一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。本实用新型专利技术使得点源坩埚的筛网装置具有通用性，能适应不同内径尺寸的点源坩埚而避免浪费，同时能防止SiC颗粒飞溅。

A screen device and a point source crucible

【技术实现步骤摘要】
一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚
本技术涉及OLED加工设备
，尤其涉及一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚。
技术介绍
小分子有机发光二极体(OLED)制程工艺较成熟，但有机发光材料极易被氧气和水蒸气所破坏，故成膜过程中要使用真空系统。而真空蒸镀法又分为电阻加热蒸镀法、电子束蒸镀法等。由于电子束的能量过大，会导致有机物自身分解，因此对于OLED器件来说，有机物层的蒸镀几乎都是用电阻加热蒸镀。常见的电阻加热蒸镀法是在真空蒸镀机中放盛有有机物的坩埚，通过对其内部的电阻丝通电加热，使有机材料蒸发或气化，然后向固定的基板附着并最终形成膜层。在OLED在制造过程中，涉及真空蒸镀的有机膜层包含HIL、HTL、EML(R/G/B色阻)、ETL、EIL、Cathode和Chargegenerationlayer等功能层，分别以薄膜的形式沉积在TFT基板表面。由于工艺参数不同，不同的功能层需要在不同的蒸镀机腔体内进行，同时在蒸镀完成后通过机械手臂将基板在不同的腔体之间进行转移。蒸镀过程中的蒸发源分为线源坩埚和点源坩埚。在点源坩埚作为蒸发源时点本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种点源坩埚的筛网装置，其特征在于，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；/n弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；/n所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。/n

【技术特征摘要】
1.一种点源坩埚的筛网装置，其特征在于，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；
弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；
所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。


2.根据权利要求1所述的点源坩埚的筛网装置，其特征在于，所述弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体采用不锈钢或钛材料制作。


3.根据权利要求1所述的点源坩埚的筛网装置，其特征在于，所述弹性卡箍包括首尾非闭合的环状卡箍本体、设置在卡箍本体两端向内弯折的调节触头，
所述卡箍本体环向间隔设置有多个向内凸出的支撑部，所述支撑部及调节触头接触所述筛网本体的底端用于支撑筛网本体。


4.根据权利要求1所述的点源坩埚的筛网装置，其特征在于，所述筛网本...

【专利技术属性】
技术研发人员：张孟涛，张竹平，黎晓毅，张醒波，张润刚，
申请(专利权)人：深圳隽辉自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44