一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，包括溅射镀膜机本体、活动安装板和连接机构，所述溅射镀膜机本体的内部安装有掩膜片本体，且掩膜片本体外侧的边缘处设置有固定框，所述活动安装板与固定框之间通过卡槽的方式相连接，且活动安装板呈“U”字形结构，并且活动安装板远离掩膜片本体垂直中轴线一侧的中部开设有具有限位作用的固定槽，所述连接机构用于对活动安装板与溅射镀膜机本体之间进行限位。该便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，便于将掩膜片本体安装咋子溅射镀膜机本体的内部，紧固性好，防止掩膜片本体在溅射镀膜机本体的内部产生松脱，同时便于对掩膜片本体进行拆卸更换。拆卸更换。拆卸更换。

【技术实现步骤摘要】
一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机


[0001]本技术涉及溅射镀膜机相关
，具体为一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]溅射镀膜机指的是一种用于物理学领域的工艺试验仪器，被广泛用在生产LCD、OLED、TP等元器件，掩膜片是溅射镀膜机内部非常重要的元器件置于，在镀膜过程中发挥着重要的作用；
[0003]但是，通常所使用的溅射镀膜机，在实际使用过程中，对掩膜片的固定效果不好，使得掩膜片在使用过程中容易产生松脱，而且不方便对掩膜片进行拆卸更换；
[0004]为此我们提出了一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，用来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的通常所使用的溅射镀膜机，在实际使用过程中，对掩膜片的固定效果不好，使得掩膜片在使用过程中容易产生松脱，而且不方便对掩膜片进行拆卸更换的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，包括溅射镀膜机本体，所述溅射镀膜机本体的内部安装有掩膜片本体，且掩膜片本体外侧的边缘处设置有固定框，并且固定框与掩膜片本体之间通过紧固螺栓进行固定；
[0007]其中，所述固定框在掩膜片本体的外侧呈等角度设置；
[0008]还包括：
[0009]活动安装板，所述活动安装板与固定框之间通过卡槽的方式相连接，且活动安装板呈“U”字形结构，并且活动安装板远离掩膜片本体垂直中轴线一侧的中部开设有具有限位作用的固定槽；
[0010]连接机构，所述连接机构用于对活动安装板与溅射镀膜机本体之间进行限位，且活动安装板通过活动柱和连接机构带动掩膜片本体在溅射镀膜机本体的内部构成拆卸结构。
[0011]优选的，所述活动安装板靠近掩膜片本体垂直中轴线一侧的中部开设有连接槽，且连接槽的中部插接有用于连接的活动柱，并且活动柱的外表面套设有第一弹簧。
[0012]优选的，所述活动柱与固定框之间通过转动的方式相连接，且活动柱用于对固定框与活动安装板之间进行连接与限位。
[0013]优选的，所述活动安装板远离掩膜片本体垂直中轴线的一侧贯穿连接在支撑板的中部，且支撑板固定连接在溅射镀膜机本体的内侧壁上。
[0014]优选的，所述连接机构与活动安装板之间呈一一对应设置；
[0015]其中，所述连接机构包括呈“L”形结构的连接板、设置在所述连接板与支撑板连接处的第二弹簧、固定连接在所述连接板上端的辅助块、呈“U”字形结构的固定杆和具有限位
作用的固定帽。
[0016]优选的，所述连接板与支撑板之间通过滑动的方式相连接，且连接板的下端卡合连接在固定槽中，并且连接板与第二弹簧的活动端固定连接。
[0017]优选的，所述连接板带动辅助块与固定杆之间构成滑动结构，且固定杆固定连接在支撑板的上端。
[0018]优选的，所述固定杆与固定帽之间通过螺纹的方式相连接，且固定帽贴合设置在辅助块的内侧面。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，在实际使用过程中，通过活动柱和活动安装板的设置，便于将掩膜片本体安装咋子溅射镀膜机本体的内部，紧固性好，防止掩膜片本体在溅射镀膜机本体的内部产生松脱，并且结合连接机构的设置，连接机构包括连接板、第二弹簧、辅助块、固定杆和固定帽，通过连接机构的设置，能够进一步提升掩膜片本体在溅射镀膜机本体内部安装的稳固性，同时便于对掩膜片本体进行拆卸更换，操作简单方便；
[0020]1、设有固定框和活动安装板，固定框通过紧固螺栓等角度固定在掩膜片本体的外侧，结合活动安装板与固定框之间通过卡槽的方式相连接，便于将掩膜片本体安装在溅射镀膜机本体的内部，结构简单，使用非常方便；
[0021]2、设有活动柱和支撑板，通过活动柱与固定框之间进行转动，能够非常便捷的对活动安装板与固定框之间进行连接与限位，防止掩膜片本体在溅射镀膜机本体的内部产生松脱；
[0022]3、设有连接机构，连接机构在溅射镀膜机本体的内部呈等角度设置，连接机构包括连接板、第二弹簧、辅助块、固定杆和固定帽，通过连接机构的设置，便于对掩膜片本体在溅射镀膜机本体的内部进行拆卸更换。
附图说明
[0023]图1为本技术正视剖切结构示意图；
[0024]图2为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0025]图3为本技术掩膜片本体、固定框和活动柱连接俯视结构示意图；
[0026]图4为本技术连接槽、活动柱和活动安装板连接正视结构示意图；
[0027]图5为本技术连接板、辅助块和固定杆连接正视结构示意图。
[0028]图中：1、溅射镀膜机本体；2、掩膜片本体；3、固定框；4、紧固螺栓；5、连接槽；6、活动柱；7、第一弹簧；8、活动安装板；9、固定槽；10、连接机构；11、连接板；12、第二弹簧；13、辅助块；14、固定杆；15、固定帽；16、支撑板。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜
机，包括溅射镀膜机本体1、掩膜片本体2、固定框3、紧固螺栓4、连接槽5、活动柱6、第一弹簧7、活动安装板8、固定槽9、连接机构10、连接板11、第二弹簧12、辅助块13、固定杆14、固定帽15和支撑板16。
[0031]在使用该便于拆装掩膜片的溅射镀膜机时，如图1、图2和图3所示，首先通过固定框3将固定框3固定安装在掩膜片本体2的侧面边缘处，并且固定框3远离掩膜片本体2垂直中轴线的一侧贯穿连接有活动柱6，活动柱6的外表面套设有第一弹簧7，首先按压活动柱6，活动柱6与固定框3之间进行转动，然后将活动柱6靠近掩膜片本体2垂直中轴线的恶意侧插进活动安装板8侧面开设的连接槽5中，第一弹簧7的活动端与固定框3的外侧面接触但不固定，然后转动活动柱6，活动柱6在固定框3的外侧以及连接槽5的内部进行转动，转动90
º
后，松开活动柱6，此时第一弹簧7恢复弹性形变，带动活动柱6与固定框3之间进行滑动，使得固定框3与活动安装板8之间呈如图2所示的状态，活动柱6对固定框3与活动安装板8之间进行连接与限位；
[0032]然后再将掩膜片本体2置于溅射镀膜机本体1内部的相应位置，结合连接机构10的设置，如图1、图2、图4和图5所示，连接机构10包括呈“L”形结构的连接板11、设置在连接板11与支撑板16连接处的第二弹簧12、固定连接在连接板11上端的辅助块13、呈“U”字形结构的固定杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，包括溅射镀膜机本体（1），所述溅射镀膜机本体（1）的内部安装有掩膜片本体（2），且掩膜片本体（2）外侧的边缘处设置有固定框（3），并且固定框（3）与掩膜片本体（2）之间通过紧固螺栓（4）进行固定；其中，所述固定框（3）在掩膜片本体（2）的外侧呈等角度设置；其特征在于，还包括：活动安装板（8），所述活动安装板（8）与固定框（3）之间通过卡槽的方式相连接，且活动安装板（8）呈“U”字形结构，并且活动安装板（8）远离掩膜片本体（2）垂直中轴线一侧的中部开设有具有限位作用的固定槽（9）；连接机构（10），所述连接机构（10）用于对活动安装板（8）与溅射镀膜机本体（1）之间进行限位，且活动安装板（8）通过活动柱（6）和连接机构（10）带动掩膜片本体（2）在溅射镀膜机本体（1）的内部构成拆卸结构。2.根据权利要求1所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述活动安装板（8）靠近掩膜片本体（2）垂直中轴线一侧的中部开设有连接槽（5），且连接槽（5）的中部插接有用于连接的活动柱（6），并且活动柱（6）的外表面套设有第一弹簧（7）。3.根据权利要求2所述的一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，其特征在于：所述活动柱（6）与固定框（3）之间通过转动的方式相连接，且活动柱（6）用于对固定框（3）与活动安装板（8）之间进行连接与限位。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，
申请(专利权)人：成都四盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：