一种带裂解的硒束源炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带裂解的硒束源炉，炉体内侧壁固定连接有低温炉，低温炉内置有低温炉坩埚，低温炉炉丝安装筒的内侧壁与低温炉的外侧壁之间设有间隙，低温炉的下侧壁通过螺栓固定安装在低温炉盘的上侧壁，对低温炉起到稳定的支撑作用，保证低温炉稳定进行工作，低温炉的上侧壁通过连接杆固定连接有高温炉，高温炉内置有高温难熔金属筒，高温难熔金属筒的外侧壁固定安装有高温加热器，高温加热器连接外部电源，在进行硒化实验的时候，硒在气化的过程通过高温加热器将高温炉内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽，从而改善镀膜质量和稳定性能。

【技术实现步骤摘要】
一种带裂解的硒束源炉
本技术涉及束源炉
，具体为一种带裂解的硒束源炉。
技术介绍
硒在周期表中位于第四周期VIA族，可用于做光敏材料或者催化剂等，现在大多硒化采用在真空状态下加热到300℃直接出现硒蒸汽，然后用蒸汽做硒化实验，硒在气化的时候是很快的，温度一旦达到很快气化，蒸汽中，大分子团和小分子团是混合在一起的，气氛不均匀，在这不均匀的气氛下，做出的实验结果也不均匀，同时也没有可靠的稳定性，为了更好的进行实验过程，对此我们提出了一种带裂解的硒束源炉。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带裂解的硒束源炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带裂解的硒束源炉，包括炉体，所述炉体内侧壁固定连接有低温炉，所述低温炉内置有低温炉坩埚，所述低温炉坩埚的外侧壁套接有低温炉加热丝，所述低温炉的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒，所述低温炉炉丝安装筒的内侧壁与低温炉的外侧壁之间设有间隙，所述间隙之间设置有低温炉内屏蔽和低温炉外屏蔽，所述低温炉电加热丝的两端分别与低温电极柱固定连接，所述低温电极柱通过凸台陶瓷固定安装在电极固定板的内侧壁，所述低温电极柱通过接电板连接外部电源，所述电极固定板通过支撑杆固定连接有低温炉盘，所述低温炉的下侧壁通过螺栓固定安装在低温炉盘的上侧壁，对低温炉起到稳定的支撑作用，保证低温炉稳定进行工作，所述低温炉的上侧壁通过连接杆固定连接有高温炉，所述高温炉内置有筒，所述高温难熔金属筒的外侧壁固定安装有高温加热器，所述高温加热器连接外部电源。优选的，所述高温加热器的外侧壁套接有高温内屏蔽筒，所述高温加热器的外侧壁和高温内屏蔽筒的内侧壁之间设有间隙，所述间隙的内腔设置有高温内保温层和高温外保温层，所述高温内保温层的内侧壁与高温加热器的外侧壁固定连接，所述高温内保温层的外侧壁与高温外保温层的内侧壁固定连接，所述高温外保温层的外侧壁与高温内屏蔽筒的内侧壁固定连接，所述高温内屏蔽筒的外侧壁套接有高温外屏蔽筒。优选的，所述高温炉的下侧壁左右对称的通过螺栓固定连接有高温托盘。优选的，所述炉体的下侧壁固定安装有底座。优选的，所述低温炉的外侧壁固定安装有冷却管。优选的，高温难熔金属筒的内径小于低温炉的内径，行成井喷现象。优选的，每次填料由高温难熔金属筒向内自动或者手动填料。优选的，高温与低温部分之间有隔热效果。与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种带裂解的硒束源炉，在进行硒化实验的时候，硒在气化的过程通过高温加热器将高温炉内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽，从而改善镀膜质量和稳定性能，高温炉内置有筒，具有极好的导热性能，可以提高加工效率，高温内保温层的内侧壁与高温加热器的外侧壁固定连接，高温内保温层的外侧壁与高温外保温层的内侧壁固定连接，高温外保温层的外侧壁与高温内屏蔽筒的内侧壁固定连接，高温内屏蔽筒的外侧壁套接有高温外屏蔽筒，对高温炉起到隔热作用，防止热量散失，保证炉内的温度，提高整个加工过程的效率。附图说明图1为本技术结构示意图。图2为本技术低温炉结构示意图。图3为本技术高温炉结构示意图。附图标记说明：1、炉体，2、低温炉，3、低温炉外屏蔽，4、底座，5、冷却管，6、高温难熔金属筒，7、高温炉，8、低温炉炉丝安装筒，9、低温炉内屏蔽，10、低温炉盘，11、支撑杆，12、电极固定板，13、低温炉坩埚，14、凸台陶瓷，15、接电板，16、连接杆，17、低温电极柱，18、高温外屏蔽筒，19、高温加热器，20、高温内保温层，21、高温外保温层，22、高温内屏蔽筒，23、螺栓，24、低温炉加热丝。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1、图2和图3，本技术提供一种技术方案：一种带裂解的硒束源炉，包括炉体1，炉体1内侧壁固定连接有低温炉2，低温炉2内置有低温炉坩埚13，低温炉坩埚13的外侧壁套接有低温炉加热丝26，低温炉2的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒8，低温炉炉丝安装筒8的内侧壁与低温炉2的外侧壁之间设有间隙，间隙之间设置有低温炉内屏蔽9和低温炉外屏蔽3，低温炉外屏蔽3的内侧壁与低温炉内屏蔽9的外侧壁固定连接，低温炉内屏蔽9的内侧壁与低温炉2的外侧壁固定连接，低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱17固定连接，低温电极柱17通过凸台陶瓷14固定安装在电极固定板12的内侧壁，凸台陶瓷14在起到固定的同时能够有效的减少陶瓷层的堆叠并且提高导电性能，低温电极柱17通过接电板15连接外部电源，电极固定板12通过支撑杆11固定连接有低温炉盘10，低温炉2的下侧壁通过螺栓23固定安装在低温炉盘10的上侧壁，对低温炉10起到稳定的支撑作用，保证低温炉2稳定进行工作，低温炉2的上侧壁通过连接杆16固定连接有高温炉7，高温炉7内置有高温难熔金属筒6，钼具有极好的导热性能，可以提高加工效率，高温难熔金属筒6的外侧壁固定安装有高温加热器19，高温加热器19连接外部电源，在进行硒化实验的时候，硒在气化的过程通过高温加热器19将高温炉7内的温度提升至1000℃左右，在硒扩散的管道上加温1000℃，让大分子团的硒，都裂解成小分子状态，形成均匀的硒蒸汽，从而改善镀膜质量和稳定性能。具体而言，高温加热器19的外侧壁套接有高温内屏蔽筒22，高温加热器19的外侧壁和高温内屏蔽筒22的内侧壁之间设有间隙，间隙的内腔设置有高温内保温层20和高温外保温层21，高温内保温层20的内侧壁与高温加热器19的外侧壁固定连接，高温内保温层20的外侧壁与高温外保温层21的内侧壁固定连接，高温外保温层21的外侧壁与高温内屏蔽筒22的内侧壁固定连接，高温内屏蔽筒22的外侧壁套接有高温外屏蔽筒18，对高温炉7起到隔热作用，防止热量散失，保证炉内的温度，提高整个加工过程的效率。具体而言，高温炉7的下侧壁左右对称的通过螺栓23固定连接有高温托盘24，使得高温炉7更稳定的固定在低温炉2的上端，使得气化过程更加稳定。具体而言，炉体1的下侧壁固定安装有底座4，底座4对炉体1起到支撑的作用，提高整个过程的稳定性。具体而言，低温炉2的外侧壁固定安装有冷却管5，冷却管5通过接入冷水对炉体1进行冷却，对炉体1起到降温的作用，给实验过程带来便利。工作原理：在进行硒化实验的时候，低温炉2内置有低温炉坩埚13，低温炉坩埚13的外侧壁套接有低温炉加热丝26，低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱17固定连接，低温电极柱17通过凸台陶瓷14固定安装在电极固定板12的内侧壁，低温炉2的上侧壁通过连接杆16固定连接有高温炉7，高温难本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带裂解的硒束源炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内侧壁固定连接有低温炉(2)，所述低温炉(2)内置有低温炉坩埚(13)，所述低温炉坩埚(13)的外侧壁套接有低温炉加热丝(26)，所述低温炉(2)的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒(8)，所述低温炉炉丝安装筒(8)的内侧壁与低温炉(2)的外侧壁之间设有间隙，所述间隙之间设置有低温炉内屏蔽(9)和低温炉外屏蔽(3)，所述低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱(17)固定连接，所述低温电极柱(17)通过凸台陶瓷(14)固定安装在电极固定板(12)的内侧壁，所述低温电极柱(17)通过接电板(15)连接外部电源，所述电极固定板(12)通过支撑杆(11)固定连接有低温炉盘(10)，所述低温炉(2)的下侧壁通过螺栓(23)固定安装在低温炉盘(10)的上侧壁，对低温炉10起到稳定的支撑作用，保证低温炉(2)稳定进行工作，所述低温炉(2)的上侧壁通过连接杆(16)固定连接有高温炉(7)，所述高温炉(7)内置有高温难熔金属筒(6)，所述高温难熔金属筒(6)的外侧壁固定安装有高温加热器(19)，所述高温加热器(19)连接外部电源。/n

【技术特征摘要】
1.一种带裂解的硒束源炉，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内侧壁固定连接有低温炉(2)，所述低温炉(2)内置有低温炉坩埚(13)，所述低温炉坩埚(13)的外侧壁套接有低温炉加热丝(26)，所述低温炉(2)的外侧壁套接有低温炉炉丝安装筒(8)，所述低温炉炉丝安装筒(8)的内侧壁与低温炉(2)的外侧壁之间设有间隙，所述间隙之间设置有低温炉内屏蔽(9)和低温炉外屏蔽(3)，所述低温炉电加热丝26的两端分别与低温电极柱(17)固定连接，所述低温电极柱(17)通过凸台陶瓷(14)固定安装在电极固定板(12)的内侧壁，所述低温电极柱(17)通过接电板(15)连接外部电源，所述电极固定板(12)通过支撑杆(11)固定连接有低温炉盘(10)，所述低温炉(2)的下侧壁通过螺栓(23)固定安装在低温炉盘(10)的上侧壁，对低温炉10起到稳定的支撑作用，保证低温炉(2)稳定进行工作，所述低温炉(2)的上侧壁通过连接杆(16)固定连接有高温炉(7)，所述高温炉(7)内置有高温难熔金属筒(6)，所述高温难熔金属筒(6)的外侧壁固定安装有高温加热器(19)，所述高温加热器(19)连...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱进，韩晓，
申请(专利权)人：沈阳奇汇真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21