一种点蒸发源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种点蒸发源，涉及显示装置的制造技术领域，至少包括加热装置，加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝，重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部，固定组件至少包括保持架和间隔件，保持架设置有多个容置重复单元两个直线部的通孔，间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。本实用新型专利技术实施例提供了一种点蒸发源，点蒸发源的加热装置采用保持架和间隔件固定加热丝，保持架和间隔件共同防止加热丝变形错位，避免了穿丝工艺，不仅简化了制备工艺，提升了制造效率，而且避免了保持架的破碎，有效解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种点蒸发源
本技术涉及显示装置的制造
，更具体地，涉及一种点蒸发源。
技术介绍
随着有机发光二极管显示(OLED)技术的不断发展，OLED显示器件制作工艺越来越趋于成熟。OLED器件的制作主要有蒸镀、旋涂、喷墨打印等多种方式，其中，蒸镀方式是将装有镀膜材料的蒸发源放置在真空设备内，将镀膜材料进行蒸发喷出，使之在基板表面形成薄膜，蒸镀方式作为一种比较成熟的制备方法，已经运用于量产。目前，现有点蒸发源结构的加热装置通过穿丝工艺制备，不仅工艺复杂，效率低，而且易造成保持架破碎。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种点蒸发源，解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。为了达到上述目的，本技术实施例提供的点蒸发源至少包括加热装置，加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝，重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部，固定组件至少包括保持架和间隔件，保持架设置有多个容置重复单元两个直线部的通孔，间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。可选地，保持架为环状结构，通孔沿保持架周向均匀分布。可选地，通孔为腰型孔，腰型孔的半径与加热丝的半径适配。可选地，间隔件包括环形部，凸起设置于环形部上并向环形部中心位置延伸。可选地，保持架和间隔件为一组，固定组件至少包括两组保持架和间隔件，重复单元的两个端部位置分别至少设置一组保持架和间隔件。可选地，固定组件包括固定底盘和设置于固定底盘上的定位柱，定位柱包括定位台阶，保持架上设置供定位柱穿过的保持架定位孔，保持架卡接在定位台阶上。可选地，定位柱包括多节，多节半径依次增大，相邻两节的连接位置形成定位台阶。可选地，加热丝为多组并沿定位柱的延伸方向设置，保持架和间隔件为多组，每组加热丝与至少一组保持架和间隔件配合。可选地，还包括具有至少一端开口的冷却腔的冷却装置，加热装置设置于冷却腔内，冷却装置包括水冷套，水冷套包括内套和外套，内套和外套的端部密封连接，内套和外套之间形成过水夹层，水冷套的出水管和进水管位于水冷套远离开口的一端，出水管位于过水夹层内的端口靠近水冷套的开口并设置斜切角。可选地，水冷套远离开口的一端设置固定柱，水冷套通过固定柱固定在蒸发腔室内。本技术实施例提供了一种点蒸发源，点蒸发源的加热装置采用保持架和间隔件固定加热丝，保持架和间隔件共同防止加热丝变形错位，避免了穿丝工艺，不仅简化了制备工艺，提升了制造效率，而且避免了保持架的破碎，有效解决现有结构制备工艺复杂、效率低且易造成保持架破碎的问题。本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本技术技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本技术的技术方案，并不构成对本技术技术方案的限制。图1为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的结构图；图2为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的加热装置的结构图；图3为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的保持架和间隔件组合图；图4为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的间隔件的结构图；图5为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的保持架的结构图；图6为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的加热装置安装过程图；图7为本技术一示例性实施例提供的点蒸发源的冷却装置的结构图。附图标记10—点蒸发源；100-冷却装置；110-外套；120-内套；130-法兰；140-入水管；150-出水管；200-加热装置；210-加热丝；211-直线部；212-连接部；220-保持架；221-通孔；222-保持架定位孔；223-保持架第二安装孔；230-间隔件；231-环形部；232-凸起；233-间隔件定位孔；234-间隔件第二安装孔；240-定位柱；241-定位台阶；250-固定底盘；251-过线孔；252-第一安装孔；300-真空法兰；311-入水管接头；312-出水管接头；321-正导电电极；322-负导电电极；331-第一热电偶接头；332-第二热电偶接头；410-边缘热电偶；420-中心热电偶；500-保温层；600-卡接件。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本技术的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。在一示例性实施例中，本技术实施例提供了一种点蒸发源10，如图1和图2所示，至少包括加热装置200，加热装置200为待蒸发材料提供热源，使得蒸发坩埚内的蒸发材料蒸发，加热装置200包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝210。如图1、图2和图6所示，加热丝210反复回转形成多个重复单元，加热丝210两端要预留一定长度并与真空法兰300上的正导电电极321和负导电电极322连接。加热丝210的整体结构为环形结构，环形结构内部形成加热腔，蒸发坩埚放置在环形结构内。加热丝210可以采用钨丝、钼丝或镍合金丝等。具体的，如图2所示，加热丝210的重复单元按偶数对称设计，多个重复单元等间距的排列。重复单元包括连接部212和两个间隔的直线部211，连接部212与两个直线部211的端部连接，形成类似U型的结构。可选的，两个直线部211平行设置，连接部212为弧形结构，弧形结构的两端与平行设置的直线部211的位于同侧的端部连接。固定组件用于固定加热丝210，防止加热丝210变形错位。固定组件至少包括保持架220和间隔件230。其中：保持架220为环形结构，保持架220的周向上设置多个通孔221，每个通孔221容置一个重复单元，即重复单元从通孔221穿过。保持架220采用绝缘材料制成，例如可以采用陶瓷材料制成，陶瓷材料绝缘性能好、耐高温以及在高温下的形变小。具体的，如图2和图5所示，通孔221沿保持架220周向均匀分布。通孔221的数量与加热丝210重复单元的数量相同，并且通孔221的间距与重复单元的间距相适应。可选的，通孔221为条形孔，优选的，通孔221为腰型孔，腰型孔的半径与加热丝210的半径适配。这样，当加热丝210限位在间隔件230和通孔221之间时，可以防止加热丝210位移过大造成的加热不均匀。需要说明的时，腰型孔的半径与加热丝210的半径适配可以理解为腰型孔的半径与加热丝210的半径相同或腰型孔的半径比加热丝210的半径略大。腰型孔的横截面是由两条平行线和设置于两条平行线端部的两个半圆围成。间隔件230设置有多个卡设在两个直线部211之间的凸起232。凸起232与通孔221本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种点蒸发源，至少包括加热装置，其特征在于：所述加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝，所述重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部，所述固定组件至少包括保持架和间隔件，所述保持架设置有多个容置所述重复单元两个直线部的通孔，所述间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。/n

【技术特征摘要】
1.一种点蒸发源，至少包括加热装置，其特征在于：所述加热装置包括固定组件和多个重复单元构成的加热丝，所述重复单元包括两个间隔的直线部和与两个直线部端部连接的连接部，所述固定组件至少包括保持架和间隔件，所述保持架设置有多个容置所述重复单元两个直线部的通孔，所述间隔件设置有多个卡设在两个直线部之间的凸起。


2.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述保持架为环状结构，所述通孔沿保持架周向均匀分布。


3.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述通孔为腰型孔，所述腰型孔的半径与加热丝的半径适配。


4.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述间隔件包括环形部，所述凸起设置于所述环形部上并向环形部中心位置延伸。


5.根据权利要求4所述的点蒸发源，其特征在于：所述保持架和间隔件为一组，所述固定组件至少包括两组保持架和间隔件，所述重复单元的两个端部位置分别至少设置一组所述保持架和间隔件。


6.根据权利要求1所述的点蒸发源，其特征在于：所述固定组件包括固定底盘和设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王浩，高浩然，王小虎，李腾，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11