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一种带裂解的硒束源炉制造技术
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下载一种带裂解的硒束源炉的技术资料
文档序号:24169187
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本实用新型公开了一种带裂解的硒束源炉,炉体内侧壁固定连接有低温炉,低温炉内置有低温炉坩埚,低温炉炉丝安装筒的内侧壁与低温炉的外侧壁之间设有间隙,低温炉的下侧壁通过螺栓固定安装在低温炉盘的上侧壁,对低温炉起到稳定的支撑作用,保证低温炉稳定进行...
该专利属于沈阳奇汇真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳奇汇真空技术有限公司授权不得商用。
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