有支撑垫。电源按钮可以对溅射机的开启与关闭进行控制，同时支撑垫可以对溅射机放置时的底部进行支撑，增加了溅射机在使用时的稳定性。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、通过设置加工罐与密封盖、电动推杆、调节马达配合，加工罐可以对在溅射机对电感表面镀膜时进行保护，同时通过密封盖可以对加工罐的顶部进行闭合，从而便于溅射机内的抽真空机构对加工罐的内部进行抽真空作业，电动推杆通过伸展可以对密封盖进行抬升，同时通过调节马达可以对抬升的密封盖进行旋转，从而实现了对溅射机进行自动开启的功能。
[0014]2、通过设置固定座与转动马达、支撑座、真空吸盘配合，固定座可以对加工罐的底部进行固定，同时通过支撑座可以对电感进行支撑，从而便于溅射机对电感的表面进行镀膜作业，同时转动马达可以带动支撑座与电感进行转动，从而增加了对电感镀膜时的均匀性，真空吸盘可以对电感放置在支撑座上时进行真空吸附，从而增加了溅射机对电感镀膜时的稳定性。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体图；
[0016]图2为本技术的密封盖开启结构示意图；
[0017]图3为本技术的侧面内部结构示意图；
[0018]图4为本技术的固定座剖面结构示意图。
[0019]图中：1、壳体；101、支撑垫；2、密封板；201、通风孔；3、电源按钮；4、压力表；5、控制按钮；6、显示屏；7、固定座；8、加工罐；9、密封盖；901、调节板；10、电动推杆；11、电动气阀；12、调节马达；13、离子发射器；14、离子主机；15、真空泵；16、PLC控制器；17、转动马达；1701、传动杆；18、真空管；19、真空传感器；20、导气环；21、支撑座；2101、真空吸盘。
具体实施方式
[0020]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0021]实施例一
[0022]如图1、图2、图3和图4所示，本技术提出的一种一体成型电感制备用的离子溅射机，包括壳体1和密封盖9，壳体1的顶部一侧固定安装有固定座7，且固定座7的顶部固定安装有加工罐8，密封盖9的底部固定安装有离子发射器13，且密封盖9的后侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体成型电感制备用的离子溅射机，包括壳体(1)和密封盖(9)，其特征在于：所述壳体(1)的顶部一侧固定安装有固定座(7)，且固定座(7)的顶部固定安装有加工罐(8)，所述密封盖(9)的底部固定安装有离子发射器(13)，且密封盖(9)的后侧固定连接有调节板(901)，所述调节板(901)的顶部固定安装有调节马达(12)，且固定座(7)的后侧固定安装有电动推杆(10)，所述壳体(1)的内部固定安装有离子主机(14)，且离子主机(14)的后侧固定安装有真空泵(15)，所述固定座(7)的顶部固定安装有真空管(18)，且固定座(7)的内部固定安装有转动马达(17)，所述转动马达(17)的输出端固定连接有传动杆(1701)，且传动杆(1701)的顶部固定连接有支撑座(21)。2.根据权利要求1所述的一种一体成型电感制备用的离子溅射机，其特征在于：所述壳体(1)内部的后侧固定安装有PLC控制器(16)，且密封盖(9)顶部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高明明，
申请(专利权)人：深圳市鑫达高电子有限公司，
类型：新型
国别省市：