本实用新型公开了一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板、微型气泵和把手，所述安装板的左侧面固定有自带蓄电结构的马达，且马达的输出端固定连接有反向丝杆，所述反向丝杆的外端螺纹连接有移动板，所述空心壳的内侧面粘贴连接有导热硅胶，...

本实用新型公开了一种便于均匀加热的镀膜机用烘烤装置，包括：烘烤装置箱、动力马达和抽气泵，所述烘烤装置箱的上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有链条传动机构，所述链条传动机构的内端固定安装有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的外端螺纹...

本实用新型公开了一种具有旋转结构的溅射镀膜机用固定夹具，包括溅射镀膜机底座、调节机构、安装盘和调节杆，溅射镀膜机底座的上端左右对称的固定连接有竖板；所述调节机构设置在左侧竖板的上侧，且调节机构包括第一连接轴、连接盘、凸块、连接柄、第二连...

本实用新型公开了一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机，包括溅射镀膜机本体、活动安装板和连接机构，所述溅射镀膜机本体的内部安装有掩膜片本体，且掩膜片本体外侧的边缘处设置有固定框，所述活动安装板与固定框之间通过卡槽的方式相连接，且活动安装板呈“U...

本实用新型公开了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒，包括：滚筒本体、用于承载限位滚筒本体的承接机构及承接机构外设置其传动作用的传动齿轮；所述滚筒本体的内侧中心对称设置有定位挡板；所述承接机构设置在滚筒本体的外侧，且承接机构由连接板、支撑杆、...

本实用新型公开了一种镀膜机基片架自动翻面的装置，包括：镀膜机机壳、固定安装在镀膜机机壳上的电机、基片架和气缸，所述电机的输出端连接有转杆，所述转杆的底端固定连接有基片架，且基片架的外侧面焊接有挡板，所述挡板的内侧设置有放置板，所述放置板...

本实用新型公开了一种钟罩式气相化学用沉积炉，包括钟罩式气相化学沉积炉、固定压板和安装机构，所述钟罩式气相化学沉积炉直接置于用于支撑的底座上端的中部，连接柱，所述连接柱固定连接在底座上端的左右两侧，所述固定压板用于对钟罩式气相化学沉积炉的...

一种多工位旋转阻蒸装置，公用电极座位于电极盘上方中部，多个分电极座沿圆周方向均分在电极盘上方，所述电极盘上设有多个阻蒸舟，多对压片将多个所述阻蒸舟固定在所述公用电极座与所述分电极座之间，所述公用电极座可与公用电极板电连接，所述分电极座和...

一种光学真空镀膜膜厚测量装置，密封体上端与电机连接，密封体下端与密封管一端连接，所述密封管穿过固定盘和冷凝室，所述电机的轴穿过所述密封体、所述密封管和承载台连接扇叶状的转盘；所述冷凝室的上端面连接固定盘，下端面连接所述承载台，所述冷凝室...

本实用新型公开了一种升华磁控溅射镀膜一体机，属于溅射镀膜设备技术领域，包括蒸发室、工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置、定位压紧装置和控制柜，所述工件驱动装置上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒，所述承载筒能够在工件驱动装置的驱动下沿着蒸...

本实用新型公开了一种溅射镀膜一体机用滚筒，属于溅射镀膜设备技术领域，包括滚筒本体、两个滚轮、两个圆环形齿轮、若干支撑导柱和挡板组件，所述滚筒本体内部设有供待镀膜物品承放的容纳腔，所述滚筒本体的侧壁上设有与容纳腔连通的圆形贯穿槽，两个所述...

本实用新型公开了一种长光栅镀膜机，属于真空镀膜设备技术领域，包括若干组相互拼接的单元镀膜装置，所有的单元镀膜装置设置在同一条水平直线上，相邻两个单元镀膜装置之间设有密封紧固装置，每个密封紧固装置包括定位承载部件、定位扣紧部件和锁定部件，...

本实用新型公开了一种钟罩式气相化学沉积炉，包括基座、钟罩沉积炉本体、水平螺纹柱和插销，所述基座上设置有钟罩沉积炉本体，所述水平螺纹柱贯穿调节窗，且水平螺纹柱上安装有紧固螺母，并且水平螺纹柱固定在操作板上，同时操作板与齿轮筒相互连接，所述...

本实用新型公开了一种真空双面镀膜机，属于真空镀膜领域，一种真空双面镀膜机，包括真空镀膜工作箱、双向承放装置、驱动辅助装置和安装在双向承放装置下方的镀膜装置，所述真空镀膜工作箱内还设有真空密封装置，所述真空密封装置包括前密封部件、后密封部...

本发明公开了一种升华磁控溅射镀膜一体机，属于溅射镀膜设备技术领域，包括蒸发室、工件驱动装置、溅射镀膜装置、水冷装置、定位压紧装置和控制柜，所述工件驱动装置上设有供待溅射镀膜零件容纳的承载筒，所述承载筒能够在工件驱动装置的驱动下沿着蒸发室...

本实用新型公开了一种真空镀膜机用冷凝回收装置，包括：两端开有操作口的回收室，其两端操作口均设有可拆卸地端盖，一侧端盖上开设有进气口，另一侧端盖上开有出气口；进气口通过管道一与真空镀膜机的真空室连通，出气口通过管道二与真空泵连通；所述回收...

本实用新型公开了一种镀膜机用烘烤装置，包括内置于镀膜机真空室内壁的本体，所述本体包括一背板、对称设置在背板两侧的侧板，所述本体背板两侧分别与侧板可转动连接；所述背板与侧板表面均开有若干安装孔，背板与侧板表面中部开有一开槽，所述开槽内设置...

本实用新型公开了一种真空镀膜机用新型充气装置，包括：真空镀膜机的真空室两侧侧壁设置有呈对称分布的充气口，与真空室连通的充气口分别与U形的充气管两端口连通；所述充气管中端通过接管与缓冲室连接，所述缓冲室顶端通过管道连接外界大气；所述接管上...

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括：真空箱体底部设置有至少一个电子束蒸发源，抽真空装置通过真空管道与抽真空风口连接；工件盘底部表面开有工件口，工件盘顶部与驱动机构连接；所述驱动机构包括驱动电机、转轴；与所述驱动电机传动连接的转轴底部与...