一种升华磁控溅射镀膜一体机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种升华磁控溅射镀膜一体机，属于溅射镀膜设备技术领域，包括蒸发室、工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置、定位压紧装置和控制柜，所述工件驱动装置上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒，所述承载筒能够在工件驱动装置的驱动下沿着蒸发室的长度方向移动，所述溅射镀膜装置的输出端罩设在承载筒上，所述水冷装置的输出端与蒸发室连通，所述工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置和定位压紧装置均与控制柜电性连接。本实用新型专利技术能实现对整个镀膜环境温度进行控制，提高镀膜完成物件的合格率，二者通过两组压紧部件以及抽真空设备持续实现蒸发室内真空效果，避免在镀膜过程中蒸发室内的真空程度不稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种升华磁控溅射镀膜一体机
本技术涉及溅射镀膜设备
，特别涉及一种升华磁控溅射镀膜一体机。
技术介绍
目前市场上生产LCD、OLED、TP等元器件中材料很多例如：SiO2、SIN、TiO2、ITO、IZO、金属等常用膜层材料都会用到真空磁控溅射镀膜机(PVD)；真空溅镀设备一般由阴极系统，真空系统、传送系统等部分组成；真空镀膜的核心在于连续稳定的真空腔体中制备均匀的所需膜层，目前的设备和基板都往大尺寸方向发展，就需要更少的真空腔体开腔频率，更均匀的膜层均匀行来保证设备高效稳定的运行。磁控溅射镀膜在该领域是一种大面积的镀膜技术，被镀工件的镀膜面积大到几平方米，一套镀膜设备要考虑整个生产能力和质量的平稳，它所面临的主要问题有，一方面现有设备实际对物件镀膜过程中，存在镀膜环境温度控制不精准，真空环境保持不稳定的情况发生，另一方面，现有设备只能完成单种模式的真空镀膜作业，无法根据需要完成多种形式的镀膜作业。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种升华磁控溅射镀膜一体机。为解决上述问题，本技术提供以下技术方案：一种升华磁控溅射镀膜一体机，包括蒸发室、工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置、定位压紧装置和控制柜，所述定位压紧装置分别设置在蒸发室的两端，所述溅射镀膜装置和工件驱动装置均设置在蒸发室内，所述工件驱动装置上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒，所述承载筒能够在工件驱动装置的驱动下沿着蒸发室的长度方向移动，所述溅射镀膜装置的输出端罩设在承载筒上，所述水冷装置的输出端与蒸发室连通，所述工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置和定位压紧装置均与控制柜电性连接。所述蒸发室包括呈圆柱形结构的箱体、机架和两个门板，所述机架安装在箱体的底部，两个所述门板分别与箱体的两侧铰接，每个所述门板的内侧壁上均设有能与箱体内侧壁紧密贴合的密封橡胶圈，每个所述门板上均设有观察窗，所述水冷装置包括通水护罩、冷水接入管道和热水接入管道，所述通水护罩包裹在箱体的外部，所述冷水接入管道和热水接入管道分别与通水护罩的两端连通。所述溅射镀膜装置包括升华组件、磁控溅射组件和工件烘烤组件，所述工件烘烤组件设置在箱体的内侧壁上，所述磁控溅射组件安装在箱体内且与承载筒的位置对接，所述升华组件安装在两个门板上且其输出端贯穿门板，最终设置在门板的内侧壁上。所述工件烘烤组件包括若干组沿着箱体的轴线方向间隔设置的环形加热网，每个所述环形加热网均安装在箱体的内侧壁上，所述磁控溅射组件包括第一溅射电源、第二溅射电源和挡板部，所述第一溅射电源和第二溅射电源分别设置在箱体内部的两端，所述挡板部设置在箱体内且罩设在承载筒上。所述工件驱动装置包括移动承载部件、竖向定位部件和横向驱动部件，所述移动承载部件设置在箱体内且设置方向与箱体的延伸方向相同，所述承载筒设置在移动承载部件的顶部，所述移动承载部件安装在横向驱动部件的输出端上，所述竖向定位部件安装在机架的顶部且输出端向箱体内延伸，所述横向驱动部件与竖向定位部件传动连接。所述移动承载部件包括承载小车、承载驱动组件和两个承载传动组件，两个所述承载传动组件对称安装在箱体内底部，所述承载驱动组件与其中一个承载传动组件传动连接，两个承载传动组件之间构成供承载筒装载的容纳空间，所述承载小车设置在两个承载传动组件之间，在安装状态下，所述承载筒与承载小车的顶部紧密贴合。每个所述承载传动组件包括传动主轴、传动套轴和两个第一轴承座，两个所述第一轴承座对称安装在箱体内底部的两端，所述传动套轴的两端分别与两个第一轴承座转动连接，所述传动主轴贯穿传动套轴设置且与传动套轴的内部空间紧密贴合，所述承载驱动组件包括第一伞齿、第二伞齿和第一驱动电机，所述第一伞齿套设在其中一个传动主轴上，所述第一伞齿与第二伞齿啮合，所述第一驱动电机安装在箱体内，所述第二伞齿与第一驱动电机的主轴固定连接。所述竖向定位组件包括横向定位板、驱动定位板、薄型气缸和三个延伸驱动座，三个所述延伸驱动座间隔设置在箱体外底部，每个所述延伸驱动座的输出端沿着竖直方向贯穿箱体且向其内部延伸，所述横向定位板设置在箱体内底部且与三个延伸驱动座的输出端固定连接，所述驱动定位板设置在其中两个延伸驱动座的底部且位于机架的顶部，所述薄型气缸设置在机架上，所述薄型气缸的输出端与驱动定位板的底部固定连接。所述横向驱动组件包括第二驱动电机、第三伞齿、第四伞齿和两个滑动辅助部，两个所述滑动辅助部对称设置在箱体内底部且位于承载传动组件的下方，每个所述滑动辅助部包括滑动导轨和两个第二轴承座，两个第二轴承座安装在横向定位板顶部的两端，所述滑动导轨安装在两个第二轴承座上，所述第三伞齿安装在其中一个滑动导轨的端部，所述第二驱动电机安装在机架上且输出轴竖直向上，最终贯穿箱体向其内部延伸，所述第四伞齿安装在第二驱动电机的主轴上，所述第三伞齿与第四伞齿啮合。所述定位压紧装置包括两组压紧部件，两组所述压紧部件分别设置在两个箱门上，每个所述压紧部件包括矩形箱体、定位压紧板和横向驱动气缸，所述矩形箱体设置在箱门的外侧壁上，所述定位压紧板安装在矩形箱体的内部，所述横向驱动气缸安装在矩形箱体的上，且输出端与定位压紧板的侧壁固定连接，所述定位压紧板与箱门的外侧壁固定连接。有益效果：第一，本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修，整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装；蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热或冷却，则能实现对整个镀膜环境温度进行控制，提高镀膜完成物件的合格率，二者通过两组压紧部件以及抽真空设备持续实现蒸发室内真空效果，避免在镀膜过程中蒸发室内的真空程度不稳定。蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头，阀门采用气动，操作极为方便，使用可靠，采用水冷挡板可防止扩散泵返油，蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降到极低的程度；本设备配备的抽气元件抽速较大，主机与控电柜独立，采用积木化设计，各功能模块可根据不同用途任意组合，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等优点。第二，该镀膜机适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜、电子工业蒸镀各种金属薄膜、光学工业蒸镀各种介质膜、微电子及光学成膜
；是开展各种薄膜工艺研究的理想设备。附图说明图1为本技术的立体结构示意图；图2为本技术的局部结构示意图一；图3为本技术的局部结构示意图二；图4为本技术的局部剖视图一；图5为本技术的局部剖视图二。附图标记说明：蒸发室1，箱体1a，机架1b，门板1c，工件驱动装置2，承载小车2a，承载驱动组件2b，第一伞齿2b1，第二伞齿2b2，承载传动组件2c，传动主轴2c1，传动套轴2c2，第一轴承座2c3，横向定位板2d，驱动定位板2e，薄型气缸2f，延伸驱动座2g，第二驱动电机2h，第三伞齿2i，第四伞齿2j，滑动辅助部2k，滑动导轨2k1，第二轴承座2k2，溅射镀膜装置3，水冷装置4，定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：包括蒸发室（1）、工件驱动装置（2）、溅射镀膜装置（3）、水冷装置（4）、定位压紧装置（5）和控制柜（6），所述定位压紧装置（5）分别设置在蒸发室（1）的两端，所述溅射镀膜装置（3）和工件驱动装置（2）均设置在蒸发室（1）内，所述工件驱动装置（2）上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒（7），所述承载筒（7）能够在工件驱动装置（2）的驱动下沿着蒸发室（1）的长度方向移动，所述溅射镀膜装置（3）的输出端罩设在承载筒（7）上，所述水冷装置（4）的输出端与蒸发室（1）连通，所述工件驱动装置（2）、溅射镀膜装置（3）、水冷装置（4）和定位压紧装置（5）均与控制柜（6）电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：包括蒸发室（1）、工件驱动装置（2）、溅射镀膜装置（3）、水冷装置（4）、定位压紧装置（5）和控制柜（6），所述定位压紧装置（5）分别设置在蒸发室（1）的两端，所述溅射镀膜装置（3）和工件驱动装置（2）均设置在蒸发室（1）内，所述工件驱动装置（2）上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒（7），所述承载筒（7）能够在工件驱动装置（2）的驱动下沿着蒸发室（1）的长度方向移动，所述溅射镀膜装置（3）的输出端罩设在承载筒（7）上，所述水冷装置（4）的输出端与蒸发室（1）连通，所述工件驱动装置（2）、溅射镀膜装置（3）、水冷装置（4）和定位压紧装置（5）均与控制柜（6）电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述蒸发室（1）包括呈圆柱形结构的箱体（1a）、机架（1b）和两个门板（1c），所述机架（1b）安装在箱体（1a）的底部，两个所述门板（1c）分别与箱体（1a）的两侧铰接，每个所述门板（1c）的内侧壁上均设有能与箱体（1a）内侧壁紧密贴合的密封橡胶圈，每个所述门板（1c）上均设有观察窗，所述水冷装置（4）包括通水护罩、冷水接入管道和热水接入管道，所述通水护罩包裹在箱体（1a）的外部，所述冷水接入管道和热水接入管道分别与通水护罩的两端连通。


3.根据权利要求2所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述溅射镀膜装置（3）包括升华组件、磁控溅射组件和工件烘烤组件，所述工件烘烤组件设置在箱体（1a）的内侧壁上，所述磁控溅射组件安装在箱体（1a）内且与承载筒（7）的位置对接，所述升华组件安装在两个门板（1c）上且其输出端贯穿门板（1c），最终设置在门板（1c）的内侧壁上。


4.根据权利要求3所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述工件烘烤组件包括若干组沿着箱体（1a）的轴线方向间隔设置的环形加热网，每个所述环形加热网均安装在箱体（1a）的内侧壁上，所述磁控溅射组件包括第一溅射电源、第二溅射电源和挡板部，所述第一溅射电源和第二溅射电源分别设置在箱体（1a）内部的两端，所述挡板部设置在箱体（1a）内且罩设在承载筒（7）上。


5.根据权利要求4所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述工件驱动装置（2）包括移动承载部件、竖向定位部件和横向驱动部件，所述移动承载部件设置在箱体（1a）内且设置方向与箱体（1a）的延伸方向相同，所述承载筒（7）设置在移动承载部件的顶部，所述移动承载部件安装在横向驱动部件的输出端上，所述竖向定位部件安装在机架（1b）的顶部且输出端向箱体（1a）内延伸，所述横向驱动部件与竖向定位部件传动连接。


6.根据权利要求5所述的一种升华磁控溅射镀膜一体机，其特征在于：所述移动承载部件包括承载小车（2a）、承载驱动组件（2b）和两个承载传动组件（2c），两个所述承载传动组件（2c）对称安装在箱体（1a）内底部，所述承载驱动组件（2b）与其中一个承载传动组件（2c）传动连接，两个承载传动组件（2c）...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇，何飞，朱雪峰，
申请(专利权)人：成都四盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51